แผ่นควอตซ์ SiO₂ เป็นวัสดุพื้นฐานที่มีความบริสุทธิ์สูงมาก ใช้กันอย่างแพร่หลายในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ การผลิต MEMS อุปกรณ์ RF และระบบออปติคอล มีขนาดเส้นผ่านศูนย์กลางมาตรฐานตั้งแต่ 2 นิ้ว ถึง 12 นิ้ว แผ่นเวเฟอร์เหล่านี้ได้รับการออกแบบทางวิศวกรรมสำหรับการใช้งานที่ต้องการความเสถียรทางความร้อนสูง ความโปร่งใสทางแสง และความต้านทานต่อสารเคมี.
ผลิตจากซิลิกาหลอมบริสุทธิ์สูง แผ่นควอตซ์แสดงโครงสร้างอสัณฐานที่สม่ำเสมอ ซึ่งรับประกันประสิทธิภาพที่คงที่โดยไม่มีขอบเขตของเม็ดภายใน เมื่อรวมกับการขัดเงาที่แม่นยำและการควบคุมความหนาอย่างเข้มงวด จึงให้คุณภาพพื้นผิวที่ยอดเยี่ยมสำหรับกระบวนการผลิตขั้นสูง.
คุณสมบัติเด่น
- ความบริสุทธิ์สูงพิเศษ (≥99.99% SiO₂) สำหรับสภาพแวดล้อมที่ไวต่อการปนเปื้อน
- ช่วงอุณหภูมิการทำงานที่กว้าง (เสถียรถึง >1100°C)
- การส่งผ่านแสงสูงจากรังสียูวีถึงใกล้รังสีอินฟราเรด
- สัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนต่ำเพื่อความเสถียรของมิติ
- ทนต่อสารเคมีได้ยอดเยี่ยมต่อกรด, ด่าง, และตัวทำละลาย
- พื้นผิวเรียบเนียนเป็นพิเศษ (Ra ≤ 1 นาโนเมตร) เหมาะสำหรับงานออปติกที่ต้องการความแม่นยำสูงและ MEMS
ลักษณะของวัสดุ
แผ่นควอตซ์มีพื้นฐานมาจาก ซิลิกอนไดออกไซด์หลอมรวมชนิดไม่มีรูปร่าง, เสนอ:
- โครงสร้างไอโซทรอปิกที่มีพฤติกรรมทางแสงที่สม่ำเสมอ
- ไม่มีปรากฏการณ์การหักเหสองทิศทางที่พบได้ทั่วไปในวัสดุผลึก
- ทนต่อความร้อนและการสัมผัสพลาสมาได้สูง
- การปล่อยก๊าซต่ำ เหมาะสำหรับสภาพแวดล้อมสุญญากาศ
เมื่อเปรียบเทียบกับกระจกทั่วไป แผ่นควอตซ์มีความบริสุทธิ์สูงกว่า ทนความร้อนได้ดีกว่า และมีการส่งผ่านแสงที่กว้างกว่า ทำให้เป็นวัสดุที่ได้รับความนิยมในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และโฟโตนิกส์.
ข้อมูลจำเพาะ
| สเปค | หน่วย | 4 นิ้ว | 6 นิ้ว | 8 นิ้ว | 10 นิ้ว | 12 นิ้ว |
|---|---|---|---|---|---|---|
| เส้นผ่านศูนย์กลาง / ขนาด | มม | 100 | 150 | 200 | 250 | 300 |
| ความทนทาน (±) | มม | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 |
| ความหนา | มม | ≥0.10 | ≥0.30 | ≥0.40 | ≥0.50 | ≥0.50 |
| แฟลตอ้างอิงหลัก | มม | 32.5 | 57.5 | เซมิ-น็อตช์ | เซมิ-น็อตช์ | เซมิ-น็อตช์ |
| LTV (5×5 มม.) | ไมโครเมตร | น้อยกว่าหรือเท่ากับ 0.5 | น้อยกว่าหรือเท่ากับ 0.5 | น้อยกว่าหรือเท่ากับ 0.5 | น้อยกว่าหรือเท่ากับ 0.5 | น้อยกว่าหรือเท่ากับ 0.5 |
| ทีวี | ไมโครเมตร | น้อยกว่า 2 | <3 | <3 | น้อยกว่า 5 | น้อยกว่า 5 |
| โบว์ | ไมโครเมตร | ±20 | ±30 | ±40 | ±40 | ±40 |
| วาร์ป | ไมโครเมตร | ≤30 | ≤40 | ≤50 | ≤50 | ≤50 |
| PLTV (5×5 มม.) | % | ≥95 | ≥95 | ≥95 | ≥95 | ≥95 |
| การตัดขอบมน | มม | เป็นไปตามมาตรฐาน SEMI M1.2 / IEC62276 | ||||
| ประเภทพื้นผิว | — | SSP / DSP | ||||
| ขัดเงาด้านข้าง | เอ็นเอ็ม | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 |
| เกณฑ์ด้านหลัง | ไมโครเมตร | 0.2–0.7 หรือปรับแต่งตามความต้องการ |
การประยุกต์ใช้
การประมวลผลสารกึ่งตัวนำ
แผ่นควอตซ์ถูกใช้อย่างแพร่หลายเป็นแผ่นพาหะและส่วนประกอบในกระบวนการในสภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสูง เช่น การแพร่ การสะสม และการกัดกร่อน ความเสถียรทางความร้อนของแผ่นควอตซ์ช่วยให้มั่นใจได้ถึงประสิทธิภาพที่สม่ำเสมอในระหว่างการดำเนินการซ้ำๆ
วงจรเออร์มาล.
MEMS และเซ็นเซอร์
ในการผลิต MEMS แผ่นควอตซ์ทำหน้าที่เป็นวัสดุรองรับที่เสถียรสำหรับโครงสร้างจุลภาคและเซ็นเซอร์ที่ทำงาน
ภายใต้สภาวะความเครียดทางกลและทางความร้อน.
ออปติกส์และโฟโตนิกส์
ด้วยคุณสมบัติการส่งผ่านรังสี UV และ IR ที่ยอดเยี่ยม แผ่นควอตซ์จึงเหมาะอย่างยิ่งสำหรับ:
- หน้าต่างออปติคอล
- ส่วนประกอบเลเซอร์
- การเคลือบวัสดุรองรับ
- ชิ้นส่วนออปติคัลที่มีความแม่นยำสูง
ใช้ในโรงงานอุตสาหกรรมและห้องปฏิบัติการ
แผ่นควอตซ์ยังถูกนำไปใช้ใน:
- ห้องพลาสมาและระบบสุญญากาศ
- การวิเคราะห์ทางเคมีและชีวการแพทย์
- ตัวนำตัวอย่างสำหรับอุณหภูมิสูง
กระบวนการผลิต
แผ่นควอตซ์ถูกผลิตผ่านกระบวนการควบคุมอย่างเข้มงวดเพื่อให้ได้ความบริสุทธิ์และความแม่นยำ:
- การเลือกวัตถุดิบ SiO₂ ความบริสุทธิ์สูง
- หลอมละลายที่อุณหภูมิประมาณ 2000°C
- การทำให้เย็นลงอย่างควบคุมเพื่อสร้างบล็อกควอตซ์แข็ง
- การตัดอย่างแม่นยำด้วยเลื่อยลวด
- การขัดและเจียรผิว (ด้านเดียวหรือสองด้าน)
- การทำความสะอาดและการตรวจสอบในห้องสะอาด
ตัวเลือกการปรับแต่ง
เราให้บริการการปรับแต่งที่ยืดหยุ่นตามความต้องการของการใช้งาน:
- เส้นผ่านศูนย์กลาง: 2″–12″ (ขนาดพิเศษตามสั่งได้)
- ความหนา: 0.1–6 มม.
- ผิวสำเร็จ: SSP / DSP
- ประเภทขอบ: ร่อง / แบน / กลมมน
- การประมวลผลเพิ่มเติม:
- การเจาะด้วยเลเซอร์
- การสร้างรูปแบบ
- การเคลือบผิวด้วยแสง
คำถามที่พบบ่อย
แผ่นควอตซ์คืออะไร?
แผ่นควอตซ์เป็นวัสดุฐาน SiO₂ ที่มีความบริสุทธิ์สูง ใช้ในงานเซมิคอนดักเตอร์, MEMS, และงานออปติคอลที่ต้องการความเสถียรทางความร้อนและความต้านทานต่อสารเคมี.
แผ่นควอตซ์สามารถทนต่ออุณหภูมิสูงได้หรือไม่?
ใช่, พวกเขาสามารถทำงานต่อเนื่องได้ที่อุณหภูมิสูงกว่า 1000°C โดยไม่เกิดการเสียรูป.
อะไรทำให้ควอตซ์ดีกว่ากระจกมาตรฐาน?
ควอตซ์มีความบริสุทธิ์สูงกว่า ทนความร้อนได้ดีกว่า และมีการส่งผ่านแสงที่ดีกว่า ทำให้เหมาะสำหรับการใช้งานในอุตสาหกรรมขั้นสูง.
รีวิว
ยังไม่มีบทวิจารณ์