ソーダ石灰ガラスウェーハは、ホウケイ酸ガラスウェーハや石英ガラスウェーハの代替品として、特に高い光学的透明度、滑らかな表面、低材料費が要求される用途において、費用対効果に優れ、広く使用されている。.
フロートガラス製法で製造されるソーダ石灰ガラスは、優れた平坦性、均一な厚み、低い表面粗さを持ち、薄膜／厚膜蒸着、コーティングプロセス、MEMS関連研究に非常に適している。.
ソーダ石灰ガラスウェハーは、化学的に安定で非反応性であるため、導電性電極や機能性薄膜の機械的支持基板として一般的に使用されている。.
主な特徴
- 高い光学的透明性
可視光透過率88-92%、光学およびディスプレイ用途に最適 - 超平坦な表面
フロート加工により、コーティングやリソグラフィーに理想的な滑らかな表面を実現 - 費用対効果の高い代替案
石英やホウケイ酸ウェハーよりも低コストで、大量使用に最適 - 優れた加工性
カット、研磨、ダイス、ドリル、カスタムウエハーへの成形が容易 - 化学的安定性
水や弱酸に強く、一般的な研究室や産業環境向け - カスタム強度オプション
化学強化または熱強化が可能
代表的なアプリケーション
- 薄膜/厚膜蒸着
- MEMSと微細加工
- マイクロ流体デバイス
- 光学コーティング基板
- センサー＆検出器プラットフォーム
- ディスプレイとタッチパネルの研究開発
- ラボ用テストウェーハ
ウエハー仕様
| パラメータ | 価値 |
|---|---|
| 素材 | ソーダライム・グラス |
| 直径 | 2インチ／3インチ／4インチ／6インチ（カスタム可） |
| 厚さ | 0.5mm～3mm（カスタマイズ可能） |
| 表面仕上げ | ポリッシュ／両面ポリッシュ |
| 平坦性 | お問い合わせください。 |
| エッジタイプ | ラウンド/面取り |
| 透明性 | 88-92% |
| 屈折率 | 1.51-1.52 |
物理的・熱的特性
| プロパティ | 価値 |
|---|---|
| 密度 | 2.5 g/cm³ |
| ヤング率 | 70-75 GPa |
| 硬度（モース） | ~6.5 |
| 熱伝導率 | 0.95 W/m-K |
| CTE | ~9 × 10-⁶ /K |
| ストレイン・ポイント | ~500°C |
| アニール範囲 | 480-585°C |
| 軟化点 | 585-740°C |
加工とカスタマイズ
ウェハレベルでのカスタマイズにも対応しています：
- ウェーハダイシング＆リサイジング
- 両面研磨（DSP）
- CNC加工
- レーザー切断
- 穴あけ / スロット加工
- エッジ研磨／面取り
コーティング
- AR（反射防止）
- ITO導電性コーティング
- 金属コーティング (Au, Al, Cr)
- 誘電体・光学フィルター
アプリケーションノート
ソーダ石灰ガラスウェーハは、リファレンス基板として広く使用されている：
- 研削・研磨プロセス開発
- 薄膜接着試験
- 工具とスラリーの評価
その一貫した材料特性と低コストは、プロセスの校正や実験的検証に理想的である。.
他のウェハー材料との比較
| プロパティ | ソーダ・ライム・ウエハース | ホウケイ酸ウェハー | 石英ウェハー |
|---|---|---|---|
| コスト | 低 | ミディアム | 高い |
| 熱抵抗 | 中程度 | 高い | 非常に高い |
| 加工性 | 素晴らしい | グッド | 難しい |
| 光学品質 | グッド | 非常に良い | 素晴らしい |
重要なお知らせ
ソーダ石灰ガラスは熱膨張率が高いため、高熱衝撃や高温の半導体プロセスには適さない。.
高温環境では、ホウケイ酸ウェハーまたは石英ウェハーを推奨する。.
スタンダード・サプライ
- 例：100個（25×25×1.1mm）
- ウエハーのフォーマット（円形/正方形/カスタム）
- クリーンルーム対応パッケージング
よくある質問 - ソーダ石灰ガラス・ウエハース
Q1：ソーダ石灰ガラスはMEMSプロセスに適していますか？
A: はい、ソーダ石灰ガラス・ウエハはMEMSの研究やプロトタイピング、特にコスト重視のアプリケーションや低温アプリケーションで広く使用されています。表面が滑らかで平らなため、薄膜蒸着、リソグラフィー、微細加工実験に適しています。しかし、高温のMEMSプロセスや極度の熱衝撃耐性を必要とする用途では、熱膨張係数が低く、ひずみ点が高いホウケイ酸ウェハーや石英ウェハーが好まれる場合があります。.
Q2: ウェーハレベルの研磨は可能ですか？
A: はい、ソーダライムウェーハの片面研磨と両面研磨（SSP/DSP）の両方を提供しています。研磨により、光学グレードの平坦性と低い表面粗さが確保され、精密薄膜蒸着や光学用途に不可欠です。表面粗さと平坦度は、お客様のプロセス要件に応じてカスタマイズすることができ、エッジ研磨、面取り、面取りなどの追加オプションは、下流工程でのハンドリングとアセンブリのために利用可能です。.
Q3: ウェハーにコーティングは可能ですか？
A: もちろんです。ソーダライムウェハーは、以下のような様々なコーティングが可能です：
- 光学およびディスプレイ用途の光透過率を高める反射防止（AR）コーティング
- 電極またはセンサー用途のITO導電性コーティング
- 電気接点または反射面用の金属コーティング（Au、Al、Crなど
- 波長別制御のための誘電体および光学フィルターコーティング
これらのコーティングは、片面または両面に施すことができ、厚みやパターンは、お客様のプロジェクトの特定の光学的または電気的性能要件に応じてカスタマイズすることができます。.
Q4：ソーダ石灰ガラスウェハーの主な限界は何ですか？
A: ホウケイ酸ガラスや石英ガラスに比べ、熱安定性が低いことが第一の制限です。ソーダ石灰ガラスは熱膨張係数が高く(~9 × 10-⁶ /K)、軟化点が比較的低いです。そのため、急激な温度変化や高温プロセスでは、割れや反りの影響を受けやすくなります。熱サイクル、高温接合、極度の熱衝撃を伴う用途には、ホウケイ酸ガラスや石英ガラスなどの代替ガラスをお勧めします。しかしながら、ソーダライムウェーハは、室温または低温プロセスにおいて高い信頼性を維持し、プロトタイピングや研究に手頃な価格で光学的に透明な基板を提供します。.
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