Soda-Lime-lasikiekot ohuita kalvoja ja MEMS-sovelluksia varten

Kalkkilasikiekot ovat kustannustehokas ja laajalti käytetty vaihtoehto borosilikaatti- ja kvartsikiekoille erityisesti sovelluksissa, joissa vaaditaan suurta optista kirkkautta, sileää pintaa ja alhaisia materiaalikustannuksia.

Float-lasiprosessilla valmistettu soodalasi tarjoaa erinomaisen tasaisuuden, tasaisen paksuuden ja alhaisen pinnankarheuden, minkä ansiosta se soveltuu erinomaisesti ohut/paksu kalvopinnoitukseen, pinnoitusprosesseihin ja MEMS-tutkimukseen.

Kemiallisesti stabiilin ja reagoimattoman pintansa vuoksi soodalasikiekkoja käytetään yleisesti mekaanisina tukialustoina johtaville elektrodeille ja toiminnallisille ohutkalvoille.

Tärkeimmät ominaisuudet

• Korkea optinen läpinäkyvyys
  Näkyvän valon läpäisy jopa 88-92%, sopii optisiin ja näyttösovelluksiin.
• Erittäin tasainen pinta
  Float-prosessi takaa sileän pinnan, joka on ihanteellinen pinnoitukseen ja litografiaan.
• Kustannustehokas vaihtoehto
  Pienemmät kustannukset kuin kvartsi- ja borosilikaattikiekot, ihanteellinen suurten määrien käyttöön.
• Erinomainen käsiteltävyys
  Helppo leikata, kiillottaa, kuutioida, porata ja muotoilla räätälöidyiksi kiekoiksi.
• Kemiallinen stabiilisuus
  Kestää vettä ja mietoja happoja yleisiin laboratorio- ja teollisuusympäristöihin.
• Mukautetut vahvuusvaihtoehdot
  Voidaan lujittaa kemiallisesti tai karkaista lämpökarkaistuna.

Tyypilliset sovellukset

• Ohuen / paksun kalvon laskeutuminen
• MEMS & mikrovalmistus
• Mikrofluidiset laitteet
• Optiset pinnoitussubstraatit
• Anturi- ja ilmaisinalustat
• Näytön ja kosketuspaneelin T&K
• Laboratoriotestikiekot

Waferin tekniset tiedot

Fysikaaliset ja termiset ominaisuudet

Jalostus & räätälöinti

Tuemme täysin kiekkotason räätälöintiä:

• Kiekkojen kuutiointi ja koon muuttaminen
• Kaksipuolinen kiillotus (DSP)
• CNC-työstö
• Laserleikkaus
• Reikien poraus / uritus
• Reunojen kiillotus / viistäminen

Saatavilla olevat pinnoitteet

• AR (heijastamaton)
• ITO-johtava pinnoite
• Metallipinnoitteet (Au, Al, Cr)
• Dielektriset ja optiset suodattimet

Sovellusmuistio

Sooda-kalkkilasikiekkoja käytetään laajalti referenssisubstraatteina:

• Hionta- ja kiillotusprosessin kehittäminen
• Ohuen kalvon tarttuvuuden testaus
• Työkalun ja lietteen arviointi

Niiden tasaiset materiaaliominaisuudet ja alhaiset kustannukset tekevät niistä ihanteellisia prosessikalibrointiin ja kokeelliseen validointiin.

Edut verrattuna muihin kiekkomateriaaleihin

Tärkeä huomautus

Suuremman lämpölaajenemiskertoimensa vuoksi soodalasikiekot eivät sovellu suuriin lämpöshokkeihin tai korkean lämpötilan puolijohdeprosesseihin.

Korkean lämpötilan ympäristöihin suositellaan borosilikaatti- tai kvartsikiekkoja.

Vakiotoimitus

• Esimerkki: 100 kpl (25 × 25 × 1,1 mm)
• Kiekkoformaatit saatavilla (pyöreä / neliö / mukautettu)
• Tuetut puhdastilapakkaukset

FAQ - Sooda-Lime lasikiekot Lasikiekot

Kysymys 1: Soveltuvatko soodalasikiekot MEMS-prosesseihin?
V: Kyllä, soodalasikiekkoja käytetään laajalti MEMS-tutkimuksessa ja prototyyppien valmistuksessa, erityisesti kustannusherkissä tai matalan lämpötilan sovelluksissa. Niiden sileät, tasaiset pinnat tekevät niistä sopivia ohutkalvojen laskeutumiseen, litografiaan ja mikrovalmistuskokeisiin. Korkean lämpötilan MEMS-prosesseissa tai sovelluksissa, joissa vaaditaan äärimmäistä lämpöshokkien kestävyyttä, voidaan kuitenkin suosia borosilikaatti- tai kvartsikiekkoja niiden alhaisemman lämpölaajenemiskertoimen ja korkeampien rasituspisteiden vuoksi.

Kysymys 2: Voitteko tarjota kiekkotason kiillotusta?
V: Kyllä, tarjoamme sekä yksi- että kaksipuoleista kiillotusta (SSP/DSP) soodakiekoille. Kiillotus varmistaa optisen tason tasaisuuden ja alhaisen pinnankarheuden, mikä on olennaista ohutkalvojen tarkkuuspinnoituksessa ja optisissa sovelluksissa. Pinnan karheus ja tasaisuus voidaan räätälöidä prosessivaatimusten mukaan, ja lisävaihtoehtoja, kuten reunojen kiillotus, viistäminen ja viistäminen, on saatavana käsittelyä ja kokoonpanoa varten jatkojalostusprosesseissa.

Kysymys 3: Voidaanko kiekkoihin levittää pinnoitteita?
V: Ehdottomasti. Soodakalkkikiekkoihin voidaan tehdä monenlaisia pinnoitteita, kuten:

• Heijastuksenestopinnoitteet (AR-pinnoitteet) optisten ja näyttösovellusten valonläpäisyn parantamiseksi
• ITO:n johtavat pinnoitteet elektrodeja tai anturisovelluksia varten
• Metallipinnoitteet (Au, Al, Cr jne.) sähköisiä kontakteja tai heijastavia pintoja varten.
• Dielektriset ja optiset suodatinpäällysteet aallonpituuskohtaista ohjausta varten

Nämä pinnoitteet voidaan levittää yhdelle tai kahdelle puolelle, ja paksuudet tai kuviot voidaan räätälöidä projektin erityisten optisten tai sähköisten suorituskykyvaatimusten mukaan.

Kysymys 4: Mikä on kalkkikarbonaattilasikiekkojen tärkein rajoitus?
V: Ensisijainen rajoitus on alhaisempi lämmönkestävyys verrattuna borosilikaatti- tai kvartsikiekkoihin. Soodalasilla on suurempi lämpölaajenemiskerroin (~9 × 10-⁶ /K) ja suhteellisen alhainen pehmenemispiste. Tämän vuoksi se on alttiimpi halkeilulle tai vääntymiselle nopeissa lämpötilan muutoksissa tai korkean lämpötilan prosesseissa. Sovelluksissa, joihin liittyy lämpösykliä, korkean lämpötilan liimausta tai äärimmäisiä lämpöshokkeja, suositellaan vaihtoehtoisia lasityyppejä, kuten borosilikaatti- tai kvartsikiekkoja. Tästä huolimatta soodakalkkikiekot ovat edelleen erittäin luotettavia huoneenlämpöisissä tai matalissa lämpötiloissa tapahtuvissa prosesseissa, ja ne tarjoavat edullisen, optisesti kirkkaan substraatin prototyyppien valmistukseen ja tutkimukseen.