SiO₂ 석영 웨이퍼는 반도체 처리, MEMS 제조, RF 장치 및 광학 시스템에서 널리 사용되는 초고순도 기판입니다. 2인치에서 12인치의 표준 직경으로 제공되는 이 웨이퍼는 높은 열 안정성, 광학 투명성 및 내화학성이 요구되는 애플리케이션을 위해 설계되었습니다.
고순도 용융 실리카로 생산되는 쿼츠 웨이퍼는 균일한 비정질 구조를 나타내며 내부 입자 경계 없이 일관된 성능을 보장합니다. 정밀 연마 및 엄격한 두께 제어와 결합하여 첨단 제조 공정에 탁월한 표면 품질을 제공합니다.
주요 기능
- 오염에 민감한 환경을 위한 초고순도(≥99.99% SiO₂)
- 넓은 작동 온도 범위(>1100°C까지 안정적)
- 자외선에서 근적외선까지 높은 광학 전송률
- 치수 안정성을 위한 낮은 열팽창 계수
- 산, 알칼리 및 용제에 대한 뛰어난 내화학성
- 정밀 광학 및 MEMS에 적합한 매우 매끄러운 표면 마감(Ra ≤ 1nm)
재료 특성
쿼츠 웨이퍼는 다음을 기반으로 합니다. 비정질 용융 SiO₂, 를 제공합니다:
- 일관된 광학적 거동을 가진 등방성 구조
- 결정성 소재에서 흔히 발생하는 복굴절 효과 없음
- 열 충격 및 플라즈마 노출에 대한 높은 내성
- 낮은 가스 배출, 진공 환경에 적합
쿼츠 웨이퍼는 기존 유리와 비교하여 순도가 높고 열 내구성이 우수하며 광 투과율이 높아 반도체 및 포토닉스 산업에서 선호되는 소재입니다.
사양
| 사양 | 단위 | 4″ | 6″ | 8″ | 10″ | 12″ |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 직경 / 크기 | mm | 100 | 150 | 200 | 250 | 300 |
| 허용 오차(±) | mm | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 |
| 두께 | mm | ≥0.10 | ≥0.30 | ≥0.40 | ≥0.50 | ≥0.50 |
| 기본 참조 플랫 | mm | 32.5 | 57.5 | 세미 노치 | 세미 노치 | 세미 노치 |
| LTV(5×5mm) | μm | <0.5 | <0.5 | <0.5 | <0.5 | <0.5 |
| TTV | μm | <2 | <3 | <3 | <5 | <5 |
| 활 | μm | ±20 | ±30 | ±40 | ±40 | ±40 |
| 워프 | μm | ≤30 | ≤40 | ≤50 | ≤50 | ≤50 |
| PLTV(5×5mm) | % | ≥95 | ≥95 | ≥95 | ≥95 | ≥95 |
| 가장자리 반올림 | mm | SEMI M1.2 / IEC62276 준수 | ||||
| 표면 유형 | — | SSP / DSP | ||||
| 광택 측면 Ra | nm | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 |
| 뒷면 기준 | μm | 0.2-0.7 또는 사용자 지정 |
애플리케이션
반도체 공정
석영 웨이퍼는 확산, 증착, 에칭과 같은 고온 환경에서 캐리어 웨이퍼 및 공정 구성 요소로 널리 사용됩니다. 열 안정성이 뛰어나 반복적인 작업 중에도 일관된 성능을 보장합니다.
에멀 사이클.
MEMS 및 센서
MEMS 제조에서 석영 웨이퍼는 미세 구조 및 센서 작동을 위한 안정적인 기판을 제공합니다.
g의 기계적 및 열적 스트레스 조건에서.
광학 및 포토닉스
자외선 및 적외선 투과율이 뛰어난 쿼츠 웨이퍼는 다음과 같은 용도에 이상적입니다:
- 광학 창
- 레이저 구성 요소
- 기판 코팅
- 정밀 광학 요소
산업 및 실험실용
쿼츠 웨이퍼도 적용됩니다:
- 플라즈마 챔버 및 진공 시스템
- 화학 및 생물의학 분석
- 고온 시료 캐리어
제조 프로세스
쿼츠 웨이퍼는 순도와 정밀도를 보장하기 위해 제어된 공정을 통해 생산됩니다:
- 고순도 SiO₂ 원료 선택
- 약 2000°C에서 녹기
- 제어된 냉각으로 견고한 석영 블록 형성
- 와이어 톱을 사용한 정밀 슬라이싱
- 래핑 및 연마(단면 또는 양면)
- 클린룸 조건에서의 청소 및 검사
사용자 지정 옵션
애플리케이션 요구 사항에 따라 유연한 사용자 지정 기능을 제공합니다:
- 지름: 2인치-12인치(사용자 지정 크기 사용 가능)
- 두께: 0.1~6 mm
- 표면 마감: SSP / DSP
- 가장자리 유형: 노치/평면/원형
- 추가 처리:
- 레이저 드릴링
- 패터닝
- 광학 코팅
자주 묻는 질문
쿼츠 웨이퍼란 무엇인가요?
석영 웨이퍼는 열 안정성과 내화학성이 요구되는 반도체, MEMS 및 광학 애플리케이션에 사용되는 고순도 SiO₂ 기판입니다.
쿼츠 웨이퍼는 고온을 견딜 수 있나요?
예, 1000°C 이상의 온도에서도 변형 없이 지속적으로 작동할 수 있습니다.
쿼츠가 일반 유리보다 나은 점은 무엇인가요?
석영은 순도가 높고 내열성이 뛰어나며 광학적 투과율이 우수하여 첨단 산업 분야에 적합합니다.
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