2インチ石英ウェーハは、高純度の合成溶融シリカから製造された精密加工された基板です。標準直径50.8 mmのこのウェーハは、半導体研究、光学工学、MEMS製造、マイクロ流体デバイス、センサー開発、および高度な科学用途で広く使用されています。 卓越した光学的透明性、低い熱膨張係数、優れた耐薬品性、そして優れた熱安定性により、石英ウェーハは、高精度と信頼性の高い性能が求められる産業において重要な材料となっています。.
従来のガラス基板と比較して、溶融石英ウェハーは優れた純度を誇り、過酷な環境下でも性能が大幅に向上しています。高温に耐え、化学的腐食に強く、寸法安定性を維持する特性により、実験室での研究から工業生産プロセスまで幅広く適しています。 薄膜成膜、光学コーティング、フォトニックデバイス、あるいは高精度センサーの基板として使用される場合でも、石英ウェーハは先端技術のための安定的かつ信頼性の高い基盤を提供します。.
当社の2インチ石英ウェーハは、JGS1、JGS2、JGS3などの各種グレードの溶融石英素材を取り揃えており、お客様は紫外線、可視光、赤外線の各用途に最適な光学特性をお選びいただけます。 また、特定のプロジェクト要件に応じて、寸法、厚さ、表面仕上げ、エッジ形状をカスタマイズした製品もご提供可能です。.
仕様
| パラメータ | 仕様 |
|---|---|
| 素材 | 高純度合成溶融シリカ |
| 対象学年 | JGS1 / JGS2 / JGS3 |
| 直径 | 2インチ（50.8 mm） |
| 厚さの範囲 | 0.1 mm ～ 3.0 mm |
| 直径の公差 | ±0.10 mm |
| 表面仕上げ | 片面研磨（SSP）／両面研磨（DSP） |
| 表面粗さ | お問い合わせください。 |
| 平坦性 | お問い合わせください。 |
| TTV | お問い合わせください。 |
| エッジタイプ | 丸みのあるエッジ／面取りされたエッジ |
| 動作温度 | 最大1000°C以上 |
| 光伝送範囲 | 185 nm ～ 3500 nm |
| カスタム処理 | 穴あけ、ダイシング、スロット加工、コーティング |
主な特徴
高い光透過率
溶融石英は、幅広い波長範囲にわたって優れた光学性能を発揮することで知られています。選択した材料グレードに応じて、石英ウェハーは深紫外線から赤外線波長に至るまで卓越した透過率を発揮します。このため、光学窓、レーザーシステム、撮像装置、分光機器、およびフォトニックデバイスなどに適しています。.
優れた熱安定性
石英ウェーハの最も重要な利点の一つは、その極めて低い熱膨張係数です。この特性により、温度変動や高温処理の際にも、材料の寸法安定性を維持することができます。その結果、石英ウェーハは、精度が極めて重要となる半導体製造、実験室での試験、および熱処理用途などで広く使用されています。.
優れた耐薬品性
石英ウェハーは、ほとんどの酸、溶剤、および腐食性化学物質に対して優れた耐性を示します。この特性により、過酷な加工環境や化学実験室においても、安定した性能を発揮します。また、その化学的安定性により、精密な製造プロセスにおける汚染リスクを低減します。.
高純度材料
合成溶融シリカから製造されたこれらのウェーハは、不純物含有量が極めて低く、材料の均一性に優れています。汚染物質が製品の性能に重大な影響を及ぼす可能性のある半導体、フォトニクス、および精密光学分野の用途において、高純度は不可欠です。.
高精度な表面品質
石英ウェハーは、さまざまな用途の要件に合わせて、片面研磨または両面研磨を施した状態で供給可能です。高品質な研磨面は、光学性能、コーティングの密着性、およびプロセス全体の安定性を向上させます。.
受託製造能力
標準的なウェーハに加え、特殊な厚さ、穴あけ、スリット加工、エッジプロファイリング、レーザー切断、光学コーティングなど、カスタマイズされたソリューションもご用意しています。この柔軟性により、お客様はそれぞれの設計や製造プロセスに合わせた基板を入手することができます。.
代表的なアプリケーション
半導体の研究開発
2インチの石英ウェハーは、半導体研究所や研究施設において、基板材料として広く使用されています。その熱安定性と耐薬品性により、薄膜成膜、プロセス開発、ウェハーレベルパッケージングの研究、および実験用デバイスの作製に適しています。.
光学部品
溶融石英の優れた透明性により、石英ウェハーは光学部品の製造に理想的な材料となっています。これらは、光学窓、フィルター、ビームスプリッター、センサーカバー、およびフォトニックデバイスなどに広く使用されています。.
MEMSおよびマイクロシステム
マイクロエレクトロメカニカルシステム（MEMS）には、高い寸法安定性と優れた機械的特性を備えた基板が求められます。石英ウェハーは、MEMSの製造やマイクロスケールのデバイス開発において、信頼性の高い基盤を提供します。.
マイクロ流体デバイス
クォーツ基板は、生物医学診断、化学分析、およびラボ・オン・チップシステム向けのマイクロ流体チップにおいて、ますます広く使用されるようになっています。その化学的惰性により、汚染を防ぎ、正確な検査結果を保証します。.
センサーおよび科学機器
多くの高度なセンサーや分析機器は、その光学的な透明性、耐熱性、および安定性から、石英基板を採用しています。その用途には、圧力センサー、環境監視装置、光学センサー、科学研究用機器などが含まれます。.
レーザー・フォトニクス産業
石英ウェハーは、高い光透過率と耐熱性が求められるレーザーシステムやフォトニクス分野で広く利用されています。これらは、光学コーティングや特殊なフォトニクス構造の基材として活用できます。.
利用可能なカスタマイズオプション
当社は、クォーツウェーハに関する包括的なカスタマイズサービスを提供しており、その内容は以下の通りです：
- 片面研磨（SSP）
- 両面研磨（DSP）
- 超薄型クォーツウェーハ
- 厚手の石英基板
- スルーホール型石英ウェハー
- 模様入り石英基板
- ARコーティング
- UVグレードの石英
- カスタムシェイプ
- レーザー切断
- 精密ダイシング
- エッジ研削および面取り
当社のエンジニアリングチームは、お客様の図面や技術要件に基づき石英ウェハーを製造することができ、試作開発から量産まで幅広く対応いたします。.
よくあるご質問
2インチの石英ウェーハの標準サイズはどれくらいですか？
2インチの石英ウェハーの標準直径は50.8 mmです。厚さは用途によって異なりますが、一般的なものは0.3 mmから1.0 mmの範囲です。.
JGS1、JGS2、JGS3の石英ウェーハにはどのような違いがありますか？
JGS1は紫外線の透過に最適化されており、JGS2は可視光用途で一般的に使用され、JGS3は赤外線光学システム向けに設計されています。適切なグレードは、使用波長範囲によって異なります。.
石英ウェーハは両面研磨済みの状態で供給可能ですか？
はい。SSPおよびDSPのクォーツウェーハのいずれもご用意しております。高い平坦度、優れた光学品質、あるいは精密なコーティング工程が求められる用途には、両面研磨が推奨されます。.
特注の寸法や特殊な加工に対応していただけますか？
はい。厚みのカスタマイズ、穴あけ、スリット加工、特殊なエッジ処理、光学コーティング、および非標準形状など、すべてお客様の仕様に応じて製造可能です。.
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