Wafle ze szkła sodowo-wapniowego do zastosowań cienkowarstwowych i MEMS

Wafle ze szkła sodowo-wapniowego są opłacalną i szeroko stosowaną alternatywą dla wafli borokrzemianowych i kwarcowych, szczególnie w zastosowaniach, w których wymagana jest wysoka przejrzystość optyczna, gładka powierzchnia i niski koszt materiału.

Wytwarzane w procesie float szkło sodowo-wapniowe zapewnia doskonałą płaskość, jednolitą grubość i niską chropowatość powierzchni, dzięki czemu doskonale nadaje się do osadzania cienkich/grubych warstw, procesów powlekania i badań związanych z MEMS.

Ze względu na stabilną chemicznie i niereaktywną powierzchnię, płytki ze szkła sodowo-wapniowego są powszechnie stosowane jako mechaniczne podłoża nośne dla elektrod przewodzących i funkcjonalnych cienkich warstw.

Kluczowe cechy

• Wysoka przezroczystość optyczna
  Przepuszczalność światła widzialnego do 88-92%, odpowiednia do zastosowań optycznych i wyświetlaczy
• Bardzo płaska powierzchnia
  Proces Float zapewnia gładką powierzchnię idealną do powlekania i litografii
• Opłacalna alternatywa
  Niższy koszt niż w przypadku płytek kwarcowych i borokrzemianowych, idealny do zastosowań wielkoseryjnych
• Doskonała przetwarzalność
  Łatwe cięcie, polerowanie, krojenie w kostkę, wiercenie i kształtowanie niestandardowych wafli
• Stabilność chemiczna
  Odporność na wodę i łagodne kwasy dla ogólnych środowisk laboratoryjnych i przemysłowych
• Niestandardowe opcje wytrzymałości
  Może być wzmocniony chemicznie lub hartowany termicznie

Typowe zastosowania

• Osadzanie cienkich i grubych warstw
• MEMS i mikrofabrykacja
• Urządzenia mikroprzepływowe
• Podłoża do powlekania optycznego
• Platformy czujników i detektorów
• Badania i rozwój wyświetlaczy i paneli dotykowych
• Laboratoryjne płytki testowe

Specyfikacje wafli

Właściwości fizyczne i termiczne

Przetwarzanie i dostosowywanie

Obsługujemy pełną personalizację na poziomie wafla:

• Kostkowanie i zmiana rozmiaru wafli
• Polerowanie dwustronne (DSP)
• Obróbka CNC
• Cięcie laserowe
• Wiercenie otworów / nacinanie
• Polerowanie krawędzi / fazowanie

Dostępne powłoki

• AR (antyrefleksyjny)
• Powłoka przewodząca ITO
• Powłoki metalowe (Au, Al, Cr)
• Filtry dielektryczne i optyczne

Nota aplikacyjna

Wafle ze szkła sodowo-wapniowego są szeroko stosowane jako podłoża referencyjne:

• Rozwój procesu szlifowania i polerowania
• Testowanie przyczepności cienkich warstw
• Ocena narzędzia i zawiesiny

Ich spójne właściwości materiałowe i niski koszt sprawiają, że idealnie nadają się do kalibracji procesu i walidacji eksperymentalnej.

Zalety w porównaniu z innymi materiałami waflowymi

Ważna uwaga

Ze względu na wyższy współczynnik rozszerzalności cieplnej, płytki ze szkła sodowo-wapniowego nie nadają się do procesów półprzewodnikowych o wysokim szoku termicznym lub wysokiej temperaturze.

W środowiskach o wysokiej temperaturze zalecane są płytki borokrzemianowe lub kwarcowe.

Standardowa dostawa

• Przykład: 100 sztuk (25 × 25 × 1,1 mm)
• Dostępne formaty płytek (okrągłe / kwadratowe / niestandardowe)
• Obsługiwane opakowania do pomieszczeń czystych

FAQ - Wafle szklane sodowo-wapniowe

P1: Czy płytki ze szkła sodowo-wapniowego nadają się do procesów MEMS?
O: Tak, płytki ze szkła sodowo-wapniowego są szeroko stosowane w badaniach MEMS i prototypowaniu, szczególnie w zastosowaniach wrażliwych na koszty lub niskotemperaturowych. Ich gładkie, płaskie powierzchnie sprawiają, że nadają się do osadzania cienkich warstw, litografii i eksperymentów z mikrofabrykacją. Jednak w przypadku wysokotemperaturowych procesów MEMS lub zastosowań wymagających ekstremalnej odporności na szok termiczny, preferowane mogą być płytki borokrzemianowe lub kwarcowe ze względu na ich niższy współczynnik rozszerzalności cieplnej i wyższe punkty odkształcenia.

P2: Czy możecie zapewnić polerowanie na poziomie wafla?
O: Tak, oferujemy zarówno jednostronne, jak i dwustronne polerowanie (SSP/DSP) wafli sodowo-wapniowych. Polerowanie zapewnia optyczną płaskość i niską chropowatość powierzchni, co jest niezbędne do precyzyjnego osadzania cienkich warstw i zastosowań optycznych. Chropowatość i płaskość powierzchni można dostosować do wymagań procesu, a dodatkowe opcje, takie jak polerowanie krawędzi, fazowanie i ukosowanie, są dostępne do obsługi i montażu w dalszych procesach.

P3: Czy powłoki mogą być nakładane na wafle?
Oczywiście. Wafle sodowo-wapniowe mogą być pokryte szeroką gamą powłok, w tym:

• Powłoki antyrefleksyjne (AR) zwiększające przepuszczalność światła w optyce i wyświetlaczach
• Przewodzące powłoki ITO do zastosowań w elektrodach lub czujnikach
• Powłoki metalowe (Au, Al, Cr itp.) do styków elektrycznych lub powierzchni odblaskowych
• Powłoki dielektryczne i filtry optyczne do kontroli długości fali

Powłoki te mogą być nakładane jednostronnie lub dwustronnie, a ich grubość lub wzory mogą być dostosowane do konkretnych wymagań projektu w zakresie parametrów optycznych lub elektrycznych.

P4: Jakie jest główne ograniczenie wafli ze szkła sodowo-wapniowego?
O: Podstawowym ograniczeniem jest niższa stabilność termiczna w porównaniu do płytek borokrzemianowych lub kwarcowych. Szkło sodowo-wapniowe ma wyższy współczynnik rozszerzalności cieplnej (~9 × 10-⁶ / K) i stosunkowo niską temperaturę mięknienia. Sprawia to, że jest ono bardziej podatne na pękanie lub wypaczanie pod wpływem gwałtownych zmian temperatury lub procesów wysokotemperaturowych. W przypadku zastosowań obejmujących cykle termiczne, łączenie w wysokiej temperaturze lub ekstremalny szok termiczny, zalecane są alternatywne rodzaje szkła, takie jak płytki borokrzemianowe lub kwarcowe. Pomimo tego, płytki sodowo-wapniowe pozostają wysoce niezawodne w procesach w temperaturze pokojowej lub w niskich temperaturach i zapewniają niedrogie, optycznie przejrzyste podłoże do prototypowania i badań.