Wafle kwarcowe SiO₂ to podłoża o ultra wysokiej czystości, szeroko stosowane w przetwarzaniu półprzewodników, produkcji MEMS, urządzeniach RF i systemach optycznych. Dostępne w standardowych średnicach od 2″ do 12″, płytki te są przeznaczone do zastosowań wymagających wysokiej stabilności termicznej, przezroczystości optycznej i odporności chemicznej.
Wytwarzane ze stopionej krzemionki o wysokiej czystości, płytki kwarcowe wykazują jednolitą strukturę amorficzną, zapewniając stałą wydajność bez wewnętrznych granic ziaren. W połączeniu z precyzyjnym polerowaniem i ścisłą kontrolą grubości, zapewniają doskonałą jakość powierzchni dla zaawansowanych procesów produkcyjnych.
Kluczowe cechy
- Bardzo wysoka czystość (≥99,99% SiO₂) dla środowisk wrażliwych na zanieczyszczenia
- Szeroki zakres temperatur pracy (stabilność do >1100°C)
- Wysoka transmisja optyczna od UV do bliskiej podczerwieni
- Niski współczynnik rozszerzalności cieplnej zapewniający stabilność wymiarową
- Doskonała odporność chemiczna na kwasy, zasady i rozpuszczalniki
- Ultra gładkie wykończenie powierzchni (Ra ≤ 1 nm) odpowiednie dla precyzyjnej optyki i MEMS
Charakterystyka materiału
Wafle kwarcowe są oparte na amorficzny stopiony SiO₂, oferując:
- Izotropowa struktura o spójnym zachowaniu optycznym
- Brak efektów dwójłomności typowych dla materiałów krystalicznych
- Wysoka odporność na szok termiczny i działanie plazmy
- Niski poziom odgazowywania, odpowiedni do środowisk próżniowych
W porównaniu z konwencjonalnym szkłem, płytki kwarcowe zapewniają wyższą czystość, lepszą wytrzymałość termiczną i szerszą transmisję optyczną, co czyni je preferowanym materiałem w przemyśle półprzewodników i fotoniki.
Specyfikacja
| Spec | Jednostka | 4″ | 6″ | 8″ | 10″ | 12″ |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Średnica / rozmiar | mm | 100 | 150 | 200 | 250 | 300 |
| Tolerancja (±) | mm | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 |
| Grubość | mm | ≥0.10 | ≥0.30 | ≥0.40 | ≥0.50 | ≥0.50 |
| Podstawowe mieszkanie referencyjne | mm | 32.5 | 57.5 | Pół-węzeł | Pół-węzeł | Pół-węzeł |
| LTV (5×5 mm) | μm | <0.5 | <0.5 | <0.5 | <0.5 | <0.5 |
| TTV | μm | <2 | <3 | <3 | <5 | <5 |
| Łuk | μm | ±20 | ±30 | ±40 | ±40 | ±40 |
| Osnowa | μm | ≤30 | ≤40 | ≤50 | ≤50 | ≤50 |
| PLTV (5×5 mm) | % | ≥95 | ≥95 | ≥95 | ≥95 | ≥95 |
| Zaokrąglanie krawędzi | mm | Zgodność z normami SEMI M1.2 / IEC62276 | ||||
| Typ powierzchni | — | SSP / DSP | ||||
| Polerowany bok Ra | nm | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 |
| Kryteria dotyczące tylnej strony | μm | 0,2-0,7 lub niestandardowe |
Zastosowania
Przetwarzanie półprzewodników
Wafle kwarcowe są szeroko stosowane jako wafle nośne i komponenty procesowe w środowiskach wysokotemperaturowych, takich jak dyfuzja, osadzanie i trawienie. Ich stabilność termiczna zapewnia stałą wydajność podczas
cykle skórne.
MEMS i czujniki
W produkcji MEMS, płytki kwarcowe zapewniają stabilne podłoże dla mikrostruktur i czujników działających w technologii MEMS.
g w warunkach naprężeń mechanicznych i termicznych.
Optyka i fotonika
Dzięki doskonałej przepuszczalności promieniowania UV i IR, płytki kwarcowe są idealnym rozwiązaniem:
- Okna optyczne
- Komponenty laserowe
- Podłoża do powlekania
- Precyzyjne elementy optyczne
Zastosowanie przemysłowe i laboratoryjne
Wafle kwarcowe są również stosowane w:
- Komory plazmowe i systemy próżniowe
- Analiza chemiczna i biomedyczna
- Wysokotemperaturowe nośniki próbek
Proces produkcji
Wafle kwarcowe są produkowane w kontrolowanym procesie, aby zapewnić czystość i precyzję:
- Wybór surowców SiO₂ o wysokiej czystości
- Topi się w temperaturze około 2000°C
- Kontrolowane chłodzenie w celu utworzenia litych bloków kwarcowych
- Precyzyjne cięcie przy użyciu pił drutowych
- Docieranie i polerowanie (jednostronne lub dwustronne)
- Czyszczenie i kontrola w pomieszczeniach czystych
Opcje dostosowywania
Zapewniamy elastyczne dostosowanie w oparciu o wymagania aplikacji:
- Średnica: 2″-12″ (dostępne rozmiary niestandardowe)
- Grubość: 0,1-6 mm
- Wykończenie powierzchni: SSP / DSP
- Typ krawędzi: Wcięcie / Płaska / Zaokrąglona
- Dodatkowe przetwarzanie:
- Wiercenie laserowe
- Wzornictwo
- Powłoki optyczne
FAQ
Czym jest wafel kwarcowy?
Wafel kwarcowy to podłoże SiO₂ o wysokiej czystości stosowane w półprzewodnikach, MEMS i zastosowaniach optycznych wymagających stabilności termicznej i odporności chemicznej.
Czy płytki kwarcowe mogą wytrzymać wysokie temperatury?
Tak, mogą pracować w sposób ciągły w temperaturach powyżej 1000°C bez deformacji.
Co sprawia, że kwarc jest lepszy od standardowego szkła?
Kwarc oferuje wyższą czystość, doskonałą odporność termiczną i lepszą transmisję optyczną, dzięki czemu nadaje się do zaawansowanych zastosowań przemysłowych.
Opinie
Na razie nie ma opinii o produkcie.