Les plaquettes de verre sodocalcique constituent une alternative rentable et largement utilisée aux plaquettes de borosilicate et de quartz, en particulier dans les applications exigeant une grande clarté optique, une surface lisse et un faible coût des matériaux.
Fabriqué selon le procédé du verre flotté, le verre sodocalcique présente une excellente planéité, une épaisseur uniforme et une faible rugosité de surface, ce qui le rend particulièrement adapté au dépôt de couches minces/épaisses, aux processus de revêtement et à la recherche sur les systèmes électromécaniques (MEMS).
En raison de leur surface chimiquement stable et non réactive, les plaques de verre sodocalcique sont couramment utilisées comme substrats de support mécanique pour les électrodes conductrices et les couches minces fonctionnelles.
Caractéristiques principales
- Transparence optique élevée
Transmission de la lumière visible jusqu'à 88-92%, adaptée aux applications optiques et d'affichage - Surface ultra-plate
Le processus de flottaison garantit une surface lisse, idéale pour le revêtement et la lithographie. - Une alternative rentable
Coût inférieur à celui des plaquettes de quartz et de borosilicate, idéal pour l'utilisation de grands volumes. - Excellente aptitude à la transformation
Facile à couper, à polir, à découper, à percer et à façonner en plaquettes personnalisées. - Stabilité chimique
Résistant à l'eau et aux acides doux pour les environnements généraux de laboratoire et industriels - Options de résistance personnalisées
Peut être renforcé chimiquement ou trempé thermiquement
Applications typiques
- Dépôt de couches minces/épaisses
- MEMS et microfabrication
- Dispositifs microfluidiques
- Substrats de revêtement optique
- Plateformes de capteurs et de détecteurs
- Recherche et développement en matière d'écrans et de panneaux tactiles
- Plaquettes de laboratoire
Spécifications des plaquettes
| Paramètres | Valeur |
|---|---|
| Matériau | Verre sodocalcique |
| Diamètre | 2” / 3” / 4” / 6” (sur mesure) |
| Épaisseur | 0,5 mm - 3 mm (personnalisable) |
| Finition de la surface | Polie / Polie double face |
| Planéité | Disponible sur demande |
| Type de bord | Arrondi / Chanfreiné |
| Transparence | 88-92% |
| Indice de réfraction | 1.51-1.52 |
Propriétés physiques et thermiques
| Propriété | Valeur |
|---|---|
| Densité | 2,5 g/cm³ |
| Module de Young | 70-75 GPa |
| Dureté (Mohs) | ~6.5 |
| Conductivité thermique | 0,95 W/m-K |
| CTE | ~9 × 10-⁶ /K |
| Point de contrainte | ~500°C |
| Plage de recuit | 480-585°C |
| Point d'adoucissement | 585-740°C |
Traitement et personnalisation
Nous prenons en charge la personnalisation complète au niveau de la tranche de silicium :
- Découpage et redimensionnement des plaquettes
- Polissage double face (DSP)
- Usinage CNC
- Découpe au laser
- Perçage de trous / rainurage
- Polissage des bords / Biseautage
Revêtements disponibles
- AR (antireflet)
- Revêtement conducteur ITO
- Revêtements métalliques (Au, Al, Cr)
- Filtres diélectriques et optiques
Note d'application
Les plaquettes de verre sodocalcique sont largement utilisées comme substrats de référence dans les.. :
- Développement de procédés de rectification et de polissage
- Essais d'adhérence de couches minces
- Évaluation des outils et des boues
Leurs propriétés matérielles constantes et leur faible coût en font un outil idéal pour l'étalonnage des processus et la validation expérimentale.
Avantages par rapport à d'autres matériaux pour plaquettes de silicium
| Propriété | Gaufrette soda-citron vert | Plaquette en borosilicate | Plaque de quartz |
|---|---|---|---|
| Coût | ⭐ Faible | Moyen | Haut |
| Résistance thermique | Modéré | Haut | Très élevé |
| Capacité de traitement | Excellent | Bon | Difficile |
| Qualité optique | Bon | Très bon | Excellent |
Note importante
En raison de son coefficient de dilatation thermique plus élevé, les plaquettes de verre sodocalcique ne conviennent pas aux processus de semi-conducteurs à choc thermique élevé ou à haute température.
Pour les environnements à haute température, les plaquettes en borosilicate ou en quartz sont recommandées.
Approvisionnement standard
- Exemple : 100 pièces (25 × 25 × 1,1 mm)
- Formats de plaquettes disponibles (rond / carré / personnalisé)
- Soutien à l'emballage en salle blanche
FAQ - Gaufrettes de verre sodocalcique
Q1 : Les plaquettes en verre sodocalcique sont-elles adaptées aux procédés MEMS ?
R : Oui, les plaquettes de verre sodocalcique sont largement utilisées dans la recherche et le prototypage de MEMS, en particulier dans les applications sensibles au coût ou à basse température. Leurs surfaces lisses et plates conviennent au dépôt de couches minces, à la lithographie et aux expériences de microfabrication. Toutefois, pour les processus MEMS à haute température ou les applications nécessitant une résistance extrême aux chocs thermiques, les plaquettes en borosilicate ou en quartz peuvent être préférées en raison de leur coefficient de dilatation thermique plus faible et de leurs points de déformation plus élevés.
Q2 : Pouvez-vous assurer le polissage au niveau de la plaquette ?
R : Oui, nous proposons un polissage simple face et double face (SSP/DSP) pour les plaquettes sodocalciques. Le polissage garantit une planéité de qualité optique et une faible rugosité de surface, ce qui est essentiel pour le dépôt de couches minces de précision et les applications optiques. La rugosité et la planéité de la surface peuvent être personnalisées en fonction des exigences de votre processus, et des options supplémentaires telles que le polissage des bords, le chanfreinage et le biseautage sont disponibles pour la manipulation et l'assemblage dans les processus en aval.
Q3 : Des revêtements peuvent-ils être appliqués sur les plaquettes ?
R : Absolument. Les plaquettes sodocalciques peuvent recevoir une large gamme de revêtements, notamment :
- Revêtements antireflets (AR) pour une meilleure transmission de la lumière dans les applications optiques et d'affichage
- Revêtements conducteurs ITO pour électrodes ou capteurs
- Revêtements métalliques (Au, Al, Cr, etc.) pour les contacts électriques ou les surfaces réfléchissantes
- Revêtements diélectriques et filtres optiques pour un contrôle spécifique de la longueur d'onde
Ces revêtements peuvent être appliqués sur une ou deux faces, et les épaisseurs ou les motifs peuvent être personnalisés en fonction des exigences spécifiques de votre projet en matière de performances optiques ou électriques.
Q4 : Quelle est la principale limitation des plaquettes de verre sodocalcique ?
R : La principale limitation est une stabilité thermique inférieure à celle des plaquettes de borosilicate ou de quartz. Le verre sodocalcique a un coefficient de dilatation thermique plus élevé (~9 × 10-⁶ /K) et un point de ramollissement relativement bas. Il est donc plus susceptible de se fissurer ou de se déformer en cas de changements de température rapides ou de processus à haute température. Pour les applications impliquant des cycles thermiques, des collages à haute température ou des chocs thermiques extrêmes, il est recommandé d'utiliser d'autres types de verre tels que les plaquettes de borosilicate ou de quartz. Malgré cela, les plaquettes sodocalciques restent très fiables pour les processus à température ambiante ou à basse température et constituent un substrat abordable et optiquement clair pour le prototypage et la recherche.
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