Wafer di vetro soda-calce per applicazioni a film sottile e MEMS

I wafer di vetro sodo-calcico sono un'alternativa economica e ampiamente utilizzata ai wafer di borosilicato e quarzo, soprattutto nelle applicazioni in cui sono richiesti un'elevata chiarezza ottica, una superficie liscia e un basso costo del materiale.

Prodotto con il processo del vetro float, il vetro soda-calce offre un'eccellente planarità, uno spessore uniforme e una bassa rugosità superficiale, che lo rendono particolarmente adatto alla deposizione di film sottili/spessi, ai processi di rivestimento e alla ricerca sui MEMS.

Grazie alla sua superficie chimicamente stabile e non reattiva, i wafer di vetro soda-calce sono comunemente utilizzati come substrati di supporto meccanico per elettrodi conduttivi e film sottili funzionali.

Caratteristiche principali

• Elevata trasparenza ottica
  Trasmissione della luce visibile fino a 88-92%, adatta per applicazioni ottiche e display
• Superficie ultrapiatta
  Il processo di flottazione garantisce una superficie liscia ideale per il rivestimento e la litografia
• Alternativa conveniente
  Costo inferiore rispetto ai wafer di quarzo e borosilicato, ideale per l'utilizzo in grandi quantità
• Eccellente lavorabilità
  Facile da tagliare, lucidare, tagliare a cubetti, forare e sagomare in wafer personalizzati.
• Stabilità chimica
  Resistente all'acqua e agli acidi leggeri per ambienti di laboratorio e industriali in generale
• Opzioni di resistenza personalizzate
  Può essere rinforzato chimicamente o temprato termicamente

Applicazioni tipiche

• Deposizione di film sottili e spessi
• MEMS e microfabbricazione
• Dispositivi microfluidici
• Substrati di rivestimento ottico
• Piattaforme di sensori e rivelatori
• Ricerca e sviluppo di display e pannelli tattili
• Wafer per test di laboratorio

Specifiche dei wafer

Proprietà fisiche e termiche

Elaborazione e personalizzazione

Supportiamo la personalizzazione completa a livello di wafer:

• Taglio e ridimensionamento dei wafer
• Lucidatura a doppio lato (DSP)
• Lavorazione CNC
• Taglio laser
• Foratura / scanalatura
• Lucidatura dei bordi / Smussatura

Rivestimenti disponibili

• AR (antiriflesso)
• Rivestimento conduttivo ITO
• Rivestimenti metallici (Au, Al, Cr)
• Filtri dielettrici e ottici

Nota applicativa

I wafer di vetro soda-calce sono ampiamente utilizzati come substrati di riferimento in:

• Sviluppo del processo di rettifica e lucidatura
• Test di adesione su film sottile
• Valutazione dell'utensile e dello slurry

Le proprietà costanti dei materiali e il loro basso costo li rendono ideali per la calibrazione dei processi e la convalida sperimentale.

Vantaggi rispetto ad altri materiali per wafer

Nota importante

A causa del suo coefficiente di espansione termica più elevato, i wafer di vetro soda-calce non sono adatti per processi di semiconduttori ad alto shock termico o ad alta temperatura.

Per gli ambienti ad alta temperatura, si consigliano wafer in borosilicato o quarzo.

Fornitura standard

• Esempio: 100 pezzi (25 × 25 × 1,1 mm)
• Formati di wafer disponibili (rotondi / quadrati / personalizzati)
• Imballaggio per camera bianca supportato

FAQ - Cialde di vetro soda-calce

D1: I wafer di vetro soda-calce sono adatti ai processi MEMS?
R: Sì, i wafer di vetro soda-calce sono ampiamente utilizzati nella ricerca e nella prototipazione di MEMS, in particolare in applicazioni sensibili ai costi o a bassa temperatura. Le loro superfici lisce e piatte li rendono adatti alla deposizione di film sottili, alla litografia e agli esperimenti di microfabbricazione. Tuttavia, per i processi MEMS ad alta temperatura o per le applicazioni che richiedono un'estrema resistenza agli shock termici, possono essere preferiti wafer di borosilicato o di quarzo, grazie al loro minore coefficiente di espansione termica e ai punti di deformazione più elevati.

D2: Potete fornire la lucidatura a livello di wafer?
R: Sì, offriamo sia la lucidatura su un solo lato che quella su due lati (SSP/DSP) per i wafer di calce sodata. La lucidatura garantisce una planarità di livello ottico e una bassa rugosità superficiale, essenziali per la deposizione di film sottili di precisione e per le applicazioni ottiche. La rugosità e la planarità della superficie possono essere personalizzate in base ai requisiti di processo e sono disponibili opzioni aggiuntive come la lucidatura dei bordi, la smussatura e la smussatura per la manipolazione e l'assemblaggio nei processi a valle.

D3: I rivestimenti possono essere applicati sui wafer?
R: Assolutamente sì. Le cialde di calce sodata possono ricevere un'ampia gamma di rivestimenti, tra cui:

• Rivestimenti antiriflesso (AR) per una maggiore trasmissione della luce nelle applicazioni ottiche e di visualizzazione
• Rivestimenti conduttivi ITO per elettrodi o applicazioni di sensori
• Rivestimenti metallici (Au, Al, Cr, ecc.) per contatti elettrici o superfici riflettenti
• Rivestimenti di filtri dielettrici e ottici per il controllo specifico della lunghezza d'onda

Questi rivestimenti possono essere applicati su uno o due lati e gli spessori o i modelli possono essere personalizzati in base ai requisiti specifici di prestazione ottica o elettrica del progetto.

D4: Qual è la principale limitazione dei wafer di vetro soda-calce?
R: Il limite principale è la minore stabilità termica rispetto ai wafer di borosilicato o quarzo. Il vetro sodo-calcico ha un coefficiente di espansione termica più elevato (~9 × 10-⁶ /K) e un punto di rammollimento relativamente basso. Ciò lo rende più suscettibile di incrinarsi o deformarsi in caso di rapidi cambiamenti di temperatura o di processi ad alta temperatura. Per le applicazioni che prevedono cicli termici, incollaggi ad alta temperatura o shock termici estremi, si consigliano tipi di vetro alternativi, come i wafer di borosilicato o di quarzo. Ciononostante, i wafer di calce sodata rimangono altamente affidabili per i processi a temperatura ambiente o a bassa temperatura e rappresentano un substrato otticamente chiaro e conveniente per la prototipazione e la ricerca.