관통 구멍이 있는 맞춤형 용융 석영 플레이트는 초고순도 이산화규소(SiO₂ > 99.9%)로 제조된 고정밀 엔지니어링 부품입니다. 이 플레이트는 열 안정성, 내화학성 및 광학 성능이 중요한 첨단 산업 및 과학 응용 분야를 위해 특별히 설계되었습니다.
퓨즈드 쿼츠는 표준 유리 소재와 달리 낮은 열팽창, 높은 내열성, 넓은 광학 투과율의 독특한 조합을 제공하므로 반도체, 포토닉스 및 실험실 시스템에 이상적입니다. 정밀하게 드릴링된 구멍을 통합하여 유체 흐름, 가스 분배 또는 광학 정렬을 제어할 수 있는 석영 플레이트는 수동적인 기판에서 기능적인 시스템 구성 요소로 탈바꿈합니다.
JGS1, JGS2, JGS3 등 다양한 등급으로 제공되는 이 제품은 심자외선(UV)에서 적외선(IR) 애플리케이션에 이르기까지 다양한 파장 요구 사항을 충족하도록 맞춤 제작할 수 있습니다.
주요 기능
- 초고순도 석영(SiO₂ > 99.9%)으로 뛰어난 광학 선명도 보장
- CAD 도면을 기반으로 한 맞춤형 구멍 크기, 위치 및 형상
- 뛰어난 내열성(최대 1100°C 연속 사용)
- 극도로 낮은 열팽창으로 치수 안정성 확보
- 높은 내화학성(불산 제외)
- 정밀 애플리케이션을 위한 광학 연마 가능
- 클린룸 및 고순도 환경과 호환 가능
- 구조 및 광학 통합에 모두 적합
재료 등급
JGS1 - UV 등급 용융 실리카
JGS1은 185nm~2500nm의 뛰어난 투과율을 제공하여 리소그래피, UV 레이저 및 고에너지 광학 시스템과 같은 딥 UV 애플리케이션에 이상적입니다. 수산화물(OH-) 함량이 매우 낮고 복굴절이 최소화되는 것이 특징입니다.
JGS2 - 광학 등급 석영
JGS2는 가시광선 및 근적외선(260~2500nm) 애플리케이션에 널리 사용됩니다. 높은 광학 균일성을 제공하며 일반 광학 시스템을 위한 비용 효율적인 솔루션입니다.
JGS3 - 적외선 석영 유리
JGS3는 적외선 애플리케이션과 산업용으로 최적화되어 있습니다. 깊은 자외선 범위에서는 투과율이 낮지만 열 및 적외선 관련 환경에서는 우수한 성능을 발휘합니다.
제조 프로세스
맞춤형 용융 석영 플레이트의 생산에는 정밀도와 일관성을 보장하기 위한 엄격한 공정 관리가 필요합니다:
1. 재료 선택
고순도 석영 잉곳은 애플리케이션 요구 사항에 따라 선택 및 준비됩니다.
2. 정밀 절단 및 성형
고급 CNC 가공, 워터젯 절단 또는 레이저 절단을 사용하여 맞춤형 치수와 형상을 구현합니다.
3. 구멍 드릴링
관통 구멍은 공차 및 표면 품질 요구 사항에 따라 초음파 드릴링, CO₂ 레이저 드릴링 또는 기계식 드릴링과 같은 특수 기술을 사용하여 만들어집니다.
4. 표면 처리
광학 연마(단면 또는 양면)를 통해 높은 표면 평탄도와 낮은 거칠기를 구현합니다. 모서리 마감, 챔퍼링, 화학적 연마도 가능합니다.
5. 청소 및 검사
모든 구성품은 통제된 환경에서 엄격한 세척 과정을 거치며 치수 정확도, 표면 품질, 광학 성능을 검사합니다.
기술 사양(참고)
| 속성 | 일반 값 |
|---|---|
| 지름 | 10mm - 600mm |
| 길이 | 10mm - 1000mm |
| 너비 | 10mm - 1000mm |
| 두께 | 0.5mm - 60mm |
| 재료 | 고순도 SiO₂(>99.9%) |
| 밀도 | 2.2 × 10³ kg/m³ |
| 경도 | 5.3 - 6.5(Mohs) |
| 압축 강도 | ＞1.1 × 10⁹ Pa |
| 열팽창 | 5.5 × 10-⁷ /℃ |
| 최대 온도(단기) | 1200℃ |
| 최대 온도(장기) | 1100℃ |
| 연화 포인트 | 1730℃ |
| 굴절률 | 1.4585 |
| 투과율 | ≥85% |
애플리케이션
기계적 강도, 광학적 선명도, 구조적 맞춤화의 독특한 조합 덕분에 이 석영 플레이트는 여러 산업 분야에서 널리 사용됩니다:
반도체 산업
웨이퍼 캐리어, 가스 분배판(샤워헤드), 에칭 및 증착 시스템의 구조적 구성 요소로 사용됩니다. 순도가 높아 클린룸 공정과의 호환성을 보장합니다.
미세 유체학 및 생명 과학
정밀하게 뚫린 구멍은 미세 유체 칩, 랩온칩 장치 및 분석 기기에서 유체 제어를 가능하게 합니다.
광학 및 포토닉스
높은 투과율과 안정성이 요구되는 광학 마스크, 조리개, 레이저 윈도우, 빔 정렬 시스템 등에 적용됩니다.
과학 연구
표준 재료가 안정적으로 작동할 수 없는 맞춤형 반응 챔버, 고온 실험 및 부식성 환경에서 사용됩니다.
화학 및 제약 장비
내화학성 및 광학 액세스가 필요한 플로우 리액터, 샘플링 시스템 및 UV/IR 분광 셀에 이상적입니다.
자주 묻는 질문
Q1: 구멍 크기와 위치를 완전히 맞춤 설정할 수 있나요?
예, 구멍 직경(0.1~20mm), 위치 및 레이아웃을 포함한 모든 치수는 CAD 도면을 기반으로 사용자 지정할 수 있습니다.
Q2: JGS1과 JGS2의 차이점은 무엇인가요?
JGS1은 순도가 높은 심자외선 애플리케이션에 적합하도록 설계되었으며, JGS2는 가시광선 및 근적외선 애플리케이션에 더 적합하고 비용 효율성이 더 높습니다.
Q3: 이 석영 플레이트는 내화학성이 있나요?
예, 퓨즈드 쿼츠는 불산(HF)을 제외한 대부분의 산과 화학 물질에 대한 내성이 강합니다.
Q4: 여러 개의 구멍이나 복잡한 모양을 만들 수 있나요?
예, 다중 홀 디자인, 슬롯 및 복잡한 형상이 완벽하게 지원됩니다.
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