แผ่นกระจก BOROFLOAT 33 BF33 สำหรับการเชื่อมต่อเวเฟอร์ MEMS และการบรรจุภัณฑ์ออปติคอล
BF33 (BOROFLOAT 33) เป็นแผ่นกระจกบอโรซิลิเกตชนิดขยายตัวต่ำที่ใช้กันอย่างแพร่หลายในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ การผลิต MEMS การบรรจุภัณฑ์ทางแสง และอุปกรณ์ไมโครฟลูอิดิก ด้วยความเสถียรทางความร้อนที่ยอดเยี่ยม ความโปร่งใสทางแสงสูง และคุณภาพผิวที่เหนือกว่า BF33 จึงกลายเป็นหนึ่งในวัสดุรองรับกระจกที่ใช้กันอย่างแพร่หลายที่สุดสำหรับการใช้งานในการยึดติดซิลิคอน.
สัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนของมันใกล้เคียงกับซิลิคอน ทำให้สามารถเชื่อมติดแบบแอโนดิกได้อย่างน่าเชื่อถือและลดความเค้นทางความร้อนในระหว่างกระบวนการที่อุณหภูมิสูงได้ คริสตัล BF33 มีให้เลือกในขนาดเส้นผ่าศูนย์กลาง ความหนา และเกรดการขัดเงาต่าง ๆ ตามความต้องการของกระบวนการผลิตระดับคริสตัล.
ข้อได้เปรียบหลัก
- สัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนต่ำที่ใกล้เคียงกับซิลิคอน
- ความเข้ากันได้ในการยึดติดแบบแอโนดิกที่ยอดเยี่ยม
- การส่งผ่านแสงสูงจากช่วงคลื่น UV ถึงช่วงคลื่นใกล้อินฟราเรด
- ทนทานต่อสารเคมีได้อย่างยอดเยี่ยมต่อกรดและตัวทำละลาย
- ความเรียบผิวสูงและความแปรผันของความหนาต่ำ
- มีให้เลือกในตัวเลือกการขัดเงา SSP และ DSP
- เหมาะสำหรับ MEMS, ไมโครฟลูอิดิกส์ และการบรรจุภัณฑ์ออปติคอล
- ประสิทธิภาพที่เสถียรในสภาพแวดล้อมการผลิตในห้องสะอาด
ข้อมูลจำเพาะทางเทคนิค
| พารามิเตอร์ | มูลค่า |
|---|---|
| วัสดุ | แก้วบอโรซิลิเกต |
| เกรด | BF33 / บอโรฟลอต 33 |
| ปริมาณซิลิกอนไดออกไซด์ | >80% |
| ความหนาแน่น | 2.23 กรัม/ลูกบาศก์เซนติเมตร |
| ดัชนีหักเห | 1.47 |
| สัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อน | 3.3 × 10⁻⁶ /K |
| จุดเครียด | 520°C |
| จุดอบอ่อน | 560°C |
| จุดอ่อนตัว | 820°C |
| การส่งผ่านแสง | >90% |
| ความหยาบผิว | <1 นาโนเมตร (มี DSP) |
| การกันน้ำ | ISO Class 1 |
| ความต้านทานกรด | ISO Class 1 |
| ความต้านทานต่อด่าง | ISO Class 2 |
ขนาดเวเฟอร์ที่มีจำหน่าย
| เส้นผ่านศูนย์กลาง | ช่วงความหนา |
| 2 นิ้ว | 100 ไมโครเมตร – 2 มิลลิเมตร |
| 4 นิ้ว | 100 ไมโครเมตร – 3 มิลลิเมตร |
| 6 นิ้ว | 200 ไมโครเมตร – 5 มิลลิเมตร |
| 8 นิ้ว | 300 ไมโครเมตร – 5 มิลลิเมตร |
| กำหนดเอง | มีให้บริการ |
ผิวสำเร็จ:
- ขัดเงาด้านเดียว
- ขัดเงาสองด้าน (DSP)
ประเภทขอบ:
- ขอบมน
- ขอบลาดเอียง
- การกลึงตามสั่ง
การใช้งานทั่วไป
การผลิต MEMS
เวเฟอร์แก้ว BF33 ถูกใช้อย่างแพร่หลายเป็นเวเฟอร์ฝาครอบและเวเฟอร์เชื่อมในเซ็นเซอร์ MEMS, เซ็นเซอร์ความดัน, เครื่องวัดความเร่ง, ไจโรสโคป และไมโครแอคชูเอเตอร์.
การเชื่อมประสานอะโนดิกซิลิคอน
การขยายตัวทางความร้อนที่สอดคล้องกันระหว่าง BF33 และซิลิคอนทำให้เป็นวัสดุรองรับที่เหมาะสมอย่างยิ่งสำหรับกระบวนการยึดติดแบบแอโนดิกที่ใช้ในการบรรจุระดับเวเฟอร์และการปิดผนึกแบบเฮอร์เมติก.
อุปกรณ์ไมโครฟลูอิดิก
BF33 ให้ความโปร่งใสและความต้านทานต่อสารเคมีที่ยอดเยี่ยม ทำให้เหมาะสำหรับอุปกรณ์แล็บออนชิป ไมโครรีแอคเตอร์ และระบบวินิจฉัยทางการแพทย์และชีวภาพ.
การบรรจุภัณฑ์ทางแสง
วัสดุนี้มักใช้สำหรับหน้าต่างออปติคัล, บรรจุภัณฑ์เลเซอร์, อุปกรณ์โฟตอนิก, ตัวกรองออปติคัล, และโมดูลการถ่ายภาพ.
ตัวพาหะกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์
เวเฟอร์ BF33 ยังสามารถใช้เป็นเวเฟอร์พาหะสำหรับการยึดติดชั่วคราว การลดความหนาของเวเฟอร์ และกระบวนการบรรจุภัณฑ์เซมิคอนดักเตอร์ขั้นสูงได้อีกด้วย.
ทำไมต้องเลือก BF33 Glass Wafer
เมื่อเปรียบเทียบกับกระจกโซดา-lime แบบดั้งเดิม BF33 มีความเสถียรทางความร้อนที่ดีขึ้นอย่างมาก การขยายตัวทางความร้อนที่ต่ำกว่า คุณภาพทางแสงที่สูงขึ้น และความทนทานต่อสารเคมีที่เหนือกว่า ข้อได้เปรียบเหล่านี้ทำให้เป็นวัสดุฐานที่ได้รับความนิยมสำหรับการผลิต MEMS ขั้นสูง การรวมระบบทางแสง และการบรรจุในระดับเวเฟอร์.
ด้วยความเรียบเนียนที่ยอดเยี่ยม ความหนาแน่นของข้อบกพร่องต่ำ และความน่าเชื่อถือในการยึดติดสูง BF33 ยังคงเป็นหนึ่งในวัสดุเวเฟอร์แก้วที่ได้รับการยอมรับอย่างแพร่หลายที่สุดในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และโฟโตนิกส์.
คำถามที่พบบ่อย
ความแตกต่างระหว่าง BF33 กับกระจกมาตรฐานคืออะไร?
BF33 มีเปอร์เซ็นต์ซิลิกาและออกไซด์ของโบรอนสูง ซึ่งให้ค่าการขยายตัวทางความร้อนต่ำ ความต้านทานทางเคมีที่ดีกว่า และประสิทธิภาพทางแสงที่สูงกว่าเมื่อเทียบกับกระจกโซดา-lime แบบดั้งเดิม.
BF33 เหมาะสำหรับการยึดติดแบบแอโนดิกกับซิลิคอนหรือไม่?
ใช่ BF33 เป็นหนึ่งในวัสดุแก้วที่ใช้กันมากที่สุดสำหรับการเชื่อมอะโนดิกซิลิคอน เนื่องจากค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนของมันใกล้เคียงกับซิลิคอนมาก.
สามารถจัดหาเวเฟอร์ BF33 ที่ผ่านการขัดเงาทั้งสองด้านได้หรือไม่?
ใช่. มีแผ่นเวเฟอร์ SSP และ DSP ให้บริการ. แผ่นเวเฟอร์ DSP สามารถทำให้ผิวมีความหยาบต่ำกว่า 1 นาโนเมตร และเหมาะสำหรับการใช้งานที่ต้องการความแม่นยำสูงในการเชื่อมติดแผ่นเวเฟอร์.
สามารถจัดหาขนาดและความหนาของเวเฟอร์ตามความต้องการได้หรือไม่?
ใช่. ขนาดเส้นผ่าศูนย์กลาง, ความหนา, รูปแบบขอบ, และข้อกำหนดการขัดเงาสามารถปรับแต่งได้ตามความต้องการของลูกค้า.
รีวิว
ยังไม่มีบทวิจารณ์