BOROFLOAT 33 BF33 üveglap MEMS-lapok összeragasztásához és optikai csomagoláshoz
A BF33 (BOROFLOAT 33) egy alacsony tágulású boroszilikát üveglap, amelyet széles körben használnak a félvezetőgyártásban, a MEMS-gyártásban, az optikai csomagolásban és a mikrofluidikus eszközökben. Kiváló hőstabilitásának, magas optikai átlátszóságának és kiemelkedő felületi minőségének köszönhetően a BF33 az egyik leggyakrabban használt üvegszubsztrátum lett a szilícium-kötési alkalmazások területén.
Hőtágulási együtthatója szinte megegyezik a szilíciuméval, ami megbízható anódos kötést tesz lehetővé, és minimalizálja a hőterhelést a magas hőmérsékletű feldolgozás során. A BF33-as szilíciumlapok különböző átmérőkben, vastagságokban és csiszolási minőségekben kaphatók, hogy megfeleljenek a különböző, szilíciumlap-szintű feldolgozási követelményeknek.
Legfontosabb előnyök
- Alacsony hőtágulási együttható, amely szorosan illeszkedik a szilíciuméhoz
- Kiváló kompatibilitás az anódos kötéssel
- Magas optikai átlátszóság az UV-től a közeli infravörös hullámhosszokig
- Kiváló kémiai ellenállás savakkal és oldószerekkel szemben
- Kiváló felületi síkosság és alacsony TTV
- SSP és DSP polírozási lehetőségek közül választható
- Alkalmas MEMS, mikrofluidika és optikai csomagoláshoz
- Megbízható teljesítmény tisztatéri gyártási környezetben
Műszaki specifikációk
| Paraméter | Érték |
|---|---|
| Anyag | Boroszilikát üveg |
| Osztály | BF33 / BOROFLOAT 33 |
| SiO₂ Tartalom | >80% |
| Sűrűség | 2,23 g/cm³ |
| Törésmutató | 1.47 |
| Hőtágulási együttható | 3,3 × 10⁻⁶ /K |
| Strain Point | 520°C |
| Izzítási pont | 560°C |
| Lágyulási pont | 820°C |
| Fényáteresztés | >90% |
| Felületi érdesség | <1 nm (DSP elérhető) |
| Vízállóság | ISO 1. osztály |
| Savállóság | ISO 1. osztály |
| Lúgállóság | ISO 2. osztály |
Kapható ostya méretek
| Átmérő | Vastagságtartomány |
| 2 hüvelyk | 100 μm – 2 mm |
| 4 hüvelyk | 100 μm – 3 mm |
| 6 hüvelyk | 200 μm – 5 mm |
| 8 hüvelyk | 300 μm – 5 mm |
| Egyedi | Elérhető |
Felületkezelés:
- Egyoldalúan csiszolt (SSP)
- Kétoldalúan csiszolt (DSP)
Éltípus:
- Lekerekített él
- Lekerekített él
- Egyedi megmunkálás
Tipikus alkalmazások
MEMS-gyártás
A BF33 üveglapokat széles körben használják fedőlapként és kötőlapként MEMS-érzékelőkben, nyomásérzékelőkben, gyorsulásmérőkben, giroszkópokban és mikro-működtetőkben.
Szilícium-anódos kötés
A BF33 és a szilícium közötti hőtágulási összhang miatt ez az anyag ideális hordozóanyag a szilíciumszelet-szintű csomagolás és a hermetikus lezárás során alkalmazott anódos kötési eljárásokhoz.
Mikrofluidikai eszközök
A BF33 kiváló átlátszóságot és kémiai ellenállást biztosít, így alkalmas lab-on-chip eszközökhöz, mikroreaktorokhoz és orvosbiológiai diagnosztikai rendszerekhez.
Optikai csomagolás
Ezt az anyagot általában optikai ablakokhoz, lézerházakhoz, fotonikus eszközökhöz, optikai szűrőkhöz és képalkotó modulokhoz használják.
Félvezető-gyártási hordozók
A BF33-as szilíciumlapok hordozólemezként is felhasználhatók ideiglenes ragasztáshoz, a szilíciumlapok vékonyításához, valamint fejlett félvezető-csomagolási folyamatokhoz.
Miért érdemes a BF33 üveglapot választani?
A hagyományos nátrium-kalcium-üveghez képest a BF33 jelentősen jobb hőstabilitást, alacsonyabb hőtágulást, magasabb optikai minőséget és kiváló kémiai ellenállóságot biztosít. Ezek az előnyök teszik a BF33-at a fejlett MEMS-gyártás, az optikai integráció és a szilíciumszelet-szintű csomagolás területén előnyben részesített hordozóanyaggá.
Kiváló síkfelületével, alacsony hibasűrűségével és magas kötési megbízhatóságával a BF33 továbbra is az egyik legszélesebb körben alkalmazott üveglap-anyag a félvezető- és fotonikai iparban.
GYIK
Mi a különbség a BF33 és a hagyományos üveg között?
A BF33 magas szilícium-dioxid- és bór-oxid-tartalommal rendelkezik, ami alacsonyabb hőtágulást, jobb kémiai ellenállást és jobb optikai tulajdonságokat biztosít, mint a hagyományos nátrium-kalcium-üveg.
A BF33 alkalmas-e szilíciummal történő anódos kötésre?
Igen. A BF33 az egyik leggyakrabban használt üveganyag a szilícium-anódos kötéshez, mivel hőtágulási együtthatója szinte megegyezik a szilíciuméval.
A BF33-as szeleteket kétoldalas csiszolással is szállíthatják?
Igen. SSP- és DSP-szilíciumlapok egyaránt kaphatók. A DSP-szilíciumlapok 1 nm alatti felületi érdességet képesek elérni, és nagy pontosságú szilíciumlap-összeragasztási alkalmazásokhoz alkalmasak.
Lehet-e egyedi méretű és vastagságú szeleteket rendelni?
Igen. Az ügyfél igényeinek megfelelően egyedi átmérők, vastagságok, élprofilok és polírozási előírások is rendelkezésre állnak.
Értékelések
Még nincsenek értékelések.