แผ่นเวเฟอร์แก้วโซดา-ไลม์เป็นทางเลือกที่คุ้มค่าและใช้กันอย่างแพร่หลายแทนแผ่นเวเฟอร์บอโรซิลิเกตและควอตซ์ โดยเฉพาะอย่างยิ่งในงานที่ต้องการความใสทางแสงสูง พื้นผิวเรียบ และต้นทุนวัสดุต่ำ.
ผลิตโดยใช้กระบวนการผลิตกระจกแบบลอย กระจกโซดา-lime ให้ความเรียบที่ยอดเยี่ยม ความหนาที่สม่ำเสมอ และความหยาบผิวต่ำ ทำให้เหมาะอย่างยิ่งสำหรับการเคลือบฟิล์มบาง/หนา กระบวนการเคลือบ และการวิจัยที่เกี่ยวข้องกับ MEMS.
เนื่องจากพื้นผิวที่มีความเสถียรทางเคมีและไม่เกิดปฏิกิริยา แก้วโซดา-ไลม์เวเฟอร์จึงถูกใช้กันอย่างแพร่หลายเป็นวัสดุรองรับเชิงกลสำหรับอิเล็กโทรดนำไฟฟ้าและฟิล์มบางที่มีฟังก์ชันเฉพาะ.
คุณสมบัติเด่น
- ความโปร่งใสทางแสงสูง
การส่งผ่านแสงที่มองเห็นได้สูงสุดถึง 88–92% เหมาะสำหรับการใช้งานด้านออปติคัลและการแสดงผล - พื้นผิวเรียบพิเศษ
กระบวนการลอยตัวช่วยให้พื้นผิวเรียบเนียน เหมาะสำหรับการเคลือบและการพิมพ์ลิโธกราฟี - ทางเลือกที่คุ้มค่า
ต้นทุนต่ำกว่าแผ่นควอตซ์และแผ่นบอโรซิลิเกต เหมาะสำหรับการใช้งานในปริมาณมาก - การประมวลผลที่ยอดเยี่ยม
ง่ายต่อการตัด ขัด หั่นเป็นลูกเต๋า เจาะ และขึ้นรูปเป็นแผ่นเวเฟอร์ตามต้องการ - ความคงตัวทางเคมี
ทนต่อน้ำและกรดอ่อนสำหรับสภาพแวดล้อมในห้องปฏิบัติการและอุตสาหกรรมทั่วไป - ตัวเลือกความแข็งแรงตามความต้องการ
สามารถเพิ่มความแข็งแรงทางเคมีหรืออบชุบด้วยความร้อนได้
การใช้งานทั่วไป
- การสะสมฟิล์มบาง / ฟิล์มหนา
- MEMS และการผลิตระดับไมโคร
- อุปกรณ์ไมโครฟลูอิดิก
- วัสดุรองรับการเคลือบผิวด้วยแสง
- แพลตฟอร์มเซ็นเซอร์และเครื่องตรวจจับ
- การวิจัยและพัฒนาจอแสดงผลและแผงสัมผัส
- แผ่นทดสอบในห้องปฏิบัติการ
ข้อมูลจำเพาะของเวเฟอร์
| พารามิเตอร์ | มูลค่า |
|---|---|
| วัสดุ | แก้วโซดา-ไลม์ |
| เส้นผ่านศูนย์กลาง | 2” / 3” / 4” / 6” (สามารถสั่งทำพิเศษได้) |
| ความหนา | 0.5 มม. – 3 มม. (ปรับแต่งได้) |
| ผิวสำเร็จ | ขัดเงา / ขัดเงาสองด้าน |
| ความเรียบ | มีให้บริการตามคำขอ |
| ประเภทขอบ | โค้งมน / มุมตัด |
| ความโปร่งใส | 88–92% |
| ดัชนีหักเห | 1.51–1.52 |
คุณสมบัติทางกายภาพและทางความร้อน
| ทรัพย์สิน | มูลค่า |
|---|---|
| ความหนาแน่น | 2.5 กรัม/ลูกบาศก์เซนติเมตร |
| โมดูลัสของยัง | 70–75 กิกะปาสคาล |
| ความแข็ง (โมห์ส) | ~6.5 |
| การนำความร้อน | 0.95 วัตต์ต่อเมตร·เคลวิน |
| CTE | ประมาณ 9 × 10⁻⁶ /K |
| จุดเครียด | ประมาณ 500°C |
| ช่วงการอบอ่อน | 480–585°C |
| จุดอ่อนตัว | 585–740°C |
การประมวลผลและการปรับแต่ง
เราสนับสนุนการปรับแต่งระดับเวเฟอร์เต็มรูปแบบ:
- การตัดและปรับขนาดเวเฟอร์
- การขัดเงาสองด้าน (DSP)
- การกลึงด้วยเครื่องจักร CNC
- การตัดด้วยเลเซอร์
- การเจาะรู / การเซาะร่อง
- การเจียระไนขอบ / การตัดเฉียง
เคลือบผิวที่มีให้บริการ
- AR (ป้องกันแสงสะท้อน)
- สารเคลือบนำไฟฟ้า ITO
- การเคลือบโลหะ (Au, Al, Cr)
- ฟิลเตอร์ไดอิเล็กทริกและออปติคอล
บันทึกการใช้งาน
แผ่นเวเฟอร์แก้วโซดา-lime ถูกใช้อย่างแพร่หลายเป็นวัสดุอ้างอิงใน:
- การพัฒนาขั้นตอนการบดและขัดเงา
- การทดสอบการยึดเกาะของฟิล์มบาง
- การประเมินเครื่องมือและสารละลาย
คุณสมบัติทางกายภาพที่สม่ำเสมอและต้นทุนต่ำทำให้เหมาะอย่างยิ่งสำหรับการปรับเทียบกระบวนการและการตรวจสอบการทดลอง.
ข้อได้เปรียบเมื่อเทียบกับวัสดุเวเฟอร์ชนิดอื่น
| ทรัพย์สิน | โซดา-ไลม์ เวเฟอร์ | แผ่นเวเฟอร์บอโรซิลิเกต | แผ่นควอตซ์ |
|---|---|---|---|
| ค่าใช้จ่าย | ⭐ ต่ำ | ระดับกลาง | สูง |
| ความต้านทานความร้อน | ปานกลาง | สูง | สูงมาก |
| ความสามารถในการประมวลผล | ยอดเยี่ยม | ดี | ยาก |
| คุณภาพทางแสง | ดี | ดีมาก | ยอดเยี่ยม |
หมายเหตุสำคัญ
เนื่องจากมีค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนสูงกว่า แผ่นเวเฟอร์แก้วโซดา-lime จึงไม่เหมาะสำหรับกระบวนการที่มีความร้อนสูงหรือการทนต่อความร้อนแบบฉับพลันสูงในเซมิคอนดักเตอร์.
สำหรับสภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสูง แนะนำให้ใช้แผ่นเวเฟอร์บอโรซิลิเกตหรือควอตซ์.
การจัดหาตามมาตรฐาน
- ตัวอย่าง: 100 ชิ้น (25 × 25 × 1.1 มม.)
- รูปแบบเวเฟอร์ที่มีให้บริการ (กลม / สี่เหลี่ยม / แบบกำหนดเอง)
- รองรับบรรจุภัณฑ์ในห้องสะอาด
คำถามที่พบบ่อย – แผ่นเวเฟอร์แก้วโซดา-ไลม์
Q1: แผ่นเวเฟอร์แก้วโซดา-ไลม์เหมาะสำหรับกระบวนการ MEMS หรือไม่?
A:ใช่ แผ่นเวเฟอร์แก้วโซดา-ไลม์ถูกใช้อย่างแพร่หลายในงานวิจัยและต้นแบบ MEMS โดยเฉพาะอย่างยิ่งในแอปพลิเคชันที่คำนึงถึงต้นทุนหรืออุณหภูมิต่ำ พื้นผิวที่เรียบและแบนของมันทำให้เหมาะสำหรับการเคลือบฟิล์มบาง การทำลิโทกราฟี และการทดลองไมโครแฟบริเคชัน อย่างไรก็ตาม สำหรับกระบวนการ MEMS ที่อุณหภูมิสูงหรือแอปพลิเคชันที่ต้องการความทนทานต่อการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิอย่างรุนแรง แผ่นเวเฟอร์บอโรซิลิเกตหรือควอตซ์อาจเป็นที่นิยมมากกว่าเนื่องจากมีสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนที่ต่ำกว่าและจุดยืดหยุ่นที่สูงกว่า.
Q2: คุณสามารถให้บริการการขัดระดับเวเฟอร์ได้หรือไม่?
A: ใช่ครับ/ค่ะ เราให้บริการขัดเงาแบบด้านเดียวและสองด้าน (SSP/DSP) สำหรับเวเฟอร์โซดาไลม์ การขัดเงาช่วยให้ได้ความเรียบระดับออปติคอลและความหยาบผิวต่ำ ซึ่งเป็นสิ่งสำคัญสำหรับการเคลือบฟิล์มบางที่มีความแม่นยำและการใช้งานด้านออปติก ความหยาบผิวและความเรียบสามารถปรับแต่งได้ตามข้อกำหนดของกระบวนการของคุณ และมีตัวเลือกเพิ่มเติม เช่น การขัดขอบ การตัดมุม และการทำขอบเอียง เพื่อการจัดการและการประกอบในกระบวนการถัดไป.
คำถามที่ 3: สามารถเคลือบสารเคลือบลงบนเวเฟอร์ได้หรือไม่?
A: แน่นอนครับ แผ่นเวเฟอร์โซดา-ไลม์สามารถเคลือบได้หลากหลายประเภท รวมถึง:
- เคลือบสารลดการสะท้อน (AR) เพื่อเพิ่มการส่งผ่านแสงในอุปกรณ์ออปติคัลและจอแสดงผล
- สารเคลือบนำไฟฟ้า ITO สำหรับอิเล็กโทรดหรือการใช้งานเซ็นเซอร์
- การเคลือบโลหะ (Au, Al, Cr, ฯลฯ) สำหรับจุดสัมผัสไฟฟ้าหรือพื้นผิวสะท้อนแสง
- สารเคลือบฟิลเตอร์ไดอิเล็กทริกและออปติคัลสำหรับการควบคุมความยาวคลื่นเฉพาะ
สารเคลือบเหล่านี้สามารถนำไปใช้ได้ทั้งด้านเดียวหรือสองด้าน และความหนาหรือรูปแบบสามารถปรับแต่งได้ตามความต้องการเฉพาะด้านแสงหรือไฟฟ้าของโครงการของคุณ.
คำถามที่ 4: ข้อจำกัดหลักของแผ่นเวเฟอร์แก้วโซดา-lime คืออะไร?
ข้อจำกัดหลักคือความเสถียรทางความร้อนที่ต่ำกว่าเมื่อเทียบกับแผ่นเวเฟอร์บอโรซิลิเกตหรือควอตซ์ แก้วโซดา-lime มีค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนที่สูงกว่า (~9 × 10⁻⁶ /K) และมีจุดอ่อนตัวที่ค่อนข้างต่ำ ซึ่งทำให้มันมีความไวต่อการแตกร้าวหรือการบิดเบี้ยวภายใต้การเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิอย่างรวดเร็วหรือกระบวนการที่มีอุณหภูมิสูงสำหรับการใช้งานที่เกี่ยวข้องกับการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิอย่างรวดเร็ว การยึดติดที่อุณหภูมิสูง หรือการทนต่อความร้อนที่รุนแรง แนะนำให้ใช้แผ่นกระจกประเภทอื่น เช่น กระจกโบโรซิลิเกตหรือควอตซ์ อย่างไรก็ตาม แผ่นกระจกโซดา-lime ยังคงมีความน่าเชื่อถือสูงสำหรับกระบวนการที่อุณหภูมิห้องหรืออุณหภูมิต่ำ และให้พื้นผิวที่โปร่งใสและราคาไม่แพงสำหรับการสร้างต้นแบบและการวิจัย.
รีวิว
ยังไม่มีบทวิจารณ์