소다석회 유리 웨이퍼는 특히 높은 광학 선명도, 매끄러운 표면, 낮은 재료 비용이 요구되는 응용 분야에서 붕규산 및 석영 웨이퍼를 대체하는 비용 효율적이고 널리 사용되는 제품입니다.
플로트 글라스 공정으로 제조되는 소다석회 유리는 평탄도가 우수하고 두께가 균일하며 표면 거칠기가 낮아 박막/후막 증착, 코팅 공정 및 MEMS 관련 연구에 매우 적합합니다.
화학적으로 안정적이고 반응성이 없는 표면으로 인해 소다석회 유리 웨이퍼는 일반적으로 전도성 전극 및 기능성 박막의 기계적 지지 기판으로 사용됩니다.
주요 기능
- 높은 광학 투명도
광학 및 디스플레이 애플리케이션에 적합한 최대 88-92%의 가시광선 투과율 - 매우 평평한 표면
플로트 공정으로 코팅 및 리소그래피에 이상적인 매끄러운 표면 보장 - 비용 효율적인 대안
석영 및 붕규산 웨이퍼보다 비용이 저렴하여 대량 사용에 이상적입니다. - 뛰어난 가공성
맞춤형 웨이퍼로 쉽게 자르고, 연마하고, 주사위를 던지고, 드릴링하고, 모양을 만들 수 있습니다. - 화학적 안정성
일반 실험실 및 산업 환경을 위한 물 및 약산성 내성 - 사용자 지정 강도 옵션
화학적 강화 또는 열 강화 가능
일반적인 애플리케이션
- 박막/후막 증착
- MEMS 및 마이크로 패키징
- 미세 유체 장치
- 광학 코팅 기판
- 센서 및 검출기 플랫폼
- 디스플레이 및 터치 패널 R&D
- 실험실 테스트 웨이퍼
웨이퍼 사양
| 매개변수 | 가치 |
|---|---|
| 재료 | 소다 라임 유리 |
| 지름 | 2” / 3” / 4” / 6”(맞춤 제작 가능) |
| 두께 | 0.5mm - 3mm(사용자 지정 가능) |
| 표면 마감 | 광택 / 양면 광택 |
| 평탄도 | 요청 시 사용 가능 |
| 엣지 유형 | 원형/모따기 |
| 투명성 | 88-92% |
| 굴절률 | 1.51-1.52 |
물리적 및 열적 특성
| 속성 | 가치 |
|---|---|
| 밀도 | 2.5g/cm³ |
| 영의 계수 | 70-75 GPa |
| 경도(Mohs) | ~6.5 |
| 열 전도성 | 0.95 W/m-K |
| CTE | ~9 × 10-⁶ /K |
| 스트레인 포인트 | ~500°C |
| 어닐링 범위 | 480-585°C |
| 연화 포인트 | 585-740°C |
처리 및 사용자 지정
전체 웨이퍼 수준 커스터마이징을 지원합니다:
- 웨이퍼 다이싱 및 크기 조정
- 양면 연마(DSP)
- CNC 가공
- 레이저 커팅
- 홀 드릴링 / 슬롯
- 가장자리 연마 / 베벨링
사용 가능한 코팅
- AR(반사 방지)
- ITO 전도성 코팅
- 금속 코팅(Au, Al, Cr)
- 유전체 및 광학 필터
애플리케이션 노트
소다 석회 유리 웨이퍼는 레퍼런스 기판으로 널리 사용됩니다:
- 연삭 및 연마 공정 개발
- 박막 접착력 테스트
- 도구 및 슬러리 평가
일관된 재료 특성과 저렴한 비용으로 공정 보정 및 실험 검증에 이상적입니다.
다른 웨이퍼 재료 대비 장점
| 속성 | 소다 라임 웨이퍼 | 보로실리케이트 웨이퍼 | 쿼츠 웨이퍼 |
|---|---|---|---|
| 비용 | 낮음 | Medium | 높음 |
| 열 저항 | 보통 | 높음 | 매우 높음 |
| 처리 가능성 | 우수 | Good | 어려움 |
| 광학 품질 | Good | 매우 좋음 | 우수 |
중요 참고 사항
소다석회 유리 웨이퍼는 열팽창 계수가 높기 때문에 높은 열 충격이나 고온의 반도체 공정에는 적합하지 않습니다.
고온 환경의 경우 붕규산 또는 석영 웨이퍼를 권장합니다.
표준 공급
- 예: 100개(25 × 25 × 1.1mm)
- 사용 가능한 웨이퍼 형식(원형/정사각형/맞춤형)
- 클린룸 패키징 지원
FAQ - 소다-라임 유리 웨이퍼
Q1: 소다 석회 유리 웨이퍼가 MEMS 공정에 적합합니까?
A: 예, 소다석회 유리 웨이퍼는 특히 비용에 민감하거나 저온 애플리케이션에서 MEMS 연구 및 프로토타입 제작에 널리 사용됩니다. 표면이 매끄럽고 평평하여 박막 증착, 리소그래피 및 미세 가공 실험에 적합합니다. 그러나 고온 MEMS 공정이나 극한의 열충격 저항성이 필요한 애플리케이션의 경우 열팽창 계수가 낮고 변형점이 높은 붕규산 또는 석영 웨이퍼가 선호될 수 있습니다.
Q2: 웨이퍼 수준의 폴리싱을 제공할 수 있나요?
A: 예, 당사는 소다석회 웨이퍼를 위한 단면 및 양면 연마(SSP/DSP)를 모두 제공합니다. 연마는 정밀 박막 증착 및 광학 애플리케이션에 필수적인 광학 등급 평탄도와 낮은 표면 거칠기를 보장합니다. 표면 거칠기와 평탄도는 공정 요구 사항에 따라 맞춤 설정할 수 있으며, 다운스트림 공정에서 취급 및 조립을 위해 에지 폴리싱, 챔퍼링 및 베벨링과 같은 추가 옵션을 사용할 수 있습니다.
Q3: 웨이퍼에 코팅을 적용할 수 있습니까?
A: 물론입니다. 소다석회 웨이퍼는 다음과 같은 다양한 코팅을 받을 수 있습니다:
- 광학 및 디스플레이 애플리케이션에서 빛 투과율 향상을 위한 반사 방지(AR) 코팅
- 전극 또는 센서 애플리케이션을 위한 ITO 전도성 코팅
- 전기 접점 또는 반사 표면을 위한 금속 코팅(Au, Al, Cr 등)
- 파장별 제어를 위한 유전체 및 광학 필터 코팅
이러한 코팅은 단면 또는 양면에 적용할 수 있으며, 프로젝트의 특정 광학 또는 전기 성능 요구 사항에 따라 두께 또는 패턴을 맞춤화할 수 있습니다.
Q4: 소다석회 유리 웨이퍼의 주요 한계는 무엇인가요?
A: 가장 큰 한계는 붕규산 또는 석영 웨이퍼에 비해 열 안정성이 낮다는 점입니다. 소다석회 유리는 열팽창 계수(~9 × 10-⁶ /K)가 높고 연화점이 상대적으로 낮습니다. 따라서 급격한 온도 변화나 고온 공정에서 균열이나 뒤틀림에 더 취약합니다. 열 순환, 고온 접합 또는 극심한 열 충격이 수반되는 애플리케이션의 경우 붕규산 또는 석영 웨이퍼와 같은 대체 유리 유형을 사용하는 것이 좋습니다. 그럼에도 불구하고 소다석회 웨이퍼는 실온 또는 저온 공정에서 높은 신뢰성을 유지하며 시제품 제작 및 연구를 위한 경제적이고 광학적으로 투명한 기판을 제공합니다.
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