แผ่นรองรับ Sapphire Through Glass Via (TGV) เป็นไมโครอินเทอร์โพเซอร์ที่ผลิตด้วยความแม่นยำสูง ออกแบบมาสำหรับการบรรจุภัณฑ์เซมิคอนดักเตอร์ขั้นสูง อุปกรณ์ MEMS และการรวมเซ็นเซอร์ สร้างขึ้นจากวัสดุพรีเมียม แซฟไฟร์ (ผลึกเดี่ยวของอะลูมิเนียมออกไซด์) วัสดุรองรับ เทคโนโลยีนี้ช่วยให้สามารถเชื่อมต่อทางไฟฟ้าในแนวตั้งผ่านวัสดุที่มีความแข็งสูง โปร่งใสทางแสง และมีความเสถียรทางเคมี.
เมื่อเปรียบเทียบกับอินเตอร์โพเซอร์แบบดั้งเดิมที่ทำจากซิลิคอนหรือแก้ว วัสดุซับสเตรต TGV ที่ทำจากแซฟไฟร์มีความแข็งแรงทางกลที่ดีกว่า ความเสถียรทางความร้อนสูงกว่า และความน่าเชื่อถือที่ดีขึ้นในสภาพแวดล้อมที่รุนแรง ข้อได้เปรียบเหล่านี้ทำให้เหมาะอย่างยิ่งสำหรับการใช้งานที่มีความถี่สูง ความหนาแน่นสูง และความน่าเชื่อถือสูง เช่น อุปกรณ์ RF เซ็นเซอร์ออปติคอล และสถาปัตยกรรมการบรรจุขั้นสูง (การรวม 2.5D/3D).
คุณสมบัติเด่นและข้อได้เปรียบ
1. การเชื่อมต่อแนวตั้งความหนาแน่นสูง
เทคโนโลยี TGV ช่วยให้เกิดเส้นทางไฟฟ้าแนวตั้งที่กะทัดรัดและมีประสิทธิภาพผ่านซับสเตรตแซฟไฟร์ รองรับการรวมความหนาแน่นสูงที่จำเป็นในการบรรจุภัณฑ์เซมิคอนดักเตอร์สมัยใหม่และอุปกรณ์ขนาดเล็ก.
2. ความแข็งแรงทางกลที่เหนือกว่า
ความแข็งสูงของแซฟไฟร์ (โมห์ส 9) ช่วยให้โครงสร้างมีความสมบูรณ์อย่างยอดเยี่ยม ทำให้วัสดุรองรับทนต่อการแตกร้าว การบิดงอ และความเสียหายทางกลระหว่างกระบวนการผลิตและการใช้งาน.
3. ประสิทธิภาพความถี่สูงที่ยอดเยี่ยม
ด้วยค่าการสูญเสียไดอิเล็กทริกต่ำ ความจุไฟฟ้าพ่วงต่ำสุด และค่าความเหนี่ยวนำที่ลดลง วัสดุซับสเตรต TGV จากแซฟไฟร์จึงเหมาะอย่างยิ่งสำหรับการใช้งานใน RF, 5G และการส่งสัญญาณความเร็วสูง.
4. ความเสถียรทางความร้อนที่โดดเด่น
แซฟไฟร์รักษาประสิทธิภาพที่ยอดเยี่ยมภายใต้สภาวะอุณหภูมิที่รุนแรง ทำให้เหมาะสำหรับสภาพแวดล้อมที่ต้องการพลังงานสูงและมีการระบายความร้อนสูง.
5. ความต้านทานต่อสารเคมีและความปิดสนิท
วัสดุนี้มีความทนทานสูงต่อกรด, ด่าง, และสภาพแวดล้อมที่กัดกร่อน โครงสร้าง TGV ยังสามารถให้การปิดผนึกที่แน่นหนาได้อย่างยอดเยี่ยม ซึ่งรับประกันความน่าเชื่อถือในระยะยาว.
6. ความโปร่งใสทางแสง
ต่างจากซิลิคอนอินเตอร์โพเซอร์ วัสดุซับสเตรตแซฟไฟร์มีความโปร่งใสทางแสงตลอดช่วงคลื่น UV–IR ทำให้สามารถผสานรวมกับเซ็นเซอร์ออปติคอล โฟโตนิกส์ และระบบภาพได้.
ข้อมูลจำเพาะทางเทคนิค
| พารามิเตอร์ | ข้อกำหนด |
|---|---|
| ชื่อสินค้า | ซับไฟร์ ทีจีวี ซับสเตรต |
| วัสดุ | แซฟไฟร์ผลึกเดี่ยว (Al₂O₃) |
| ขนาดเวเฟอร์ | สูงสุด 300 มม. |
| ขนาดของแผง | สูงสุด 515 × 515 มม. |
| ความหนา | 0.1 – 0.7 มม. (ปรับแต่งได้) |
| ความหนาขั้นต่ำ | 0.3 มิลลิเมตร |
| เส้นผ่านศูนย์กลางภายนอก (OD) | 25 – 100 ไมโครเมตร |
| ระยะห่างขั้นต่ำ | ประมาณ 2 × เส้นผ่านศูนย์กลาง |
| ผ่านทางประเภท | ผ่าน / ตาบอด |
| ผ่านทาง Shape | ตรง |
| อัตราส่วนภาพ | สูงสุด 1:5 |
| ผ่านวัสดุ | ทังสเตน (W) / ซิลิคอน (Si) |
| ความแน่นสนิท | ≤ 1×10⁻⁹ ปาสคาล·ลูกบาศก์เมตรต่อวินาที |
| ความอดทน | ±20 μm (ต่อ 200 มม. ของแผ่นเวเฟอร์) |
กระบวนการผลิต
ซับสเตรตแซฟไฟร์ TGV ผลิตขึ้นโดยใช้เทคโนโลยีขั้นสูง การปรับเปลี่ยนด้วยเลเซอร์ร่วมกับกระบวนการกัดด้วยสารเคมี:
- การโครงสร้างด้วยเลเซอร์ – เลเซอร์ความแม่นยำสูงปรับเปลี่ยนโครงสร้างภายในของแซฟไฟร์ในบริเวณที่มีการกำหนดไว้ล่วงหน้า
- การกัดเซาะแบบเลือก – บริเวณที่ปรับเปลี่ยนจะถูกกัดด้วยอัตราที่เร็วขึ้น ทำให้เกิดรูผ่านที่มีอัตราส่วนความสูงต่อเส้นผ่านศูนย์กลางสูงและสะอาด
- การเคลือบโลหะ – ช่องทางเดินกระแสถูกเติมด้วยวัสดุนำไฟฟ้า เช่น ทังสเตนหรือซิลิคอน
- กระบวนการทางเลือก – รวมถึงการเกิดโพรง การบวม และการเคลือบผิวด้วยโลหะ
กระบวนการนี้รับประกันว่า:
- ปราศจากรอยแตกร้าวตลอดการก่อตัว
- ความแม่นยำสูงในมิติสูง
- เรียบเนียนผ่านผนังด้านข้าง
- ความเข้ากันได้กับการออกแบบที่มีความหนาแน่นสูง
การประยุกต์ใช้
การบรรจุภัณฑ์เซมิคอนดักเตอร์
- อินเตอร์โพเซอร์ 2.5D / 3D
- การบรรจุชิปในระดับเวเฟอร์ (WL-CSP)
- การเชื่อมต่อที่มีความหนาแน่นสูง
MEMS และเซ็นเซอร์
- เซ็นเซอร์วัดความดัน
- เซ็นเซอร์ออปติคอล
- อุปกรณ์ไมโครฟลูอิดิก
อุปกรณ์ RF และ 5G
- โมดูลความถี่สูง
- ระบบการส่งสัญญาณที่มีการสูญเสียต่ำ
โฟโตนิกส์และการรวมระบบออปติคอล
- ตัวแทรกออปติคอล
- ระบบภาพ
- บรรจุภัณฑ์เซ็นเซอร์โปร่งใส
การประมวลผลประสิทธิภาพสูงและอินเทอร์เน็ตของสรรพสิ่ง
- การส่งผ่านข้อมูลที่มีความกว้างแถบความถี่สูง
- การรวมตัวที่กะทัดรัดและมีความหนาแน่นสูง
ความสามารถในการปรับแต่ง
เราให้บริการ โซลูชัน TGV กระจกแซฟไฟร์ที่ปรับแต่งได้เต็มที่ ปรับให้เหมาะกับความต้องการในการใช้งานของคุณ:
- การปรับให้เหมาะสมผ่านเส้นผ่านศูนย์กลาง, ระยะห่าง, และความหนาแน่น
- การปรับแต่งระดับเวเฟอร์หรือแผง
- ผ่านหรือออกแบบแบบทางตัน
- การเคลือบโลหะ (W, Cu หรือวัสดุที่กำหนดเอง)
- การตกแต่งผิวและการขัดเงา
- การผสานรวมกับกระบวนการยึดติด (เช่น การยึดติดแบบแอโนดิก)
- การควบคุมความคลาดเคลื่อนด้วยความแม่นยำสูง
คำถามที่พบบ่อย
Q1: ข้อดีของ TGV ชนิดแซฟไฟร์เมื่อเทียบกับ TGV ชนิดกระจกหรือซิลิคอนคืออะไร?
A1: แซฟไฟร์มีความแข็งแรงทางกลสูงกว่า มีความเสถียรทางความร้อนที่ดีกว่า และมีความโปร่งใสทางแสง ทำให้เหมาะสำหรับสภาพแวดล้อมที่รุนแรงและการใช้งานที่ต้องการการรวมระบบออปติคอล.
คำถามที่ 2: ขนาดและระยะห่างของขาสามารถปรับแต่งได้หรือไม่?
A2: ใช่. สามารถปรับแต่งเส้นผ่านศูนย์กลาง, ระยะห่าง, และการจัดวางได้ตามความต้องการในการออกแบบของคุณ.
คำถามที่ 3: ซาไฟร์ TGV เหมาะสำหรับการใช้งานที่มีความถี่สูงหรือไม่?
A3: แน่นอนครับ. การสูญเสียไดอิเล็กทริกต่ำและคุณสมบัติทางไฟฟ้าที่ยอดเยี่ยมทำให้เหมาะอย่างยิ่งสำหรับระบบส่งสัญญาณ RF, 5G, และระบบส่งสัญญาณความเร็วสูง.
รีวิว
ยังไม่มีบทวิจารณ์