Пластины из содово-известкового стекла для тонких пленок и МЭМС

Пластины из содово-известкового стекла являются экономически эффективной и широко используемой альтернативой боросиликатным и кварцевым пластинам, особенно в тех областях, где требуется высокая оптическая прозрачность, гладкая поверхность и низкая стоимость материала.

Пластины из содово-известкового стекла являются экономически эффективной и широко используемой альтернативой боросиликатным и кварцевым пластинам, особенно в тех областях, где требуется высокая оптическая прозрачность, гладкая поверхность и низкая стоимость материала.

Изготовленное по технологии флоат-стекла, содово-известковое стекло обеспечивает отличную плоскостность, равномерную толщину и низкую шероховатость поверхности, что делает его очень подходящим для нанесения тонких/толстых пленок, процессов нанесения покрытий и исследований, связанных с МЭМС.

Благодаря своей химически стабильной и нереактивной поверхности пластины из содового стекла широко используются в качестве механических опорных подложек для проводящих электродов и функциональных тонких пленок.

Основные характеристики

  • Высокая оптическая прозрачность
    Пропускание видимого света до 88-92%, подходит для оптических и дисплейных приложений
  • Ультраплоская поверхность
    Плавающий процесс обеспечивает гладкую поверхность, идеальную для нанесения покрытий и литографии
  • Экономически эффективная альтернатива
    Более низкая стоимость по сравнению с кварцевыми и боросиликатными пластинами, идеально подходит для использования в больших объемах
  • Отличная технологичность
    Легко резать, полировать, нарезать кубиками, сверлить и придавать нужную форму пластинам.
  • Химическая стабильность
    Устойчивость к воде и слабым кислотам для использования в лабораторных и промышленных условиях
  • Индивидуальные параметры прочности
    Может быть химически упрочнен или термически закален

Типовые применения

  • Осаждение тонких и толстых пленок
  • МЭМС и микрофабрикация
  • Микрофлюидические устройства
  • Подложки для оптических покрытий
  • Платформы для датчиков и детекторов
  • Разработка дисплеев и сенсорных панелей
  • Пластины для лабораторных испытаний

Технические характеристики пластин

Параметр Значение
Материал Стакан с содовой
Диаметр 2” / 3” / 4” / 6” (возможно изготовление на заказ)
Толщина 0,5 мм - 3 мм (настраивается)
Отделка поверхности Полировка / Двухсторонняя полировка
Плоскость Предоставляется по запросу
Тип кромки Закругленный / с фаской
Прозрачность 88-92%
Показатель преломления 1.51-1.52

Физические и термические свойства

Недвижимость Значение
Плотность 2,5 г/см³
Модуль Юнга 70-75 ГПа
Твердость (Мооса) ~6.5
Теплопроводность 0,95 Вт/м-К
CTE ~9 × 10-⁶ /K
Точка деформации ~500°C
Диапазон отжига 480-585°C
Точка размягчения 585-740°C

Обработка и персонализация

Мы поддерживаем полную кастомизацию на уровне пластин:

  • Нарезка и изменение размеров пластин
  • Двухсторонняя полировка (DSP)
  • Обработка с ЧПУ
  • Лазерная резка
  • Сверление отверстий / прорезание пазов
  • Полировка кромок / снятие фасок

Доступные покрытия

  • AR (антибликовое покрытие)
  • Проводящее покрытие ITO
  • Металлические покрытия (Au, Al, Cr)
  • Диэлектрические и оптические фильтры

Примечание по применению

Пластины из содово-известкового стекла широко используются в качестве эталонных подложек в:

  • Разработка процесса шлифования и полировки
  • Испытания на адгезию тонких пленок
  • Оценка инструмента и шлама

Благодаря постоянным свойствам материала и низкой стоимости они идеально подходят для калибровки процессов и экспериментальной проверки.

Преимущества по сравнению с другими материалами для изготовления пластин

Недвижимость Вафли с содовым лаймом Боросиликатная пластина Кварцевая пластина
Стоимость ⭐ Низкий Средний Высокий
Термическое сопротивление Умеренный Высокий Очень высокий
Технологичность Превосходно Хорошо Трудности
Качество оптики Хорошо Очень хорошо Превосходно

Важное замечание

Из-за более высокого коэффициента теплового расширения пластины из содово-известкового стекла не подходят для использования в полупроводниковых процессах с высоким уровнем теплового удара или при высоких температурах.

Для высокотемпературных сред рекомендуется использовать боросиликатные или кварцевые пластины.

Стандартная поставка

  • Пример: 100 шт. (25 × 25 × 1,1 мм)
  • Доступны форматы пластин (круглые, квадратные, нестандартные)
  • Поддерживается упаковка для чистых помещений

Часто задаваемые вопросы - Стеклянные пластины с содовой известью

Вопрос 1: Подходят ли пластины из содово-известкового стекла для процессов МЭМС?
О: Да, пластины из содово-известкового стекла широко используются в исследованиях и создании прототипов МЭМС, особенно в чувствительных к стоимости или низкотемпературных приложениях. Их гладкие, плоские поверхности делают их пригодными для осаждения тонких пленок, литографии и экспериментов по микрофабрикации. Однако для высокотемпературных процессов МЭМС или приложений, требующих экстремальной устойчивости к тепловым ударам, предпочтительнее использовать боросиликатные или кварцевые пластины благодаря их более низкому коэффициенту теплового расширения и более высоким точкам деформации.

Вопрос 2: Можете ли вы обеспечить полировку на уровне пластин?
О: Да, мы предлагаем как одностороннюю, так и двухстороннюю полировку (SSP/DSP) для пластин из содовой извести. Полировка обеспечивает плоскостность и низкую шероховатость поверхности оптического класса, что необходимо для прецизионного осаждения тонких пленок и оптических приложений. Шероховатость и плоскостность поверхности могут быть настроены в соответствии с вашими технологическими требованиями, а также доступны дополнительные опции, такие как полировка кромок, снятие фасок и скосов для обработки и сборки в последующих процессах.

Вопрос 3: Можно ли наносить покрытия на пластины?
О: Безусловно. На содово-известковые пластины может наноситься широкий спектр покрытий, в том числе:

  • Антибликовые (AR) покрытия для улучшения светопропускания в оптике и дисплеях
  • Токопроводящие покрытия ITO для электродов и датчиков
  • Металлические покрытия (Au, Al, Cr и т.д.) для электрических контактов или отражающих поверхностей
  • Диэлектрические и оптические фильтрующие покрытия для контроля длины волны

Эти покрытия могут наноситься на одну или две стороны, а толщина или рисунок могут быть подобраны в соответствии с конкретными требованиями к оптическим или электрическим характеристикам вашего проекта.

Вопрос 4: В чем заключается основное ограничение пластин из содово-известкового стекла?
О: Основным ограничением является более низкая термическая стабильность по сравнению с боросиликатными или кварцевыми пластинами. Содово-известковое стекло имеет более высокий коэффициент теплового расширения (~9 × 10-⁶ /K) и относительно низкую температуру размягчения. Это делает его более восприимчивым к растрескиванию или деформации при резких изменениях температуры или высокотемпературных процессах. Для применений, связанных с термоциклированием, высокотемпературным склеиванием или экстремальными тепловыми ударами, рекомендуется использовать альтернативные виды стекла, такие как боросиликатное или кварцевое. Несмотря на это, пластины из содовой извести остаются очень надежными для процессов при комнатной и низких температурах и представляют собой доступную оптически прозрачную подложку для создания прототипов и исследований.

Отзывы

Отзывов пока нет.

Будьте первым, кто оставил отзыв на “Soda-Lime Glass Wafers for Thin Film & MEMS Applications”

Ваш адрес email не будет опубликован. Обязательные поля помечены *

Корзина для покупок
Прокрутить вверх