Плавленые кварцевые пластины со сквозными отверстиями - это высокоточные компоненты, изготовленные из диоксида кремния сверхвысокой чистоты (SiO₂ > 99,9%). Эти пластины специально разработаны для передовых промышленных и научных применений, где термическая стабильность, химическая стойкость и оптические характеристики имеют решающее значение.
В отличие от стандартных стеклянных материалов, плавленый кварц обладает уникальным сочетанием низкого теплового расширения, высокой термостойкости и широкого оптического пропускания, что делает его идеальным для полупроводниковых, фотонных и лабораторных систем. Благодаря интегрированию точно просверленных отверстий эти кварцевые пластины обеспечивают контролируемый поток жидкости, распределение газа или оптическую юстировку, превращая их из пассивных подложек в функциональные компоненты систем.
Выпускаемые в различных классах, таких как JGS1, JGS2 и JGS3, эти продукты могут быть адаптированы к требованиям различных длин волн, от глубокого ультрафиолета (УФ) до инфракрасного излучения (ИК).
Основные характеристики
- Кварц сверхвысокой чистоты (SiO₂ > 99,9%), обеспечивающий превосходную оптическую прозрачность
- Нестандартные размеры, расположение и геометрия отверстий на основе чертежей CAD
- Выдающаяся термостойкость (до 1100°C при непрерывном использовании)
- Чрезвычайно низкое тепловое расширение для стабильности размеров
- Высокая химическая стойкость (кроме фтористоводородной кислоты)
- Оптическая полировка для прецизионных применений
- Совместимость с чистыми помещениями и средами высокой чистоты
- Подходит как для структурной, так и для оптической интеграции
Градации материала
JGS1 - плавленый кварц УФ-класса
JGS1 обладает превосходным пропусканием в диапазоне от 185 нм до 2500 нм, что делает его идеальным для применения в глубоком ультрафиолете, например, в литографии, УФ-лазерах и высокоэнергетических оптических системах. Он отличается очень низким содержанием гидроксила (OH-) и минимальным двулучепреломлением.
JGS2 - кварц оптического класса
JGS2 широко используется в видимой и ближней инфракрасной области (260-2500 нм). Он обеспечивает высокую оптическую однородность и является экономически эффективным решением для общих оптических систем.
JGS3 - инфракрасное кварцевое стекло
JGS3 оптимизирован для инфракрасных применений и промышленного использования. Несмотря на более низкое пропускание в глубоком УФ-диапазоне, он хорошо работает в тепловых и ИК-средах.
Производственный процесс
Производство плавленых кварцевых пластин на заказ требует строгого контроля процесса для обеспечения точности и последовательности:
1. Выбор материала
Высокочистые кварцевые слитки отбираются и подготавливаются в соответствии с требованиями к применению.
2. Точная резка и формовка
Для достижения нестандартных размеров и геометрии используется современная обработка с ЧПУ, гидроабразивная или лазерная резка.
3. Сверление отверстий
Сквозные отверстия создаются с помощью специализированных технологий, таких как ультразвуковое сверление, CO₂ лазерное сверление или механическое сверление, в зависимости от допусков и требований к качеству поверхности.
4. Обработка поверхности
Оптическая полировка (односторонняя или двухсторонняя) применяется для достижения высокой плоскостности поверхности и низкой шероховатости. Также возможна обработка кромок, снятие фасок и химическая полировка.
5. Очистка и осмотр
Все компоненты проходят тщательную очистку в контролируемых условиях и проверяются на точность размеров, качество поверхности и оптические характеристики.
Технические характеристики（参数表）
| Недвижимость | Типичное значение |
|---|---|
| Диаметр | 10 мм - 600 мм |
| Длина | 10 мм - 1000 мм |
| Ширина | 10 мм - 1000 мм |
| Толщина | 0,5 мм - 60 мм |
| Материал | Высокочистый SiO₂ (>99,9%) |
| Плотность | 2,2 × 10³ кг/м³ |
| Твердость | 5,3 - 6,5 (Мооса) |
| Прочность на сжатие | ＞1,1 × 10⁹ Па |
| Тепловое расширение | 5.5 × 10-⁷ /℃ |
| Максимальная температура (кратковременная) | 1200℃ |
| Максимальная температура (длительное время) | 1100℃ |
| Точка размягчения | 1730℃ |
| Показатель преломления | 1.4585 |
| Пропускание | ≥85% |
Приложения
Благодаря уникальному сочетанию механической прочности, оптической чистоты и индивидуальности конструкции эти кварцевые пластины широко используются во многих отраслях промышленности:
Полупроводниковая промышленность
Используются в качестве держателей пластин, газораспределительных пластин (душевых насадок) и конструктивных элементов в системах травления и осаждения. Их высокая чистота обеспечивает совместимость с процессами в чистых помещениях.
Микрофлюидика и науки о жизни
Прецизионно просверленные отверстия позволяют управлять жидкостями в микрофлюидных чипах, лабораторных устройствах-на-кристалле и аналитических приборах.
Оптика и фотоника
Применяется в оптических масках, апертурах, лазерных окнах и системах выравнивания луча, где требуется высокая передача и стабильность.
Научные исследования
Используются в реакционных камерах, изготовленных по индивидуальному заказу, при проведении высокотемпературных экспериментов и в коррозионных средах, где стандартные материалы не могут обеспечить надежную работу.
Химическое и фармацевтическое оборудование
Идеально подходит для проточных реакторов, систем отбора проб и камер УФ/ИК-спектроскопии, требующих химической стойкости и оптического доступа.
ЧАСТО ЗАДАВАЕМЫЕ ВОПРОСЫ
Q1: Можно ли полностью настроить размер и расположение отверстий?
Да, все размеры, включая диаметр отверстий (0,1-20 мм), положение и расположение, могут быть настроены на основе чертежей CAD.
Вопрос 2: В чем разница между JGS1 и JGS2?
JGS1 предназначен для работы в глубоком ультрафиолете и отличается высокой чистотой, в то время как JGS2 больше подходит для работы в видимом и ближнем инфракрасном диапазоне и отличается более высокой экономической эффективностью.
Вопрос 3: Являются ли эти кварцевые пластины химически стойкими?
Да, плавленый кварц обладает высокой устойчивостью к большинству кислот и химических веществ, за исключением плавиковой кислоты (HF).
Вопрос 4: Можно ли изготовить несколько отверстий или сложные формы?
Да, полностью поддерживаются конструкции с несколькими отверстиями, пазами и сложной геометрией.
Отзывы
Отзывов пока нет.