Kundenspezifische Quarzglasplatten mit Durchgangslöchern sind hochpräzise technische Komponenten, die aus ultrahochreinem Siliziumdioxid (SiO₂ > 99,9%) hergestellt werden. Diese Platten sind speziell für fortschrittliche industrielle und wissenschaftliche Anwendungen konzipiert, bei denen es auf thermische Stabilität, chemische Beständigkeit und optische Leistung ankommt.
Im Gegensatz zu herkömmlichen Glasmaterialien bietet Quarzglas eine einzigartige Kombination aus geringer thermischer Ausdehnung, hoher Temperaturbeständigkeit und breiter optischer Transmission, wodurch es sich ideal für Halbleiter-, Photonik- und Laborsysteme eignet. Durch die Integration von präzisionsgebohrten Löchern ermöglichen diese Quarzplatten einen kontrollierten Flüssigkeitsdurchfluss, eine kontrollierte Gasverteilung oder eine kontrollierte optische Ausrichtung und verwandeln sich so von passiven Substraten in funktionale Systemkomponenten.
Diese Produkte sind in verschiedenen Qualitäten wie JGS1, JGS2 und JGS3 erhältlich und können auf unterschiedliche Wellenlängenanforderungen zugeschnitten werden, von tiefem Ultraviolett (UV) bis zu Infrarot (IR).
Wesentliche Merkmale
- Hochreiner Quarz (SiO₂ > 99,9%) für hervorragende optische Klarheit
- Benutzerdefinierte Lochgröße, Position und Geometrie basierend auf CAD-Zeichnungen
- Hervorragende Wärmebeständigkeit (bis zu 1100°C Dauereinsatz)
- Extrem geringe Wärmeausdehnung für Dimensionsstabilität
- Hohe chemische Beständigkeit (außer Flusssäure)
- Optisches Polieren für Präzisionsanwendungen verfügbar
- Kompatibel mit Reinräumen und hochreinen Umgebungen
- Sowohl für die strukturelle als auch für die optische Integration geeignet
Werkstoffklassen
JGS1 - UV-Qualität Fused Silica
JGS1 bietet eine hervorragende Transmission von 185 nm bis 2500 nm und ist damit ideal für Anwendungen im tiefen UV-Bereich wie Lithografie, UV-Laser und optische Systeme mit hohem Energiegehalt. Es zeichnet sich durch einen sehr niedrigen Hydroxylgehalt (OH-) und minimale Doppelbrechung aus.
JGS2 - Optischer Quarz
JGS2 wird häufig für Anwendungen im sichtbaren und nahen Infrarotbereich (260-2500 nm) eingesetzt. Es bietet eine hohe optische Gleichmäßigkeit und ist eine kostengünstige Lösung für allgemeine optische Systeme.
JGS3 - Infrarot-Quarzglas
JGS3 ist für Infrarotanwendungen und den industriellen Einsatz optimiert. Während es im tiefen UV-Bereich eine geringere Transmission aufweist, ist es in thermischen und IR-bezogenen Umgebungen gut einsetzbar.
Herstellungsprozess
Die Herstellung von kundenspezifischen Quarzglasplatten erfordert eine strenge Prozesskontrolle, um Präzision und Konsistenz zu gewährleisten:
1. Auswahl des Materials
Hochreine Quarzblöcke werden entsprechend den Anforderungen der Anwendung ausgewählt und aufbereitet.
2. Präzisionsschneiden und -formen
Durch fortschrittliche CNC-Bearbeitung, Wasserstrahlschneiden oder Laserschneiden lassen sich kundenspezifische Abmessungen und Geometrien erzielen.
3. Bohren von Löchern
Durchgangslöcher werden mit speziellen Techniken wie Ultraschallbohren, CO₂-Laserbohren oder mechanischem Bohren hergestellt, je nach Anforderungen an Toleranz und Oberflächenqualität.
4. Oberflächenbearbeitung
Optisches Polieren (einseitig oder beidseitig) wird angewandt, um eine hohe Oberflächenebenheit und geringe Rauheit zu erreichen. Kantenbearbeitung, Anfasen und chemisches Polieren sind ebenfalls möglich.
5. Reinigung und Inspektion
Alle Komponenten werden in kontrollierten Umgebungen gründlich gereinigt und auf Maßhaltigkeit, Oberflächenqualität und optische Leistung geprüft.
Technische Daten（参数表）
| Eigentum | Typischer Wert |
|---|---|
| Durchmesser | 10 mm - 600 mm |
| Länge | 10 mm - 1000 mm |
| Breite | 10 mm - 1000 mm |
| Dicke | 0,5 mm - 60 mm |
| Material | Hochreines SiO₂ (>99,9%) |
| Dichte | 2,2 × 10³ kg/m³ |
| Härte | 5,3 - 6,5 (Mohs) |
| Druckfestigkeit | ＞1,1 × 10⁹ Pa |
| Thermische Ausdehnung | 5.5 × 10-⁷ /℃ |
| Maximale Temperatur (Kurzzeit) | 1200℃ |
| Maximale Temperatur (Langzeit) | 1100℃ |
| Erweichungspunkt | 1730℃ |
| Brechungsindex | 1.4585 |
| Durchlässigkeit | ≥85% |
Anwendungen
Dank ihrer einzigartigen Kombination aus mechanischer Festigkeit, optischer Klarheit und struktureller Anpassungsfähigkeit werden diese Quarzplatten in zahlreichen Branchen eingesetzt:
Halbleiterindustrie
Sie werden als Waferträger, Gasverteilungsplatten (Showerheads) und Strukturkomponenten in Ätz- und Abscheidungssystemen verwendet. Ihre hohe Reinheit gewährleistet die Kompatibilität mit Reinraumprozessen.
Mikrofluidik und Biowissenschaften
Präzisionsgebohrte Löcher ermöglichen die Flüssigkeitssteuerung in mikrofluidischen Chips, Lab-on-chip-Geräten und Analyseinstrumenten.
Optik und Photonik
Anwendung in optischen Masken, Blenden, Laserfenstern und Strahlausrichtungssystemen, wo hohe Transmission und Stabilität erforderlich sind.
Wissenschaftliche Forschung
Sie werden in kundenspezifischen Reaktionskammern, bei Hochtemperaturexperimenten und in korrosiven Umgebungen eingesetzt, in denen Standardmaterialien nicht zuverlässig funktionieren.
Chemische und pharmazeutische Ausrüstung
Ideal für Durchflussreaktoren, Probenahmesysteme und UV/IR-Spektroskopiezellen, die chemische Beständigkeit und optischen Zugang erfordern.
FAQ
F1: Können Lochgröße und -position vollständig angepasst werden?
Ja, alle Abmessungen, einschließlich des Lochdurchmessers (0,1-20 mm), der Position und des Layouts können auf der Grundlage von CAD-Zeichnungen angepasst werden.
F2: Was ist der Unterschied zwischen JGS1 und JGS2?
JGS1 wurde für Anwendungen im tiefen UV-Bereich mit höherer Reinheit entwickelt, während JGS2 eher für Anwendungen im sichtbaren und nahen Infrarotbereich mit besserer Kosteneffizienz geeignet ist.
F3: Sind diese Quarzplatten chemisch beständig?
Ja, Quarzglas ist sehr beständig gegen die meisten Säuren und Chemikalien, mit Ausnahme von Flusssäure (HF).
F4: Können mehrere Löcher oder komplexe Formen hergestellt werden?
Ja, Mehrlochdesigns, Schlitze und komplexe Geometrien werden vollständig unterstützt.
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