BOROFLOAT 33 BF33 — Pastilha de vidro para ligação de pastilhas MEMS e embalagem ótica
O BF33 (BOROFLOAT 33) é uma pastilha de vidro borossilicato de baixa expansão amplamente utilizada no fabrico de semicondutores, na fabricação de MEMS, em embalagens óticas e em dispositivos microfluídicos. Graças à sua excelente estabilidade térmica, elevada transparência ótica e qualidade superficial superior, o BF33 tornou-se um dos substratos de vidro mais utilizados em aplicações de ligação de silício.
O seu coeficiente de expansão térmica é muito semelhante ao do silício, o que permite uma ligação anódica fiável e minimiza a tensão térmica durante o processamento a altas temperaturas. As pastilhas BF33 estão disponíveis em vários diâmetros, espessuras e graus de polimento, de modo a satisfazer os diferentes requisitos dos processos ao nível da pastilha.
Principais vantagens
- Baixo coeficiente de expansão térmica, muito semelhante ao do silício
- Excelente compatibilidade com a ligação anódica
- Elevada transmissão ótica desde os comprimentos de onda UV até ao infravermelho próximo
- Excelente resistência química a ácidos e solventes
- Elevada planicidade da superfície e baixo TTV
- Disponível nas opções de polimento SSP e DSP
- Adequado para MEMS, microfluídica e embalagem ótica
- Desempenho estável em ambientes de fabrico em salas limpas
Especificações técnicas
| Parâmetro | Valor |
|---|---|
| Material | Vidro borossilicato |
| Nota | BF33 / BOROFLOAT 33 |
| Teor de SiO₂ | >80% |
| Densidade | 2,23 g/cm³ |
| Índice de refração | 1.47 |
| Coeficiente de expansão térmica | 3,3 × 10⁻⁶ /K |
| Ponto de deformação | 520°C |
| Ponto de recozimento | 560°C |
| Ponto de amolecimento | 820°C |
| Transmissão de luz | >90% |
| Rugosidade da superfície | <1 nm (DSP disponível) |
| Resistência à água | Classe 1 da ISO |
| Resistência aos ácidos | Classe 1 da ISO |
| Resistência aos álcalis | Classe 2 da ISO |
Tamanhos de wafer disponíveis
| Diâmetro | Intervalo de espessura |
| 2 polegadas | 100 μm – 2 mm |
| 4 polegadas | 100 μm – 3 mm |
| 6 polegadas | 200 μm – 5 mm |
| 8 polegadas | 300 μm – 5 mm |
| Personalizado | Disponível |
Acabamento da superfície:
- Polido num só lado (SSP)
- Polido em ambos os lados (DSP)
Tipo de borda:
- Borda arredondada
- Borda chanfrada
- Maquinação à medida
Aplicações típicas
Fabrico de MEMS
As pastilhas de vidro BF33 são amplamente utilizadas como pastilhas de cobertura e pastilhas de ligação em sensores MEMS, sensores de pressão, acelerómetros, giroscópios e microatuadores.
Ligação anódica do silício
A compatibilidade em termos de expansão térmica entre o BF33 e o silício torna-o um substrato ideal para os processos de ligação anódica utilizados no encapsulamento ao nível da pastilha e na vedação hermética.
Dispositivos microfluídicos
O BF33 oferece excelente transparência e resistência química, tornando-o adequado para dispositivos «lab-on-chip», microrreatores e sistemas de diagnóstico biomédico.
Embalagem Ótica
Este material é frequentemente utilizado em janelas óticas, invólucros para lasers, dispositivos fotónicos, filtros óticos e módulos de imagem.
Portadores para processos de semicondutores
As pastilhas BF33 também podem servir como pastilhas de suporte para a ligação temporária, o afinamento de pastilhas e processos avançados de embalagem de semicondutores.
Por que escolher a pastilha de vidro BF33
Em comparação com o vidro sodocálcico convencional, o BF33 oferece uma estabilidade térmica significativamente superior, menor expansão térmica, maior qualidade ótica e durabilidade química superior. Estas vantagens tornam-no um material de substrato preferido para aplicações avançadas de fabrico de MEMS, integração ótica e embalagem ao nível da pastilha.
Com excelente planicidade, baixa densidade de defeitos e elevada fiabilidade de ligação, o BF33 continua a ser um dos materiais para pastilhas de vidro mais amplamente utilizados nas indústrias dos semicondutores e da fotónica.
FAQ
Qual é a diferença entre o BF33 e o vidro normal?
O BF33 contém uma elevada percentagem de sílica e óxido de boro, proporcionando uma menor expansão térmica, uma melhor resistência química e um melhor desempenho ótico do que o vidro de soda e cal convencional.
O BF33 é adequado para a ligação anódica com silício?
Sim. O BF33 é um dos materiais de vidro mais utilizados na ligação anódica de silício, uma vez que o seu coeficiente de expansão térmica é muito semelhante ao do silício.
É possível fornecer pastilhas BF33 com polimento em ambos os lados?
Sim. Estão disponíveis pastilhas SSP e DSP. As pastilhas DSP podem atingir uma rugosidade superficial inferior a 1 nm e são adequadas para aplicações de colagem de pastilhas de alta precisão.
É possível fornecer wafers com tamanhos e espessuras personalizados?
Sim. Estão disponíveis diâmetros, espessuras, perfis de borda e especificações de polimento personalizados, de acordo com os requisitos do cliente.
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