Wafle szklane o wysokiej zawartości borokrzemianu (3.3)
Wafle ze szkła o wysokiej zawartości borokrzemianu są precyzyjnie zaprojektowanymi podłożami szeroko stosowanymi w półprzewodnikach, MEMS i zastosowaniach optycznych. Znane z niskiego współczynnika rozszerzalności cieplnej (~3,3 × 10-⁶/K), doskonałej stabilności chemicznej i wysokiej przezroczystości, płytki te stanowią niezawodną i opłacalną alternatywę dla materiałów takich jak topiona krzemionka i kwarc w środowiskach o średniej temperaturze.
Wytwarzane w procesie float, płytki borokrzemianowe oferują jednolitą grubość, doskonałą płaskość i niskie naprężenia wewnętrzne, dzięki czemu idealnie nadają się do precyzyjnej mikrofabrykacji i procesów łączenia.
Kluczowy skład materiału
Szkło o wysokiej zawartości borokrzemianu zazwyczaj składa się z:
- Dwutlenek krzemu (SiO₂): ~75-80%
- Trójtlenek boru (B₂O₃): ~12-15%
- Tlenek glinu (Al₂O₃): niewielki procent
- Tlenki metali niskoalkalicznych (<5%)
Ten zoptymalizowany skład zapewnia zwiększoną stabilność termiczną i odporność chemiczną w porównaniu do konwencjonalnego szkła sodowo-wapniowego.
Główne zalety
Wafle ze szkła borokrzemianowego oferują szereg korzyści w zakresie wydajności:
- Niska rozszerzalność cieplna - idealna do łączenia krzemu i struktur MEMS
- Doskonała odporność na szok termiczny - ΔT do ~120-150°C (w zależności od grubości)
- Wysoka przezroczystość optyczna - odpowiednia do zastosowań optycznych i fotonicznych
- Silna odporność chemiczna - odporność na kwasy i większość chemikaliów
- Wysoka płaskość i jakość powierzchni - wspiera produkcję w skali mikro i nano
- Opłacalność - w wielu zastosowaniach bardziej ekonomiczna niż kwarc lub topiona krzemionka
Proces produkcji
Wafle borokrzemianowe produkowane są metodą float, w której roztopione szkło przepływa przez kąpiel ze stopioną cyną, tworząc gładki, jednolity arkusz. Materiał jest następnie:
- Stopniowe chłodzenie (wyżarzanie) w celu wyeliminowania naprężeń wewnętrznych
- Cięcie na płytki o określonych wymiarach
- Precyzyjnie szlifowane i polerowane (jednostronnie lub dwustronnie)
Proces ten zapewnia doskonałą jakość powierzchni, ścisłą kontrolę grubości i niską gęstość defektów.
Specyfikacja
| Parametr | Zakres / Opcje |
|---|---|
| Średnica | 2” - 12” |
| Grubość | 0,2 - 1,1 mm (dostępne na zamówienie) |
| Powierzchnia | SSP / DSP |
| Chropowatość | Ra < 1,5 nm |
| Płaskość (TTV) | < 10 µm (typowo) |
| Kształt | Okrągły / Kwadratowy / Niestandardowy |
Typowe zastosowania
1. Półprzewodniki i MEMS
- Łączenie wafli z krzemem (łączenie anodowe)
- Urządzenia MEMS i mikroczujniki
- Podłoża do pakowania układów scalonych
2. Mikroprzepływowość i biotechnologia
- Urządzenia typu laboratorium na chipie
- Kanały mikroprzepływowe
- Platformy analizy biomedycznej
3. Systemy optyczne i fotoniczne
- Okna i podłoża optyczne
- Elementy obiektywu i pryzmatu
- Przezroczyste płytki nośne
4. Sprzęt przemysłowy i naukowy
- Wysokotemperaturowe okna obserwacyjne
- Sprzęt laboratoryjny i urządzenia analityczne
Porównanie: Szkło borokrzemianowe vs szkło sodowo-wapniowe
| Własność | Szkło borokrzemowe | Szkło sodowo-cytrynowe |
|---|---|---|
| Rozszerzalność cieplna | Niski (~3,3×10-⁶/K) | Wysoki |
| Odporność na szok termiczny | Doskonały | Słaby |
| Odporność chemiczna | Wysoki | Umiarkowany |
| Koszt | Średni | Niski |
| Zastosowania | MEMS, optyka, laboratorium | Butelki, okna |
Dlaczego warto wybrać nasze wafle ze szkła borokrzemowego?
- Stabilne dostawy od wiodących producentów szkła
- Możliwości precyzyjnej obróbki i polerowania
- Dostępne są niestandardowe rozmiary, grubości i wykończenia powierzchni
- Ścisła kontrola jakości i pakowanie w pomieszczeniach czystych (klasa 100 / ISO 5)
- Szybka dostawa dla standardowych specyfikacji
FAQ
P1: Co to jest szkło borokrzemowe 3.3?
O: Odnosi się do szkła borokrzemianowego o współczynniku rozszerzalności cieplnej około 3,3 × 10-⁶/K, znanego z doskonałej stabilności termicznej.
P2: Czy płytki ze szkła borokrzemowego mogą zastąpić płytki kwarcowe?
O: Mogą one służyć jako opłacalna alternatywa w zastosowaniach średniotemperaturowych, ale kwarc jest nadal preferowany w środowiskach o ekstremalnie wysokich temperaturach.
P3: Jaka jest różnica między waflami ze szkła borokrzemowego a waflami kwarcowymi?
O: Wafle ze szkła borokrzemowego oferują bardziej opłacalne rozwiązanie z dobrą stabilnością termiczną i odpornością chemiczną, co czyni je idealnymi do MEMS i ogólnych zastosowań półprzewodnikowych. Z drugiej strony, płytki kwarcowe zapewniają doskonałą odporność na wysokie temperatury i przepuszczalność promieniowania UV i są preferowane w ekstremalnych środowiskach i zaawansowanych systemach optycznych.
P4: Czy płytki ze szkła borokrzemowego mogą być używane do anodowego łączenia z krzemem?
Tak, płytki ze szkła borokrzemowego 3.3 są szeroko stosowane do anodowego łączenia z krzemem ze względu na ich ściśle dopasowany współczynnik rozszerzalności cieplnej. Zapewnia to dużą siłę wiązania i minimalizuje naprężenia termiczne w MEMS i produkcji urządzeń mikroprzepływowych.
P5: Jakie opcje dostosowywania są dostępne dla płytek ze szkła borokrzemowego?
Oferujemy szeroki zakres opcji dostosowywania, w tym średnicę wafla (2 ”- 12”), grubość, polerowanie jednostronne lub dwustronne (SSP / DSP), chropowatość powierzchni, płaskość (TTV) i niestandardowe kształty, takie jak kwadratowe lub prostokątne podłoża. Specjalne wymagania dotyczące powlekania, wiercenia lub wzornictwa mogą być również obsługiwane na żądanie.
Opinie
Na razie nie ma opinii o produkcie.