Obleas de vidrio sodocálcico para aplicaciones MEMS y de capa fina

Las obleas de vidrio sodocálcico son una alternativa rentable y ampliamente utilizada a las obleas de borosilicato y cuarzo, especialmente en aplicaciones en las que se requiere una gran claridad óptica, una superficie lisa y un bajo coste de material.

Fabricado mediante el proceso de vidrio flotado, el vidrio sodocálcico ofrece una excelente planitud, un grosor uniforme y una baja rugosidad superficial, lo que lo hace muy adecuado para la deposición de películas finas/gruesas, los procesos de revestimiento y la investigación relacionada con MEMS.

Debido a su superficie químicamente estable y no reactiva, las obleas de vidrio sodocálcico se utilizan habitualmente como sustratos de soporte mecánico para electrodos conductores y películas finas funcionales.

Características principales

• Alta transparencia óptica
  Transmisión de luz visible de hasta 88-92%, adecuada para aplicaciones ópticas y de visualización
• Superficie ultraplana
  El proceso de flotación garantiza una superficie lisa ideal para el revestimiento y la litografía
• Alternativa rentable
  Menor coste que las obleas de cuarzo y borosilicato, ideal para grandes volúmenes
• Excelente procesabilidad
  Fácil de cortar, pulir, cortar en dados, perforar y dar forma a obleas personalizadas.
• Estabilidad química
  Resistente al agua y a los ácidos suaves para entornos generales de laboratorio e industriales
• Opciones de resistencia personalizadas
  Puede reforzarse químicamente o templarse térmicamente

Aplicaciones típicas

• Deposición de capas finas y gruesas
• MEMS y microfabricación
• Dispositivos microfluídicos
• Sustratos de revestimiento óptico
• Plataformas de sensores y detectores
• I+D en pantallas y paneles táctiles
• Obleas para pruebas de laboratorio

Especificaciones de las obleas

Propiedades físicas y térmicas

Procesamiento y personalización

Admitimos la personalización completa a nivel de oblea:

• Cortado y redimensionado de obleas
• Pulido de doble cara (DSP)
• Mecanizado CNC
• Corte por láser
• Taladrado / Ranurado
• Pulido de cantos / Biselado

Recubrimientos disponibles

• AR (Antirreflejos)
• Revestimiento conductor ITO
• Recubrimientos metálicos (Au, Al, Cr)
• Filtros dieléctricos y ópticos

Nota de aplicación

Las obleas de vidrio sodocálcico se utilizan ampliamente como sustratos de referencia en:

• Desarrollo del proceso de esmerilado y pulido
• Pruebas de adherencia de películas finas
• Evaluación de herramientas y lodos

Sus propiedades consistentes y su bajo coste las hacen ideales para la calibración de procesos y la validación experimental.

Ventajas frente a otros materiales para obleas

Nota importante

Debido a su mayor coeficiente de dilatación térmica, las obleas de vidrio sodocálcico no son adecuadas para procesos de semiconductores de alto choque térmico o alta temperatura.

Para entornos de alta temperatura, se recomiendan obleas de borosilicato o cuarzo.

Suministro estándar

• Ejemplo: 100 piezas (25 × 25 × 1,1 mm)
• Formatos de oblea disponibles (redondo / cuadrado / personalizado)
• Embalaje para salas blancas

FAQ - Obleas de vidrio sodocálcico

P1: ¿Son adecuadas las obleas de vidrio sodocálcico para los procesos MEMS?
R: Sí, las obleas de vidrio sodocálcico se utilizan mucho en la investigación y la creación de prototipos de MEMS, sobre todo en aplicaciones sensibles a los costes o a bajas temperaturas. Sus superficies lisas y planas las hacen adecuadas para la deposición de películas finas, la litografía y los experimentos de microfabricación. Sin embargo, para procesos MEMS a alta temperatura o aplicaciones que requieran una resistencia extrema a los choques térmicos, pueden ser preferibles las obleas de borosilicato o cuarzo, debido a su menor coeficiente de expansión térmica y a sus puntos de deformación más elevados.

P2: ¿Pueden ofrecer pulido a nivel de oblea?
R: Sí, ofrecemos pulido por una cara y por las dos caras (SSP/DSP) para obleas sodocálcicas. El pulido garantiza una planitud de grado óptico y una baja rugosidad superficial, lo que resulta esencial para la deposición de películas finas de precisión y las aplicaciones ópticas. La rugosidad y planitud de la superficie pueden personalizarse en función de los requisitos de su proceso, y se dispone de opciones adicionales como pulido de bordes, biselado y biselado para la manipulación y montaje en procesos posteriores.

P3: ¿Se pueden aplicar revestimientos sobre las obleas?
R: Por supuesto. Las obleas sodocálcicas pueden recibir una amplia gama de revestimientos, entre ellos:

• Revestimientos antirreflejos (AR) para mejorar la transmisión de la luz en aplicaciones ópticas y de visualización
• Recubrimientos conductores ITO para electrodos o sensores
• Recubrimientos metálicos (Au, Al, Cr, etc.) para contactos eléctricos o superficies reflectantes
• Revestimientos de filtros dieléctricos y ópticos para el control específico de la longitud de onda

Estos revestimientos pueden aplicarse a una o dos caras, y los grosores o patrones pueden personalizarse en función de los requisitos específicos de rendimiento óptico o eléctrico de su proyecto.

P4: ¿Cuál es la principal limitación de las obleas de vidrio sodocálcico?
R: La principal limitación es la menor estabilidad térmica en comparación con las obleas de borosilicato o cuarzo. El vidrio sodocálcico tiene un mayor coeficiente de dilatación térmica (~9 × 10-⁶ /K) y un punto de reblandecimiento relativamente bajo. Esto hace que sea más susceptible de agrietarse o alabearse en caso de cambios rápidos de temperatura o procesos a alta temperatura. Para aplicaciones que impliquen ciclos térmicos, uniones a alta temperatura o choques térmicos extremos, se recomiendan otros tipos de vidrio, como el borosilicato o las obleas de cuarzo. A pesar de ello, las obleas sodocálcicas siguen siendo muy fiables para procesos a temperatura ambiente o baja temperatura y ofrecen un sustrato asequible y ópticamente claro para la creación de prototipos y la investigación.