Křemenné destičky SiO₂ jsou substráty s velmi vysokou čistotou, které se široce používají při zpracování polovodičů, výrobě MEMS, VF zařízení a optických systémů. Tyto destičky jsou k dispozici ve standardních průměrech od 2" do 12" a jsou určeny pro aplikace vyžadující vysokou tepelnou stabilitu, optickou průhlednost a chemickou odolnost.
Křemenné destičky vyrobené z vysoce čistého taveného oxidu křemičitého mají jednotnou amorfní strukturu, která zajišťuje konzistentní výkon bez vnitřních hranic zrn. V kombinaci s přesným leštěním a přísnou kontrolou tloušťky poskytují vynikající kvalitu povrchu pro pokročilé výrobní procesy.
Klíčové vlastnosti
- Velmi vysoká čistota (≥99,99% SiO₂) pro prostředí citlivá na kontaminaci
- Široký rozsah provozních teplot (stabilní až do >1100 °C)
- Vysoká optická propustnost od UV až po blízkou infračervenou oblast
- Nízký koeficient tepelné roztažnosti pro rozměrovou stabilitu
- Vynikající chemická odolnost vůči kyselinám, zásadám a rozpouštědlům.
- Velmi hladký povrch (Ra ≤ 1 nm) vhodný pro přesnou optiku a MEMS
Charakteristika materiálu
Křemenné destičky jsou založeny na amorfní tavený SiO₂, která nabízí:
- Izotropní struktura s konzistentním optickým chováním
- Žádné efekty dvojlomu běžné u krystalických materiálů
- Vysoká odolnost vůči tepelným šokům a působení plazmatu
- Nízká plynatost, vhodné pro vakuové prostředí
Ve srovnání s běžným sklem poskytují křemenné destičky vyšší čistotu, lepší tepelnou odolnost a širší optickou propustnost, což z nich činí preferovaný materiál v polovodičovém a fotonickém průmyslu.
Specifikace
| Specifikace | Jednotka | 4″ | 6″ | 8″ | 10″ | 12″ |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Průměr / velikost | mm | 100 | 150 | 200 | 250 | 300 |
| Tolerance (±) | mm | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 |
| Tloušťka | mm | ≥0.10 | ≥0.30 | ≥0.40 | ≥0.50 | ≥0.50 |
| Primární referenční byt | mm | 32.5 | 57.5 | Semi-notch | Semi-notch | Semi-notch |
| LTV (5×5 mm) | μm | <0.5 | <0.5 | <0.5 | <0.5 | <0.5 |
| TTV | μm | <2 | <3 | <3 | <5 | <5 |
| Luk | μm | ±20 | ±30 | ±40 | ±40 | ±40 |
| Warp | μm | ≤30 | ≤40 | ≤50 | ≤50 | ≤50 |
| PLTV (5×5 mm) | % | ≥95 | ≥95 | ≥95 | ≥95 | ≥95 |
| Zaoblení hran | mm | SEMI M1.2 / IEC62276 kompatibilní | ||||
| Typ povrchu | — | SSP / DSP | ||||
| Leštěná strana Ra | nm | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 |
| Kritéria zadní strany | μm | 0,2-0,7 nebo na míru |
Aplikace
Zpracování polovodičů
Křemenné destičky se široce používají jako nosné destičky a procesní komponenty v prostředí s vysokou teplotou, jako je difúze, depozice a leptání. Jejich tepelná stabilita zajišťuje konzistentní výkon při opakovaném
ermální cykly.
MEMS a senzory
Při výrobě MEMS poskytují křemenné destičky stabilní substráty pro mikrostruktury a senzory.
g v podmínkách mechanického a tepelného namáhání.
Optika a fotonika
Díky vynikající propustnosti UV a IR záření jsou křemenné destičky ideální pro:
- Optická okna
- Laserové komponenty
- Nátěrové substráty
- Přesné optické prvky
Průmyslové a laboratorní použití
Křemenné destičky se používají také v:
- Plazmové komory a vakuové systémy
- Chemická a biomedicínská analýza
- Vysokoteplotní nosiče vzorků
Výrobní proces
Křemenné destičky se vyrábějí kontrolovaným procesem, který zajišťuje čistotu a přesnost:
- Výběr surovin s vysokou čistotou SiO₂
- Tání při teplotě přibližně 2000 °C
- Řízené chlazení za vzniku pevných křemenných bloků
- Přesné řezání pomocí drátových pil
- Lapování a leštění (jednostranné nebo oboustranné)
- Čištění a kontrola v čistých prostorách
Možnosti přizpůsobení
Poskytujeme flexibilní přizpůsobení na základě požadavků aplikace:
- Průměr: 2″-12″ (k dispozici jsou vlastní velikosti)
- Tloušťka: 0,1-6 mm
- Povrchová úprava: SSP / DSP
- Typ hrany: Vroubkovaný / plochý / zaoblený
- Další zpracování:
- Laserové vrtání
- Vzorování
- Optické povlaky
ČASTO KLADENÉ DOTAZY
Co je křemenný plátek?
Křemenná destička je vysoce čistý SiO₂ substrát používaný v polovodičových, MEMS a optických aplikacích vyžadujících tepelnou stabilitu a chemickou odolnost.
Odolají křemenné destičky vysokým teplotám?
Ano, mohou trvale pracovat při teplotách nad 1000 °C, aniž by se deformovaly.
V čem je křemen lepší než standardní sklo?
Křemen nabízí vyšší čistotu, vynikající tepelnou odolnost a lepší optickou propustnost, takže je vhodný pro pokročilé průmyslové aplikace.
Recenze
Zatím zde nejsou žádné recenze.