Кварцевые пластины SiO₂ - это подложки сверхвысокой чистоты, широко используемые при обработке полупроводников, изготовлении МЭМС, радиочастотных устройств и оптических систем. Эти пластины стандартного диаметра от 2 до 12 дюймов предназначены для применения в приложениях, требующих высокой термической стабильности, оптической прозрачности и химической стойкости.
Произведенные из высокочистого плавленого кварца, кварцевые пластины имеют однородную аморфную структуру, обеспечивающую стабильную производительность без внутренних границ зерен. В сочетании с прецизионной полировкой и жестким контролем толщины они обеспечивают превосходное качество поверхности для передовых производственных процессов.
Основные характеристики
- Сверхвысокая чистота (≥99,99% SiO₂) для чувствительных к загрязнению сред
- Широкий диапазон рабочих температур (стабильность до >1100°C)
- Высокое оптическое пропускание от ультрафиолетового до ближнего инфракрасного диапазона
- Низкий коэффициент теплового расширения для стабильности размеров
- Отличная химическая стойкость к кислотам, щелочам и растворителям
- Сверхгладкая поверхность (Ra ≤ 1 нм) подходит для прецизионной оптики и МЭМС
Характеристики материала
Кварцевые пластины изготавливаются на основе аморфный плавленый SiO₂, предлагая:
- Изотропная структура с постоянным оптическим поведением
- Отсутствие эффекта двулучепреломления, характерного для кристаллических материалов
- Высокая устойчивость к тепловому удару и воздействию плазмы
- Низкое газовыделение, подходит для вакуумных сред
По сравнению с обычным стеклом, кварцевые пластины обеспечивают более высокую чистоту, лучшую термическую стойкость и более широкое оптическое пропускание, что делает их предпочтительным материалом в полупроводниковой и фотонной промышленности.
Технические характеристики
| Spec | Единица | 4″ | 6″ | 8″ | 10″ | 12″ |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Диаметр / размер | мм | 100 | 150 | 200 | 250 | 300 |
| Допуск (±) | мм | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 |
| Толщина | мм | ≥0.10 | ≥0.30 | ≥0.40 | ≥0.50 | ≥0.50 |
| Первичная контрольная квартира | мм | 32.5 | 57.5 | Полунасечка | Полунасечка | Полунасечка |
| LTV (5×5 мм) | мкм | <0.5 | <0.5 | <0.5 | <0.5 | <0.5 |
| TTV | мкм | <2 | <3 | <3 | <5 | <5 |
| Лук | мкм | ±20 | ±30 | ±40 | ±40 | ±40 |
| Warp | мкм | ≤30 | ≤40 | ≤50 | ≤50 | ≤50 |
| PLTV (5×5 мм) | % | ≥95 | ≥95 | ≥95 | ≥95 | ≥95 |
| Скругление краев | мм | Соответствие стандартам SEMI M1.2 / IEC62276 | ||||
| Тип поверхности | — | SSP / DSP | ||||
| Полированные боковые стороны | nm | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 |
| Критерии обратной стороны | мкм | 0,2-0,7 или по индивидуальному заказу |
Приложения
Обработка полупроводников
Кварцевые пластины широко используются в качестве несущих пластин и технологических компонентов в высокотемпературных средах, таких как диффузия, осаждение и травление. Их термическая стабильность обеспечивает стабильную работу при многократных
эрмические циклы.
МЭМС и датчики
При производстве МЭМС кварцевые пластины служат стабильными подложками для микроструктур и датчиков, работающих в режиме
g в условиях механических и термических нагрузок.
Оптика и фотоника
Кварцевые пластины с превосходным УФ- и ИК-пропусканием идеально подходят для:
- Оптические окна
- Лазерные компоненты
- Подложки для нанесения покрытий
- Прецизионные оптические элементы
Промышленное и лабораторное использование
Кварцевые пластины также применяются в:
- Плазменные камеры и вакуумные системы
- Химический и биомедицинский анализ
- Высокотемпературные носители образцов
Производственный процесс
Кварцевые пластины производятся с помощью контролируемого процесса, обеспечивающего чистоту и точность:
- Выбор высокочистого сырья SiO₂
- Плавление при температуре около 2000°C
- Контролируемое охлаждение для получения твердых кварцевых блоков
- Точная нарезка с помощью проволочных пил
- Притирка и полировка (с одной или двух сторон)
- Очистка и контроль в условиях чистого помещения
Параметры настройки
Мы обеспечиваем гибкую настройку в соответствии с требованиями приложения:
- Диаметр: 2″-12″ (возможны нестандартные размеры)
- Толщина: 0,1-6 мм
- Обработка поверхности: SSP / DSP
- Тип кромки: Насечка / Плоская / Закругленная
- Дополнительная обработка:
- Лазерное сверление
- Выкройки
- Оптические покрытия
ЧАСТО ЗАДАВАЕМЫЕ ВОПРОСЫ
Что такое кварцевая пластина?
Кварцевая пластина - это подложка из SiO₂ высокой чистоты, используемая в полупроводниковых, МЭМС и оптических приложениях, требующих термической стабильности и химической стойкости.
Могут ли кварцевые пластины выдерживать высокие температуры?
Да, они могут непрерывно работать при температурах свыше 1000°C без деформации.
Чем кварц лучше обычного стекла?
Кварц отличается высокой чистотой, превосходной термостойкостью и лучшим оптическим пропусканием, что делает его подходящим для современных промышленных применений.
Отзывы
Отзывов пока нет.