SiO₂石英ウェハは、半導体プロセス、MEMS製造、RFデバイス、光学システムで広く使用されている超高純度基板です。2″から12″までの標準直径で入手可能なこれらのウェハは、高い熱安定性、光学的透明性、耐薬品性を必要とする用途向けに設計されています。.
高純度溶融シリカから製造される石英ウェーハは、均一なアモルファス構造を示し、内部粒界のない安定した性能を保証します。精密研磨と厳密な厚み制御を組み合わせることで、高度な製造プロセスに優れた表面品質を提供します。.
主な特徴
- 汚染に敏感な環境のための超高純度（≥99.99% SiO₂)
- 広い動作温度範囲（最高1100℃まで安定）
- 紫外から近赤外まで高い光学透過率
- 寸法安定性のための低熱膨張係数
- 酸、アルカリ、溶剤に対する優れた耐薬品性
- 精密光学やMEMSに適した超平滑表面仕上げ（Ra ≤ 1 nm）
素材特性
石英ウェーハは 非晶質溶融SiO, 提供する：
- 一貫した光学的挙動を持つ等方性構造
- 結晶材料にありがちな複屈折の影響がない
- 熱衝撃とプラズマ暴露に対する高い耐性
- 低アウトガス、真空環境に最適
従来のガラスに比べ、石英ウェーハは純度が高く、熱耐久性に優れ、光透過率が広いため、半導体やフォトニクス産業で好まれる材料となっている。.
仕様
| スペック | 単位 | 4″ | 6″ | 8″ | 10″ | 12″ |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 直径/サイズ | mm | 100 | 150 | 200 | 250 | 300 |
| 公差 (±) | mm | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 |
| 厚さ | mm | ≥0.10 | ≥0.30 | ≥0.40 | ≥0.50 | ≥0.50 |
| プライマリー・リファレンス・フラット | mm | 32.5 | 57.5 | セミノッチ | セミノッチ | セミノッチ |
| LTV（5×5ミリ） | μm | <0.5 | <0.5 | <0.5 | <0.5 | <0.5 |
| TTV | μm | <2 | <3 | <3 | <5 | <5 |
| お辞儀 | μm | ±20 | ±30 | ±40 | ±40 | ±40 |
| ワープ | μm | ≤30 | ≤40 | ≤50 | ≤50 | ≤50 |
| PLTV（5×5ミリ） | % | ≥95 | ≥95 | ≥95 | ≥95 | ≥95 |
| エッジ・ラウンド | mm | SEMI M1.2 / IEC62276準拠 | ||||
| 表面タイプ | — | SSP / DSP | ||||
| ポリッシュド・サイドラー | エヌエム | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 |
| バックサイド基準 | μm | 0.2-0.7またはカスタマイズ |
アプリケーション
半導体加工
石英ウェーハは、拡散、蒸着、エッチングなどの高温環境におけるキャリアウェーハやプロセスコンポーネントとして広く使用されています。その熱安定性により、繰り返し使用される高温環境下でも安定した性能を発揮します。
ermalサイクル。.
MEMS & センサー
MEMS製造において、石英ウェーハは微細構造およびセンサー用の安定した基板を提供する。
gを機械的および熱的ストレス条件下で使用する。.
オプティクス＆フォトニクス
優れた紫外線と赤外線透過率を持つ石英ウェーハは、理想的な用途である：
- 光学窓
- レーザーコンポーネント
- コーティング基板
- 精密光学素子
工業用および研究用
石英ウェーハはまた、次のような用途にも使われている：
- プラズマチャンバーと真空システム
- 化学および生物医学分析
- 高温サンプルキャリア
製造工程
水晶ウエハーは、純度と精度を確保するために管理された工程を経て製造される：
- 高純度SiO₂原料の選択
- 約2000℃で溶融
- 固体石英ブロックを形成するための制御された冷却
- ワイヤーソーによる精密スライス
- ラッピングおよび研磨（片面または両面）
- クリーンルーム内での洗浄と検査
カスタマイズ・オプション
アプリケーションの要件に応じた柔軟なカスタマイズを提供します：
- 直径: 2″-12″（利用できる注文のサイズ）
- 厚さ：0.1～6mm
- 表面仕上げ：SSP / DSP
- エッジタイプノッチ / フラット / ラウンド
- 追加処理：
- レーザードリル
- パターン化
- 光学コーティング
よくあるご質問
石英ウェハーとは？
石英ウェーハは、熱安定性と耐薬品性が要求される半導体、MEMS、光学用途に使用される高純度SiO₂基板です。.
石英ウェーハは高温に耐えられるか？
はい、1000℃を超える温度でも変形することなく連続運転が可能です。.
石英が一般的なガラスより優れているのはなぜですか？
水晶は純度が高く、耐熱性に優れ、光透過率が高いため、高度な産業用途に適している。.
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