SiO₂-kvartsskivor är substrat med mycket hög renhet som ofta används i halvledarprocesser, MEMS-tillverkning, RF-enheter och optiska system. Dessa wafers finns i standarddiametrar från 2″ till 12″ och är konstruerade för applikationer som kräver hög termisk stabilitet, optisk transparens och kemisk resistens.
Kvartsskivorna är tillverkade av smält kiseldioxid med hög renhet och har en enhetlig amorf struktur, vilket ger en jämn prestanda utan inre korngränser. I kombination med precisionspolering och noggrann tjocklekskontroll ger de utmärkt ytkvalitet för avancerade tillverkningsprocesser.
Viktiga funktioner
- Ultrahög renhet (≥99,99% SiO₂) för föroreningskänsliga miljöer
- Brett driftstemperaturområde (stabilt upp till >1100°C)
- Hög optisk transmission från UV till nära infrarött
- Låg värmeutvidgningskoefficient för dimensionsstabilitet
- Utmärkt kemisk beständighet mot syror, alkalier och lösningsmedel
- Ultrajämn ytfinish (Ra ≤ 1 nm) lämplig för precisionsoptik och MEMS
Materialegenskaper
Kvartsskivor är baserade på amorft smält SiO₂, erbjudande:
- Isotropisk struktur med konsekvent optiskt beteende
- Inga dubbelbrytningseffekter som är vanliga i kristallina material
- Hög motståndskraft mot termisk chock och plasmaexponering
- Låg avgasning, lämplig för vakuummiljöer
Jämfört med konventionellt glas ger kvartsskivor högre renhet, bättre termisk hållbarhet och bredare optisk transmission, vilket gör dem till ett föredraget material inom halvledar- och fotonikindustrin.
Specifikationer
| Spec | Enhet | 4″ | 6″ | 8″ | 10″ | 12″ |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Diameter / Storlek | mm | 100 | 150 | 200 | 250 | 300 |
| Tolerans (±) | mm | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 |
| Tjocklek | mm | ≥0.10 | ≥0.30 | ≥0.40 | ≥0.50 | ≥0.50 |
| Primär referensplatta | mm | 32.5 | 57.5 | Semi-notch | Semi-notch | Semi-notch |
| LTV (5×5 mm) | μm | <0.5 | <0.5 | <0.5 | <0.5 | <0.5 |
| TTV | μm | <2 | <3 | <3 | <5 | <5 |
| Båge | μm | ±20 | ±30 | ±40 | ±40 | ±40 |
| Varp | μm | ≤30 | ≤40 | ≤50 | ≤50 | ≤50 |
| PLTV (5×5 mm) | % | ≥95 | ≥95 | ≥95 | ≥95 | ≥95 |
| Avrundning av kanter | mm | Kompatibel med SEMI M1.2 / IEC62276 | ||||
| Typ av yta | — | SSP / DSP | ||||
| Polerad sida Ra | nm | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 |
| Kriterier för baksidan | μm | 0,2-0,7 eller anpassad |
Tillämpningar
Halvledarbearbetning
Kvartsskivor används ofta som bärskivor och processkomponenter i miljöer med höga temperaturer, t.ex. diffusion, deponering och etsning. Deras termiska stabilitet säkerställer konsekvent prestanda under upprepade
ermala cykler.
MEMS & sensorer
Inom MEMS-tillverkning ger kvartsskivor stabila substrat för mikrostrukturer och sensorer som fungerar
g under mekaniska och termiska påkänningsförhållanden.
Optik & fotonik
Med utmärkt UV- och IR-transmission är kvartsskivor idealiska för:
- Optiska fönster
- Laserkomponenter
- Substrat för ytbeläggning
- Optiska precisionselement
Industri- och laboratorieanvändning
Kvartsskivor används också i:
- Plasmakammare och vakuumsystem
- Kemisk och biomedicinsk analys
- Provbärare för höga temperaturer
Tillverkningsprocess
Kvartsskivor tillverkas genom en kontrollerad process för att säkerställa renhet och precision:
- Urval av SiO₂-råvaror med hög renhet
- Smälter vid ca 2000°C
- Kontrollerad kylning för att bilda solida kvartsblock
- Precisionsskärning med hjälp av vajersågar
- Läppning och polering (enkel- eller dubbelsidig)
- Rengöring och inspektion i renrumsförhållanden
Anpassningsalternativ
Vi erbjuder flexibel anpassning baserat på applikationskrav:
- Diameter: 2″-12″ (anpassade storlekar tillgängliga)
- Tjocklek: 0,1-6 mm
- Ytbehandling: SSP / DSP
- Typ av kant: Skåra / Platt / Avrundad
- Ytterligare bearbetning:
- Laserborrning
- Mönster
- Optiska beläggningar
VANLIGA FRÅGOR
Vad är en kvartsskiva?
En kvartsskiva är ett SiO₂-substrat med hög renhet som används i halvledar-, MEMS- och optiska applikationer som kräver termisk stabilitet och kemisk resistens.
Klarar kvartsskivor höga temperaturer?
Ja, de kan arbeta kontinuerligt i temperaturer över 1000°C utan att deformeras.
Vad gör kvarts bättre än vanligt glas?
Kvarts har högre renhet, överlägsen värmebeständighet och bättre optisk transmission, vilket gör den lämplig för avancerade industriella tillämpningar.
Recensioner
Det finns inga recensioner än.