貫通穴付きカスタム石英プレート

Custom Fused Quartz Plates with Through Holesは、超高純度二酸化ケイ素(SiO₂ > 99.9%)から製造される高精度のエンジニアード・コンポーネントです。これらのプレートは、熱安定性、耐薬品性、光学性能が重要である高度な産業および科学アプリケーション用に特別に設計されています。.

貫通穴付きカスタム石英プレートCustom Fused Quartz Plates with Through Holesは、超高純度二酸化ケイ素(SiO₂ > 99.9%)から製造される高精度のエンジニアード・コンポーネントです。これらのプレートは、熱安定性、耐薬品性、光学性能が重要である高度な産業および科学アプリケーション用に特別に設計されています。.

標準的なガラス材料とは異なり、溶融石英は低熱膨張、高温耐性、広範な光透過率のユニークな組み合わせを提供し、半導体、フォトニクス、および実験システムに理想的です。精密な穴あけ加工が施された石英プレートは、流体制御、ガス分配、光学アライメントを可能にし、受動的な基板から機能的なシステム・コンポーネントへと変貌を遂げます。.

JGS1、JGS2、JGS3など複数のグレードがあり、深紫外(UV)から赤外(IR)用途まで、さまざまな波長要件に対応できる。.


貫通穴付きカスタム石英プレート主な特徴

  • 超高純度石英(SiO₂ > 99.9%)により優れた光学的透明度を確保
  • CAD図面に基づくカスタム穴サイズ、位置、形状
  • 卓越した耐熱性(1100℃まで連続使用可能)
  • 寸法安定性のための極めて低い熱膨張率
  • 高い耐薬品性(フッ酸を除く)
  • 精密用途に光学研磨が可能
  • クリーンルームや高純度環境に対応
  • 構造的および光学的統合の両方に適している

素材グレード

JGS1 - UVグレード溶融シリカ

JGS1は185nmから2500nmまで優れた透過率を示し、リソグラフィー、UVレーザー、高エネルギー光学システムなどの深紫外用途に最適です。水酸基(OH-)含有量が非常に低く、複屈折が小さいのが特徴です。.

JGS2 - 光学グレード石英

JGS2は、可視および近赤外(260-2500nm)用途に広く使用されています。高い光学的均一性を提供し、一般的な光学システムのための費用対効果の高いソリューションです。.

JGS3 - 赤外線石英ガラス

JGS3は赤外線用途や工業用に最適化されている。深紫外域での透過率は低いが、熱や赤外関連の環境では優れた性能を発揮する。.


製造工程

カスタム石英プレートの製造には、精度と一貫性を確保するための厳格な工程管理が必要です:

1.素材の選択
高純度石英インゴットは、用途に応じて選択され、準備される。.

2.精密切断と成形
高度なCNC機械加工、ウォータージェット切断、レーザー切断は、カスタム寸法や形状を達成するために使用されます。.

3.穴あけ
スルーホールは、公差と表面品質の要件に応じて、超音波ドリル、CO₂レーザードリル、または機械的ドリルなどの特殊技術を使用して作成されます。.

4.表面処理
光学研磨(片面または両面)は、高い表面平坦度と低い粗さを達成するために適用されます。エッジ仕上げ、面取り、化学研磨も可能です。.

5.清掃・点検
すべての部品は管理された環境で厳密な洗浄を受け、寸法精度、表面品質、光学性能について検査される。.


技術仕様(参数表)

プロパティ 代表値
直径 10 mm - 600 mm
長さ 10 mm - 1000 mm
10 mm - 1000 mm
厚さ 0.5 mm - 60 mm
素材 高純度SiO₂ (>99.9%)
密度 2.2 × 10³ kg/m³
硬度 5.3~6.5(モース)
圧縮強度 >1.1 × 10⁹Pa
熱膨張 5.5 × 10-⁷ /℃
最高温度(短期) 1200℃
最高温度(長期) 1100℃
軟化点 1730℃
屈折率 1.4585
透過率 ≥85%

アプリケーション

機械的強度、光学的透明性、構造的カスタマイズ性というユニークな組み合わせにより、これらの石英プレートは様々な産業で広く使用されている:

半導体産業

ウェハーキャリア、ガス分配プレート(シャワーヘッド)、エッチングおよび蒸着システムの構造部品として使用される。高純度であるため、クリーンルームプロセスに適合します。.

マイクロ流体工学とライフサイエンス

精密な穴あけ加工により、マイクロ流体チップ、ラボオンチップ装置、分析機器における流体制御が可能になる。.

光学とフォトニクス

高い透過率と安定性が要求される光学マスク、開口部、レーザーウィンドウ、ビームアライメントシステムに適用。.

科学的研究

カスタム反応チャンバー、高温実験、腐食性環境など、標準的な材料では信頼性の高い性能が得られない場合に使用されます。.

化学・製薬機器

耐薬品性と光学アクセスを必要とするフローリアクター、サンプリングシステム、UV/IR分光セルに最適。.


よくあるご質問

Q1: 穴の大きさや位置は完全にカスタマイズできますか?
穴径(0.1~20mm)、位置、レイアウトなど、すべての寸法はCAD図面に基づいてカスタマイズできます。.

Q2: JGS1とJGS2の違いは何ですか?
JGS1はより純度の高い深紫外用に設計され、JGS2はよりコスト効率の高い可視・近赤外用に適している。.

Q3: この石英プレートは耐薬品性がありますか?
はい、溶融石英はフッ化水素酸(HF)を除くほとんどの酸や化学薬品に高い耐性を持ちます。.

Q4: 複数の穴や複雑な形状の製造は可能ですか?
多穴設計、スロット、複雑な形状も完全にサポートします。.

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