SiO₂ kuvars gofretler, yarı iletken işleme, MEMS üretimi, RF cihazları ve optik sistemlerde yaygın olarak kullanılan ultra yüksek saflıkta alt tabakalardır. Standart çapları 2″ ila 12″ arasında değişen bu gofretler, yüksek termal kararlılık, optik şeffaflık ve kimyasal direnç gerektiren uygulamalar için tasarlanmıştır.
Yüksek saflıkta erimiş silikadan üretilen kuvars gofretler, homojen bir amorf yapı sergileyerek iç tane sınırları olmadan tutarlı performans sağlar. Hassas parlatma ve sıkı kalınlık kontrolü ile birlikte, gelişmiş üretim süreçleri için mükemmel yüzey kalitesi sağlarlar.
Temel Özellikler
- Kontaminasyona duyarlı ortamlar için ultra yüksek saflık (≥99,99% SiO₂)
- Geniş çalışma sıcaklığı aralığı (>1100°C'ye kadar kararlı)
- UV'den yakın kızılötesine kadar yüksek optik iletim
- Boyutsal kararlılık için düşük termal genleşme katsayısı
- Asitlere, alkalilere ve solventlere karşı mükemmel kimyasal direnç
- Hassas optikler ve MEMS için uygun ultra pürüzsüz yüzey kalitesi (Ra ≤ 1 nm)
Malzeme Özellikleri
Kuvars gofretler aşağıdakilere dayanmaktadır amorf erimiş SiO₂, teklif:
- Tutarlı optik davranışa sahip izotropik yapı
- Kristal malzemelerde yaygın olan çift kırılma etkileri yok
- Termal şok ve plazma maruziyetine karşı yüksek direnç
- Düşük gaz çıkışı, vakumlu ortamlar için uygun
Geleneksel cam ile karşılaştırıldığında, kuvars gofretler daha yüksek saflık, daha iyi termal dayanıklılık ve daha geniş optik iletim sağlayarak yarı iletken ve fotonik endüstrilerinde tercih edilen bir malzeme haline gelir.
Teknik Özellikler
| Spesifik | Birim | 4″ | 6″ | 8″ | 10″ | 12″ |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Çap / Boyut | mm | 100 | 150 | 200 | 250 | 300 |
| Tolerans (±) | mm | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 |
| Kalınlık | mm | ≥0.10 | ≥0.30 | ≥0.40 | ≥0.50 | ≥0.50 |
| Birincil Referans Daire | mm | 32.5 | 57.5 | Yarı çentik | Yarı çentik | Yarı çentik |
| LTV (5×5 mm) | μm | <0.5 | <0.5 | <0.5 | <0.5 | <0.5 |
| TTV | μm | <2 | <3 | <3 | <5 | <5 |
| Yay | μm | ±20 | ±30 | ±40 | ±40 | ±40 |
| Çözgü | μm | ≤30 | ≤40 | ≤50 | ≤50 | ≤50 |
| PLTV (5×5 mm) | % | ≥95 | ≥95 | ≥95 | ≥95 | ≥95 |
| Kenar Yuvarlama | mm | SEMI M1.2 / IEC62276 uyumlu | ||||
| Yüzey Tipi | — | SSP / DSP | ||||
| Cilalı Yan Ra | nm | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 |
| Arka Taraf Kriterleri | μm | 0,2-0,7 veya özelleştirilmiş |
Uygulamalar
Yarı İletken İşleme
Kuvars gofretler, difüzyon, biriktirme ve aşındırma gibi yüksek sıcaklıklı ortamlarda taşıyıcı gofretler ve proses bileşenleri olarak yaygın şekilde kullanılmaktadır. Termal kararlılıkları, tekrarlanan işlemler sırasında tutarlı performans sağlar.
ermal döngüler.
MEMS & Sensörler
MEMS üretiminde, kuvars gofretler mikro yapılar ve sensörler için kararlı alt tabakalar sağlar.
g mekanik ve termal stres koşulları altında.
Optik ve Fotonik
Mükemmel UV ve IR geçirgenliği ile kuvars gofretler aşağıdakiler için idealdir:
- Optik pencereler
- Lazer bileşenleri
- Kaplama yüzeyleri
- Hassas optik elemanlar
Endüstriyel ve Laboratuvar Kullanımı
Kuvars gofretler de uygulanmaktadır:
- Plazma odaları ve vakum sistemleri
- Kimyasal ve biyomedikal analiz
- Yüksek sıcaklıkta numune taşıyıcılar
Üretim Süreci
Kuvars gofretler, saflık ve hassasiyet sağlamak için kontrollü bir süreçle üretilir:
- Yüksek saflıkta SiO₂ hammadde seçimi
- Yaklaşık 2000°C'de erime
- Katı kuvars blokları oluşturmak için kontrollü soğutma
- Tel testereler kullanarak hassas dilimleme
- Lepleme ve parlatma (tek veya çift taraflı)
- Temiz oda koşullarında temizlik ve denetim
Özelleştirme Seçenekleri
Uygulama gereksinimlerine göre esnek özelleştirme sağlıyoruz:
- Çap: 2″-12″ (özel boyutlar mevcuttur)
- Kalınlık: 0,1-6 mm
- Yüzey kaplaması: SSP / DSP
- Kenar tipi: Çentik / Düz / Yuvarlak
- Ek işlemler:
- Lazer delme
- Desenleme
- Optik kaplamalar
SSS
Kuvars gofret nedir?
Kuvars gofret, termal stabilite ve kimyasal direnç gerektiren yarı iletken, MEMS ve optik uygulamalarda kullanılan yüksek saflıkta bir SiO₂ substrattır.
Kuvars gofretler yüksek sıcaklıklara dayanabilir mi?
Evet, 1000°C'nin üzerindeki sıcaklıklarda deformasyon olmadan sürekli çalışabilirler.
Kuvarsı standart camdan daha iyi yapan nedir?
Kuvars daha yüksek saflık, üstün termal direnç ve daha iyi optik iletim sunarak gelişmiş endüstriyel uygulamalar için uygun hale getirir.
Değerlendirmeler
Henüz değerlendirme yapılmadı.