A SiO₂ kvarcszeleteket ultra-nagy tisztaságú szubsztrátként széles körben használják a félvezető-feldolgozásban, a MEMS-gyártásban, az RF-eszközökben és az optikai rendszerekben. Ezek a 2″ és 12″ közötti szabványos átmérőben kapható ostyák olyan alkalmazásokhoz készültek, amelyek nagy hőstabilitást, optikai átlátszóságot és vegyi ellenállást igényelnek.
A nagy tisztaságú olvasztott szilícium-dioxidból készült kvarcszeleteket egységes amorf szerkezet jellemzi, ami biztosítja a belső szemcsehatárok nélküli, egyenletes teljesítményt. Precíziós polírozással és szigorú vastagságszabályozással kombinálva kiváló felületi minőséget biztosítanak a fejlett gyártási folyamatokhoz.
Fő jellemzők
- Rendkívül nagy tisztaságú (≥99,99% SiO₂) a szennyeződésre érzékeny környezetekhez.
- Széles üzemi hőmérséklet-tartomány (stabil >1100°C-ig)
- Nagy optikai áteresztőképesség az UV-től a közeli infravörösig
- Alacsony hőtágulási együttható a méretstabilitás érdekében
- Kiváló kémiai ellenállás savakkal, lúgokkal és oldószerekkel szemben
- Ultra-sima felületkezelés (Ra ≤ 1 nm), amely alkalmas precíziós optikához és MEMS-hez
Anyagi jellemzők
A kvarc ostyák alapja amorf olvasztott SiO₂, felajánlva:
- Izotróp szerkezet következetes optikai viselkedéssel
- Nincs a kristályos anyagoknál szokásos kettőstöréses hatás
- Nagy ellenállás a termikus sokknak és a plazmaexpozíciónak való kitettséggel szemben
- Alacsony gázkibocsátás, alkalmas vákuumos környezetbe is
A hagyományos üveghez képest a kvarcszelet nagyobb tisztaságot, jobb hőállóságot és szélesebb optikai átvitelt biztosít, így a félvezető- és fotonikai iparban előnyben részesített anyag.
Műszaki adatok
| Spec | Egység | 4″ | 6″ | 8″ | 10″ | 12″ |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Átmérő / méret | mm | 100 | 150 | 200 | 250 | 300 |
| Tolerancia (±) | mm | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 |
| Vastagság | mm | ≥0.10 | ≥0.30 | ≥0.40 | ≥0.50 | ≥0.50 |
| Elsődleges referencia lakás | mm | 32.5 | 57.5 | Félig rovátkolt | Félig rovátkolt | Félig rovátkolt |
| LTV (5×5 mm) | μm | <0.5 | <0.5 | <0.5 | <0.5 | <0.5 |
| TTV | μm | <2 | <3 | <3 | <5 | <5 |
| Íj | μm | ±20 | ±30 | ±40 | ±40 | ±40 |
| Warp | μm | ≤30 | ≤40 | ≤50 | ≤50 | ≤50 |
| PLTV (5×5 mm) | % | ≥95 | ≥95 | ≥95 | ≥95 | ≥95 |
| Élek lekerekítése | mm | SEMI M1.2 / IEC62276 szabványnak megfelelő | ||||
| Felület típusa | — | SSP / DSP | ||||
| Polírozott oldal Ra | nm | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 |
| Hátsó oldal kritériumai | μm | 0,2-0,7 vagy testre szabott |
Alkalmazások
Félvezető feldolgozás
A kvarcszeleteket széles körben használják hordozószeletként és folyamatelemként magas hőmérsékletű környezetben, például diffúzió, leválasztás és maratás során. Hőstabilitásuk biztosítja a következetes teljesítményt az ismételt hőkezelés során.
ermális ciklusok.
MEMS és érzékelők
A MEMS gyártás során a kvarcszeletkék stabil szubsztrátokat biztosítanak a mikroszerkezetek és érzékelők számára.
g mechanikai és hőterhelési körülmények között.
Optika és fotonika
A kiváló UV- és IR-transzmisszióval rendelkező kvarcszelet ideális:
- Optikai ablakok
- Lézeres alkatrészek
- Bevonó szubsztrátumok
- Precíziós optikai elemek
Ipari és laboratóriumi felhasználás
A kvarcszeleteket a következőkben is alkalmazzák:
- Plazmakamrák és vákuumrendszerek
- Kémiai és orvosbiológiai elemzés
- Magas hőmérsékletű mintahordozók
Gyártási folyamat
A kvarcszeleteket ellenőrzött eljárással állítják elő a tisztaság és a pontosság biztosítása érdekében:
- A nagy tisztaságú SiO₂ nyersanyagok kiválasztása
- Olvadás kb. 2000°C-on
- Szabályozott hűtés szilárd kvarcblokkok kialakításához
- Precíziós szeletelés drótfűrészekkel
- Lapolás és polírozás (egy- vagy kétoldalas)
- Tisztítóhelyiségben történő tisztítás és ellenőrzés
Testreszabási lehetőségek
Rugalmas testreszabást biztosítunk az alkalmazás követelményei alapján:
- Átmérő: 2″-12″ (egyedi méretek rendelhetők)
- Vastagság: 0,1-6 mm
- Felületkezelés: SSP / DSP
- Él típusa: Keresztmetszet: Bevágás / lapos / lekerekített
- További feldolgozás:
- Lézeres fúrás
- Mintázás
- Optikai bevonatok
GYIK
Mi az a kvarcszelet?
A kvarcszelet egy nagy tisztaságú SiO₂ szubsztrát, amelyet félvezető, MEMS és optikai alkalmazásokban használnak, amelyek hőstabilitást és kémiai ellenállást igényelnek.
A kvarc ostyák elviselik a magas hőmérsékletet?
Igen, folyamatosan 1000 °C feletti hőmérsékleten is működhetnek deformáció nélkül.
Mitől jobb a kvarc, mint a hagyományos üveg?
A kvarc nagyobb tisztaságot, kiváló hőállóságot és jobb optikai áteresztőképességet kínál, így alkalmas fejlett ipari alkalmazásokhoz.
Értékelések
Még nincsenek értékelések.