Custom Fused Quartz Plates with Through Holes 是由超高純度二氧化矽 (SiO₂ > 99.9%)製成的高精度工程元件。這些石英板專為熱穩定性、耐化學性和光學性能要求極高的先進工業和科學應用而設計。.
與標準玻璃材料不同,熔融石英具有低熱膨脹、耐高溫和廣泛光學透射的獨特組合,使其成為半導體、光電子和實驗室系統的理想材料。透過整合精密鑽孔,這些石英板可控制流體流動、氣體分配或光學排列,從被動基板轉變為功能性系統元件。.
這些產品有多種等級,例如 JGS1、JGS2 和 JGS3,可根據不同的波長需求量身訂做,從深紫外線 (UV) 到紅外線 (IR) 應用。.
主要功能
- 超高純度石英(SiO₂ > 99.9%)可確保極佳的光學清晰度
- 根據 CAD 圖紙自訂孔的大小、位置和幾何形狀
- 出色的耐熱性(高達 1100°C 連續使用)
- 熱膨脹率極低,尺寸穩定
- 高耐化學性(氫氟酸除外)
- 可針對精密應用進行光學拋光
- 相容於無塵室與高純度環境
- 適用於結構與光學整合
材料等級
JGS1 - UV 級熔融石英
JGS1 在 185 奈米至 2500 奈米的波長範圍內具有極佳的穿透性,是光刻、紫外雷射和高能量光學系統等深紫外應用的理想選擇。它具有極低的羥基 (OH-) 含量和最小的雙折射。.
JGS2 - 光學級石英
JGS2 廣泛應用於可見光及近紅外線 (260-2500 nm)。它能提供高光學均勻性,是一般光學系統的高成本效益解決方案。.
JGS3 - 紅外線石英玻璃
JGS3 已針對紅外線應用和工業用途進行最佳化。雖然它在深紫外線範圍內的穿透率較低,但在熱能和紅外線相關的環境中表現良好。.

製造過程
定制熔融石英板的生產需要嚴格的流程控制,以確保精度和一致性:
1.材料選擇
高純度石英錠是根據應用需求來選擇和準備的。.
2.精密切割與成型
採用先進的 CNC 加工、水刀切割或雷射切割,以達到客製化的尺寸和幾何形狀。.
3.鑽孔
根據公差和表面品質要求,使用超音波鑽孔、CO₂雷射鑽孔或機械鑽孔等專業技術製造通孔。.
4.表面處理
光學拋光(單面或雙面)可達到高表面平整度和低粗糙度。也可提供邊緣精加工、倒角和化學拋光。.
5.清潔與檢查
所有元件都在受控環境下經過嚴格的清洗,並接受尺寸精度、表面品質和光學性能的檢驗。.
技術規格(参数表)
| 財產 | 典型值 |
|---|---|
| 直徑 | 10 mm - 600 mm |
| 長度 | 10 mm - 1000 mm |
| 寬度 | 10 mm - 1000 mm |
| 厚度 | 0.5 mm - 60 mm |
| 材質 | 高純度 SiO₂ (>99.9%) |
| 密度 | 2.2 × 10³ kg/m³ |
| 硬度 | 5.3 - 6.5 (Mohs) |
| 抗壓強度 | >1.1 × 10⁹ Pa |
| 熱膨脹 | 5.5 × 10-⁷ /℃ |
| 最高溫度(短期) | 1200℃ |
| 最高溫度(長期) | 1100℃ |
| 軟化點 | 1730℃ |
| 折射率 | 1.4585 |
| 透光率 | ≥85% |
應用
由於結合了機械強度、光學清晰度和結構客製化的獨特優點,這些石英板廣泛應用於各行各業:
半導體產業
用於蝕刻和沉積系統中的晶圓載體、氣體分配板(噴淋頭)和結構元件。它們的高純度可確保與無塵室製程相容。.
微流控與生命科學
精密鑽孔可實現微流控芯片、片上實驗室裝置和分析儀器中的流體控制。.
光學與光子學
應用於需要高傳輸與穩定性的光罩、光圈、雷射窗口與光束對準系統。.
科學研究
用於標準材料無法可靠執行的客製化反應室、高溫實驗和腐蝕環境。.
化學及製藥設備
適用於需要耐化學性及光學通道的流動反應器、取樣系統及 UV/IR 光譜分析單元。.
常見問題
Q1: 孔的大小和位置可以完全客製化嗎?
是的,所有尺寸包括孔徑 (0.1-20 mm)、位置和佈局都可以根據 CAD 圖紙進行客製化。.
Q2: JGS1 和 JGS2 有何不同?
JGS1 專為純度較高的深紫外線應用而設計,而 JGS2 則更適合可見光及近紅外線應用,具有更高的成本效益。.
Q3: 這些石英板具有耐化學性嗎?
是的,熔融石英對大多數酸和化學品都有很高的耐受性,氫氟酸 (HF) 除外。.
Q4: 可以製造多孔或複雜形狀嗎?
是的,完全支援多孔設計、插槽和複雜的幾何形狀。.











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