Les plaquettes de quartz SiO₂ sont des substrats de très haute pureté largement utilisés dans le traitement des semi-conducteurs, la fabrication de MEMS, les dispositifs RF et les systèmes optiques. Disponibles dans des diamètres standard de 2″ à 12″, ces plaquettes sont conçues pour des applications nécessitant une stabilité thermique, une transparence optique et une résistance chimique élevées.
Fabriquées à partir de silice fondue de haute pureté, les plaquettes de quartz présentent une structure amorphe uniforme, garantissant des performances constantes sans joints de grains internes. Associées à un polissage de précision et à un contrôle étroit de l'épaisseur, elles offrent une excellente qualité de surface pour les processus de fabrication avancés.
Caractéristiques principales
- Très haute pureté (≥99.99% SiO₂) pour les environnements sensibles à la contamination
- Large gamme de températures de fonctionnement (stable jusqu'à >1100°C)
- Transmission optique élevée de l'UV au proche infrarouge
- Faible coefficient de dilatation thermique pour la stabilité dimensionnelle
- Excellente résistance chimique aux acides, aux alcalis et aux solvants
- Finition de surface ultra-lisse (Ra ≤ 1 nm) adaptée à l'optique de précision et aux MEMS.
Caractéristiques des matériaux
Les plaquettes de quartz sont basées sur SiO₂ amorphe fondu, offrant :
- Structure isotrope avec un comportement optique cohérent
- Pas d'effets de biréfringence communs aux matériaux cristallins
- Haute résistance aux chocs thermiques et à l'exposition au plasma
- Faible dégazage, convient aux environnements sous vide
Par rapport au verre classique, les plaquettes de quartz offrent une plus grande pureté, une meilleure durabilité thermique et une transmission optique plus large, ce qui en fait un matériau privilégié dans les industries des semi-conducteurs et de la photonique.
Spécifications
| Spec | Unité | 4″ | 6″ | 8″ | 10″ | 12″ |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Diamètre / Taille | mm | 100 | 150 | 200 | 250 | 300 |
| Tolérance (±) | mm | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 |
| Épaisseur | mm | ≥0.10 | ≥0.30 | ≥0.40 | ≥0.50 | ≥0.50 |
| Référence primaire plate | mm | 32.5 | 57.5 | Semi-notch | Semi-notch | Semi-notch |
| LTV (5×5 mm) | μm | <0.5 | <0.5 | <0.5 | <0.5 | <0.5 |
| TTV | μm | <2 | <3 | <3 | <5 | <5 |
| Arc | μm | ±20 | ±30 | ±40 | ±40 | ±40 |
| Distorsion | μm | ≤30 | ≤40 | ≤50 | ≤50 | ≤50 |
| PLTV (5×5 mm) | % | ≥95 | ≥95 | ≥95 | ≥95 | ≥95 |
| Arrondi des bords | mm | Conforme aux normes SEMI M1.2 / IEC62276 | ||||
| Type de surface | — | SSP / DSP | ||||
| Ra poli sur le côté | nm | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 |
| Critères relatifs à la face arrière | μm | 0,2-0,7 ou sur mesure |
Applications
Traitement des semi-conducteurs
Les plaquettes de quartz sont largement utilisées comme plaquettes porteuses et composants de processus dans des environnements à haute température tels que la diffusion, le dépôt et la gravure. Leur stabilité thermique garantit des performances constantes lors d'opérations répétées à haute température.
cycles dermiques.
MEMS et capteurs
Dans la fabrication des MEMS, les plaquettes de quartz constituent des substrats stables pour les microstructures et les capteurs fonctionnant en mode automatique.
g dans des conditions de contraintes mécaniques et thermiques.
Optique et photonique
Avec une excellente transmission UV et IR, les plaquettes de quartz sont idéales pour.. :
- Fenêtres optiques
- Composants laser
- Supports d'enduction
- Éléments optiques de précision
Utilisation industrielle et en laboratoire
Les plaquettes de quartz sont également utilisées :
- Chambres à plasma et systèmes à vide
- Analyse chimique et biomédicale
- Porte-échantillons à haute température
Processus de fabrication
Les plaquettes de quartz sont produites selon un processus contrôlé afin d'en garantir la pureté et la précision :
- Sélection de matières premières SiO₂ de haute pureté
- Fusion à environ 2000°C
- Refroidissement contrôlé pour former des blocs de quartz solides
- Tranchage de précision à l'aide de scies à fil
- Rodage et polissage (simple ou double face)
- Nettoyage et inspection en salle blanche
Options de personnalisation
Nous offrons une personnalisation flexible basée sur les exigences de l'application :
- Diamètre : 2″-12″ (tailles personnalisées disponibles)
- Épaisseur : 0,1-6 mm
- Finition de la surface : SSP / DSP
- Type d'arête : Entaille / Plat / Arrondi
- Traitement supplémentaire :
- Perçage au laser
- Patterning
- Revêtements optiques
FAQ
Qu'est-ce qu'une plaquette de quartz ?
Une plaquette de quartz est un substrat SiO₂ de haute pureté utilisé dans les applications semi-conductrices, MEMS et optiques nécessitant une stabilité thermique et une résistance chimique.
Les plaquettes de quartz peuvent-elles résister à des températures élevées ?
Oui, ils peuvent fonctionner en continu à des températures supérieures à 1000°C sans déformation.
Qu'est-ce qui rend le quartz meilleur que le verre standard ?
Le quartz offre une plus grande pureté, une résistance thermique supérieure et une meilleure transmission optique, ce qui le rend adapté aux applications industrielles de pointe.
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