Kalk-Natron-Glas-Wafer für Dünnschicht- und MEMS-Anwendungen

Kalk-Natron-Glasscheiben sind eine kostengünstige und weit verbreitete Alternative zu Borosilikat- und Quarzscheiben, insbesondere bei Anwendungen, die eine hohe optische Klarheit, eine glatte Oberfläche und geringe Materialkosten erfordern.

Das im Floatglasverfahren hergestellte Kalknatronglas zeichnet sich durch hervorragende Ebenheit, gleichmäßige Dicke und geringe Oberflächenrauhigkeit aus und eignet sich daher hervorragend für die Abscheidung von Dünn- und Dickschichten, Beschichtungsverfahren und die MEMS-Forschung.

Aufgrund ihrer chemisch stabilen und nicht reaktiven Oberfläche werden Kalk-Natron-Glasscheiben häufig als mechanische Trägersubstrate für leitfähige Elektroden und funktionelle dünne Schichten verwendet.

Wesentliche Merkmale

• Hohe optische Transparenz
  Sichtbare Lichtdurchlässigkeit bis zu 88-92%, geeignet für optische und Display-Anwendungen
• Ultraflache Oberfläche
  Das Float-Verfahren gewährleistet eine glatte Oberfläche, die sich ideal für Beschichtung und Lithografie eignet.
• Kosteneffiziente Alternative
  Kostengünstiger als Quarz- und Borsilikatscheiben, ideal für den Einsatz in großen Stückzahlen
• Hervorragende Verarbeitbarkeit
  Einfaches Schneiden, Polieren, Würfeln, Bohren und Formen zu kundenspezifischen Wafern
• Chemische Beständigkeit
  Beständig gegen Wasser und milde Säuren für allgemeine Labor- und Industrieumgebungen
• Benutzerdefinierte Stärkeoptionen
  Kann chemisch verfestigt oder thermisch gehärtet werden

Typische Anwendungen

• Dünn-/Dickschichtabscheidung
• MEMS & Mikrofabrikation
• Mikrofluidische Geräte
• Substrate für optische Beschichtungen
• Sensor- und Detektorplattformen
• F&E im Bereich Display & Touchpanel
• Labor-Test-Wafer

Wafer-Spezifikationen

Physikalische und thermische Eigenschaften

Verarbeitung & Anpassung

Wir unterstützen die vollständige Anpassung auf Waferebene:

• Wafer Dicing & Resizing
• Doppelseitiges Polieren (DSP)
• CNC-Bearbeitung
• Laserschneiden
• Bohren / Schlitzen von Löchern
• Kantenpolieren / Anfasen

Verfügbare Beschichtungen

• AR (Antireflektierend)
• ITO-Leitfähige Beschichtung
• Metallbeschichtungen (Au, Al, Cr)
• Dielektrische und optische Filter

Anwendungshinweis

Kalk-Natron-Glasscheiben werden in vielen Bereichen als Referenzsubstrate verwendet:

• Entwicklung von Schleif- und Polierverfahren
• Prüfung der Dünnschichthaftung
• Bewertung von Werkzeugen und Schlämmen

Aufgrund ihrer konsistenten Materialeigenschaften und geringen Kosten sind sie ideal für die Prozesskalibrierung und experimentelle Validierung.

Vorteile gegenüber anderen Wafer-Materialien

Wichtiger Hinweis

Aufgrund ihres höheren Wärmeausdehnungskoeffizienten sind Kalk-Natron-Glasscheiben nicht für hohe Temperaturschocks oder Hochtemperatur-Halbleiterprozesse geeignet.

Für Hochtemperaturumgebungen werden Borosilikat- oder Quarzscheiben empfohlen.

Standardversorgung

• Beispiel: 100 Stück (25 × 25 × 1,1 mm)
• Waffelformate verfügbar (rund / quadratisch / kundenspezifisch)
• Reinraumverpackungen unterstützt

FAQ - Kalk-Natron-Glaswaffeln

Q1: Sind Kalk-Natron-Glas-Wafer für MEMS-Prozesse geeignet?
A: Ja, Kalk-Natron-Glas-Wafer werden in der MEMS-Forschung und beim Prototyping häufig verwendet, insbesondere bei kostensensiblen oder Niedrigtemperaturanwendungen. Aufgrund ihrer glatten, flachen Oberflächen eignen sie sich für die Abscheidung von Dünnschichten, die Lithografie und Experimente zur Mikrofabrikation. Für Hochtemperatur-MEMS-Prozesse oder Anwendungen, die eine extreme Temperaturwechselbeständigkeit erfordern, können jedoch Borosilikat- oder Quarzscheiben aufgrund ihres geringeren Wärmeausdehnungskoeffizienten und ihrer höheren Dehnungspunkte bevorzugt werden.

F2: Können Sie Polieren auf Wafer-Ebene anbieten?
A: Ja, wir bieten sowohl einseitiges als auch beidseitiges Polieren (SSP/DSP) für Kalk-Natron-Wafer an. Das Polieren gewährleistet eine optisch hochwertige Ebenheit und eine geringe Oberflächenrauhigkeit, was für die Präzisionsabscheidung von Dünnschichten und optische Anwendungen unerlässlich ist. Oberflächenrauheit und Ebenheit können entsprechend Ihren Prozessanforderungen angepasst werden, und für die Handhabung und Montage in nachgelagerten Prozessen sind zusätzliche Optionen wie Kantenpolieren, Abschrägen und Anfasen erhältlich.

F3: Können Beschichtungen auf Wafern aufgebracht werden?
A: Auf jeden Fall. Kalk-Natron-Waffeln können mit einer Vielzahl von Beschichtungen versehen werden, darunter:

• Antireflexionsbeschichtungen (AR) für verbesserte Lichtdurchlässigkeit in optischen und Display-Anwendungen
• Leitfähige ITO-Beschichtungen für Elektroden oder Sensoranwendungen
• Metallbeschichtungen (Au, Al, Cr, usw.) für elektrische Kontakte oder reflektierende Oberflächen
• Dielektrische und optische Filterbeschichtungen für wellenlängenspezifische Kontrolle

Diese Beschichtungen können ein- oder doppelseitig aufgebracht werden, und die Dicken oder Muster können entsprechend den spezifischen optischen oder elektrischen Leistungsanforderungen Ihres Projekts angepasst werden.

F4: Was ist die wichtigste Einschränkung von Kalknatronglasscheiben?
A: Die wichtigste Einschränkung ist die geringere thermische Stabilität im Vergleich zu Borosilikat- oder Quarzglasscheiben. Kalknatronglas hat einen höheren Wärmeausdehnungskoeffizienten (~9 × 10-⁶ /K) und einen relativ niedrigen Erweichungspunkt. Dies macht es anfälliger für Risse oder Verformungen bei schnellen Temperaturänderungen oder Hochtemperaturprozessen. Für Anwendungen, die Temperaturwechsel, Hochtemperaturverklebungen oder extreme Temperaturschocks erfordern, werden alternative Glastypen wie Borosilikat- oder Quarzscheiben empfohlen. Dennoch sind Kalk-Natron-Wafer für Prozesse bei Raumtemperatur oder niedrigen Temperaturen sehr zuverlässig und bieten ein erschwingliches, optisch klares Substrat für Prototyping und Forschung.