Стеклянная подложка BOROFLOAT 33 BF33 для склеивания подложек MEMS и оптической упаковки
BF33 (BOROFLOAT 33) — это стеклянная подложка из боросиликатного стекла с низким коэффициентом расширения, широко используемая в производстве полупроводников, изготовлении МЭМС, оптической упаковке и микрофлюидных устройствах. Благодаря превосходной термической стабильности, высокой оптической прозрачности и отличному качеству поверхности BF33 стал одной из наиболее широко используемых стеклянных подложек для склеивания с кремнием.
Его коэффициент теплового расширения практически соответствует коэффициенту кремния, что обеспечивает надёжную анодную сварку и сводит к минимуму термические напряжения при высокотемпературной обработке. Пластины BF33 выпускаются с различными диаметрами, толщинами и степенями полировки для удовлетворения различных требований технологических процессов на уровне пластин.
Ключевые преимущества
- Низкий коэффициент теплового расширения, близкий к коэффициенту кремния
- Отличная совместимость при анодном соединении
- Высокая оптическая пропускаемость в диапазоне от ультрафиолетовых до ближних инфракрасных длин волн
- Превосходная химическая стойкость к воздействию кислот и растворителей
- Высокая плоскостность поверхности и низкое значение TTV
- Доступны варианты полировки SSP и DSP
- Подходит для MEMS, микрофлюидики и оптического монтажа
- Стабильная производительность в условиях производства в чистых помещениях
Технические характеристики
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Материал | Боросиликатное стекло |
| Оценка | BF33 / BOROFLOAT 33 |
| Содержание SiO₂ | >80% |
| Плотность | 2,23 г/см³ |
| Показатель преломления | 1.47 |
| Коэффициент теплового расширения | 3,3 × 10⁻⁶ /K |
| Точка деформации | 520°C |
| Точка отжига | 560°C |
| Точка размягчения | 820°C |
| Светопропускание | >90% |
| Шероховатость поверхности | <1 нм (доступна версия DSP) |
| Водонепроницаемость | Класс 1 по стандарту ISO |
| Устойчивость к воздействию кислот | Класс 1 по стандарту ISO |
| Устойчивость к воздействию щелочей | Класс 2 по стандарту ISO |
Доступные размеры пластин
| Диаметр | Диапазон толщины |
| 2 дюйма | 100 мкм – 2 мм |
| 4 дюйма | 100 мкм – 3 мм |
| 6 дюймов | 200 мкм – 5 мм |
| 8 дюймов | 300 мкм – 5 мм |
| Пользовательский | В наличии |
Отделка поверхности:
- Односторонняя полировка (SSP)
- Двусторонняя полировка (DSP)
Тип кромки:
- Закруглённый край
- Скошенная кромка
- Обработка по индивидуальному заказу
Типовые применения
Производство МЭМС
Стеклянные пластины BF33 широко используются в качестве крышечных и соединительных пластин в датчиках MEMS, датчиках давления, акселерометрах, гироскопах и микроприводах.
Кремниевая анодная сварка
Благодаря совместимости коэффициентов теплового расширения BF33 и кремния этот материал является идеальной подложкой для процессов анодного соединения, применяемых в технологии монтажа на уровне пластин и герметичной запечатки.
Микрофлюидические устройства
Материал BF33 обладает превосходной прозрачностью и химической стойкостью, благодаря чему он подходит для устройств типа «лаборатория на чипе», микрореакторов и систем биомедицинской диагностики.
Оптическая упаковка
Данный материал широко применяется для изготовления оптических окон, корпусов лазеров, фотонных устройств, оптических фильтров и модулей формирования изображения.
Носители для полупроводниковых технологических процессов
Пластины BF33 также могут использоваться в качестве несущих пластин для временной склеивки, утоньшения пластин и передовых процессов упаковки полупроводников.
Почему стоит выбрать стеклянную подложку BF33
По сравнению с традиционным натриево-кальциевым стеклом BF33 отличается значительно лучшей термической стабильностью, меньшим коэффициентом теплового расширения, более высоким оптическим качеством и превосходной химической стойкостью. Эти преимущества делают его предпочтительным материалом-основой для производства современных МЭМС, оптической интеграции и упаковки на уровне пластин.
Благодаря превосходной плоскостности, низкой плотности дефектов и высокой надежности соединений BF33 по-прежнему остается одним из наиболее широко используемых материалов для стеклянных пластин в полупроводниковой и фотонной отраслях.
ЧАСТО ЗАДАВАЕМЫЕ ВОПРОСЫ
В чём заключается разница между BF33 и обычным стеклом?
BF33 содержит высокую долю диоксида кремния и оксида бора, что обеспечивает более низкое тепловое расширение, лучшую химическую стойкость и более высокие оптические характеристики по сравнению с обычным натриево-кальциевым стеклом.
Подходит ли BF33 для анодного соединения с кремнием?
Да. BF33 — один из наиболее широко используемых видов стекла для анодного соединения с кремнием, поскольку его коэффициент теплового расширения практически совпадает с коэффициентом теплового расширения кремния.
Можно ли поставить пластины BF33 с двусторонней полировкой?
Да. В наличии имеются пластины SSP и DSP. Пластины DSP позволяют достичь шероховатости поверхности менее 1 нм и подходят для высокоточных операций склеивания пластин.
Можно ли изготовить пластины нестандартных размеров и толщины?
Да. По запросу заказчика возможны нестандартные значения диаметра, толщины, профиля кромок и параметров полировки.
Отзывы
Отзывов пока нет.