SiO₂-kvartsikiekot ovat erittäin puhtaita substraatteja, joita käytetään laajalti puolijohteiden käsittelyssä, MEMS-valmistuksessa, RF-laitteissa ja optisissa järjestelmissä. Näitä kiekkoja on saatavana vakiohalkaisijoina 2-12″, ja ne on suunniteltu sovelluksiin, jotka edellyttävät korkeaa lämpöstabiilisuutta, optista läpinäkyvyyttä ja kemiallista kestävyyttä.
Erittäin puhtaasta sulatetusta piidioksidista valmistetuilla kvartsikiekkoilla on yhtenäinen amorfinen rakenne, joka takaa tasaisen suorituskyvyn ilman sisäisiä raerajoja. Yhdessä tarkkuuskiillotuksen ja tiukan paksuudenhallinnan kanssa ne tarjoavat erinomaisen pinnanlaadun kehittyneille valmistusprosesseille.
Tärkeimmät ominaisuudet
- Erittäin korkea puhtaus (≥99,99% SiO₂) kontaminaatioherkkiä ympäristöjä varten.
- Laaja käyttölämpötila-alue (vakaa >1100 °C:seen asti)
- Korkea optinen läpäisykyky UV:stä lähi-infrapuna-alueelle asti
- Pieni lämpölaajenemiskerroin takaa mittapysyvyyden
- Erinomainen kemiallinen kestävyys happoja, emäksiä ja liuottimia vastaan.
- Erittäin sileä pintakäsittely (Ra ≤ 1 nm), joka soveltuu tarkkuusoptiikkaan ja MEMS-järjestelmiin.
Materiaalin ominaisuudet
Kvartsikiekot perustuvat amorfinen sulatettu sulatettu SiO₂, tarjoaa:
- Isotrooppinen rakenne, jolla on johdonmukainen optinen käyttäytyminen
- Ei kiteisille materiaaleille tyypillisiä kaksoishäiritsevyysilmiöitä
- Kestää hyvin lämpöshokkeja ja plasma-altistusta
- Vähän kaasuuntuvia, sopii tyhjiöympäristöihin
Perinteiseen lasiin verrattuna kvartsikiekot ovat puhtaampia, lämpökestävyydeltään parempia ja optisesti läpäisevämpiä, minkä vuoksi ne ovat puolijohde- ja fotoniikkateollisuuden suosikkimateriaali.
Tekniset tiedot
| Spec | Yksikkö | 4″ | 6″ | 8″ | 10″ | 12″ |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Halkaisija / koko | mm | 100 | 150 | 200 | 250 | 300 |
| Toleranssi (±) | mm | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 |
| Paksuus | mm | ≥0.10 | ≥0.30 | ≥0.40 | ≥0.50 | ≥0.50 |
| Ensisijainen viite Asunto | mm | 32.5 | 57.5 | Puoliksi lovettu | Puoliksi lovettu | Puoliksi lovettu |
| LTV (5×5 mm) | μm | <0.5 | <0.5 | <0.5 | <0.5 | <0.5 |
| TTV | μm | <2 | <3 | <3 | <5 | <5 |
| Keula | μm | ±20 | ±30 | ±40 | ±40 | ±40 |
| Warp | μm | ≤30 | ≤40 | ≤50 | ≤50 | ≤50 |
| PLTV (5×5 mm) | % | ≥95 | ≥95 | ≥95 | ≥95 | ≥95 |
| Reunan pyöristys | mm | SEMI M1.2 / IEC62276 yhteensopiva | ||||
| Pintatyyppi | — | SSP / DSP | ||||
| Kiillotettu puoli Ra | nm | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 |
| Takapuolen kriteerit | μm | 0,2-0,7 tai räätälöity |
Sovellukset
Puolijohteiden jalostus
Kvartsikiekkoja käytetään laajalti kantokiekoina ja prosessikomponentteina korkean lämpötilan ympäristöissä, kuten diffuusiossa, laskeutumisessa ja etsauksessa. Niiden lämpöstabiilisuus takaa tasaisen suorituskyvyn toistuvien
ermal syklit.
MEMS & anturit
MEMS-valmistuksessa kvartsikiekot tarjoavat vakaita substraatteja mikrorakenteille ja antureille, jotka toimivat
g mekaanisissa ja lämpökuormitusolosuhteissa.
Optiikka & fotoniikka
Erinomaisen UV- ja IR-läpäisevyyden ansiosta kvartsikiekot ovat ihanteellisia:
- Optiset ikkunat
- Laserkomponentit
- Päällystysalustat
- Tarkat optiset elementit
Teollinen ja laboratoriokäyttö
Kvartsikiekkoja käytetään myös:
- Plasmakammiot ja tyhjiöjärjestelmät
- Kemiallinen ja biolääketieteellinen analyysi
- Korkean lämpötilan näytteenottimet
Valmistusprosessi
Kvartsikiekot valmistetaan valvotun prosessin avulla puhtauden ja tarkkuuden varmistamiseksi:
- Erittäin puhtaiden SiO₂-raaka-aineiden valinta
- Sulaminen noin 2000 °C:ssa
- Ohjattu jäähdytys kiinteiden kvartsilohkojen muodostamiseksi
- Tarkkuusleikkaus lankasahoilla
- Höyläys ja kiillotus (yksi- tai kaksipuolinen)
- Puhdistus ja tarkastus puhdastilaolosuhteissa
Mukauttamisvaihtoehdot
Tarjoamme joustavaa räätälöintiä sovelluksen vaatimusten mukaan:
- Halkaisija: 2″-12″ (räätälöityjä kokoja saatavana)
- Paksuus: 0,1-6 mm
- Pintakäsittely: SSP / DSP
- Reunatyyppi: Pyöristetty: lovi / tasainen / pyöristetty
- Lisäkäsittely:
- Laserporaus
- Kuviointi
- Optiset pinnoitteet
FAQ
Mikä on kvartsikiekko?
Kvartsikiekko on erittäin puhdas SiO₂-alusta, jota käytetään puolijohde-, MEMS- ja optisissa sovelluksissa, joissa tarvitaan lämpöstabiilisuutta ja kemiallista kestävyyttä.
Kestävätkö kvartsikiekot korkeita lämpötiloja?
Kyllä, ne voivat toimia jatkuvasti yli 1000 °C:n lämpötiloissa ilman muodonmuutoksia.
Mikä tekee kvartsista paremman kuin tavallisesta lasista?
Kvartsi tarjoaa korkeamman puhtauden, paremman lämmönkestävyyden ja paremman optisen läpäisykyvyn, joten se soveltuu kehittyneisiin teollisuussovelluksiin.
Arviot
Tuotearvioita ei vielä ole.