Skleněné plátky ze sodnodraselného skla pro tenké vrstvy a aplikace MEMS

Destičky ze sodnovápenatého skla jsou cenově výhodnou a široce používanou alternativou borosilikátových a křemenných destiček, zejména v aplikacích, kde je vyžadována vysoká optická čistota, hladký povrch a nízké náklady na materiál.

Destičky ze sodnovápenatého skla jsou cenově výhodnou a široce používanou alternativou borosilikátových a křemenných destiček, zejména v aplikacích, kde je vyžadována vysoká optická čistota, hladký povrch a nízké náklady na materiál.

Sodnovápenaté sklo, vyráběné procesem float glass, poskytuje vynikající rovinnost, rovnoměrnou tloušťku a nízkou drsnost povrchu, takže je velmi vhodné pro nanášení tenkých/tlustých vrstev, povlakování a výzkum MEMS.

Díky svému chemicky stabilnímu a nereaktivnímu povrchu se destičky ze sodnovápenatého skla běžně používají jako mechanické nosné substráty pro vodivé elektrody a funkční tenké vrstvy.

Klíčové vlastnosti

  • Vysoká optická průhlednost
    Propustnost viditelného světla až 88-92%, vhodné pro optické a zobrazovací aplikace
  • Velmi plochý povrch
    Proces Float zajišťuje hladký povrch ideální pro nanášení povlaků a litografii
  • Nákladově efektivní alternativa
    Nižší cena než u křemenných a borosilikátových destiček, ideální pro velkoobjemové použití.
  • Vynikající zpracovatelnost
    Snadné řezání, leštění, krájení na kostky, vrtání a tvarování do vlastních destiček.
  • Chemická stabilita
    Odolnost vůči vodě a mírným kyselinám pro běžné laboratorní a průmyslové prostředí.
  • Vlastní možnosti síly
    Lze chemicky zpevnit nebo tepelně vytvrdit.

Typické aplikace

  • Nanášení tenkých / tlustých vrstev
  • MEMS a mikrovýroba
  • Mikrofluidní zařízení
  • Substráty s optickým povlakem
  • Platformy senzorů a detektorů
  • Výzkum a vývoj displejů a dotykových panelů
  • Laboratorní testovací plátky

Specifikace oplatek

Parametr Hodnota
Materiál Sklenice na sodovku a vápno
Průměr 2” / 3” / 4” / 6” (na přání)
Tloušťka 0,5 mm - 3 mm (přizpůsobitelné)
Povrchová úprava Leštěné / oboustranně leštěné
Plochost K dispozici na vyžádání
Typ hrany Zaoblené / zkosené
Transparentnost 88-92%
Index lomu 1.51-1.52

Fyzikální a tepelné vlastnosti

Majetek Hodnota
Hustota 2,5 g/cm³
Youngův modul 70-75 GPa
Tvrdost (Mohs) ~6.5
Tepelná vodivost 0,95 W/m-K
CTE ~9 × 10-⁶ /K
Bod napětí ~500°C
Rozsah žíhání 480-585°C
Bod měknutí 585-740°C

Zpracování a přizpůsobení

Podporujeme úplné přizpůsobení na úrovni waferu:

  • Dělení a změna velikosti destiček
  • Oboustranné leštění (DSP)
  • CNC obrábění
  • Řezání laserem
  • Vrtání otvorů / drážkování
  • Leštění hran / zkosení

Dostupné nátěry

  • AR (antireflexní)
  • Vodivý povlak ITO
  • Kovové povlaky (Au, Al, Cr)
  • Dielektrické a optické filtry

Aplikační poznámka

Destičky ze sodnovápenatého skla jsou široce používány jako referenční substráty v:

  • Vývoj procesu broušení a leštění
  • Zkoušky přilnavosti tenké vrstvy
  • Hodnocení nástrojů a kalů

Díky svým konzistentním materiálovým vlastnostem a nízké ceně jsou ideální pro kalibraci procesů a experimentální ověřování.

Výhody oproti jiným materiálům pro výrobu destiček

Majetek Limetkovo-sodové oplatky Borosilikátová destička Křemenná destička
Náklady ⭐ Nízká Střední Vysoká
Tepelná odolnost Mírná Vysoká Velmi vysoká
Zpracovatelnost Vynikající Dobrý Obtížné
Optická kvalita Dobrý Velmi dobré Vynikající

Důležité upozornění

Vzhledem k vyššímu koeficientu tepelné roztažnosti nejsou destičky ze sodnovápenatého skla vhodné pro vysoké tepelné šoky nebo vysokoteplotní polovodičové procesy.

Pro prostředí s vysokými teplotami se doporučují borosilikátové nebo křemenné destičky.

Standardní dodávky

  • Příklad: 100 ks (25 × 25 × 1,1 mm)
  • Dostupné formáty oplatek (kulaté / čtvercové / vlastní)
  • Podpora balení do čistých prostor

Často kladené otázky - Skleněné plátky sody a vápna

Otázka 1: Jsou destičky ze sodnovápenatého skla vhodné pro procesy MEMS?
Odpověď: Ano, destičky ze sodnovápenatého skla se široce používají ve výzkumu a prototypování MEMS, zejména v aplikacích citlivých na náklady nebo při nízkých teplotách. Jejich hladký a rovný povrch je vhodný pro nanášení tenkých vrstev, litografii a experimenty s mikrofabrikací. Pro vysokoteplotní procesy MEMS nebo aplikace vyžadující extrémní odolnost proti teplotním šokům však mohou být upřednostňovány borosilikátové nebo křemenné destičky díky jejich nižšímu koeficientu tepelné roztažnosti a vyšším bodům deformace.

Otázka 2: Můžete zajistit leštění na úrovni destiček?
Odpověď: Ano, nabízíme jednostranné i oboustranné leštění (SSP/DSP) pro sodnovápenaté destičky. Leštění zajišťuje optickou rovinnost a nízkou drsnost povrchu, což je nezbytné pro přesné nanášení tenkých vrstev a optické aplikace. Drsnost a rovinnost povrchu lze přizpůsobit podle požadavků procesu a k dispozici jsou i další možnosti, jako je leštění hran, zkosení a zkosení pro manipulaci a montáž v navazujících procesech.

Otázka 3: Lze na destičky nanášet povlaky?
Odpověď: Určitě. Na sodno-vápenaté destičky lze nanášet širokou škálu povlaků, včetně:

  • Antireflexní (AR) povlaky pro lepší propustnost světla v optických a zobrazovacích aplikacích
  • Vodivé povlaky ITO pro elektrody nebo senzory
  • Kovové povlaky (Au, Al, Cr atd.) pro elektrické kontakty nebo reflexní povrchy
  • Povlaky dielektrických a optických filtrů pro regulaci specifické vlnové délky

Tyto povlaky lze nanášet jednostranně nebo oboustranně a jejich tloušťku nebo vzor lze přizpůsobit specifickým požadavkům na optický nebo elektrický výkon vašeho projektu.

Otázka 4: Jaké je hlavní omezení sodnovápenatých skleněných destiček?
Odpověď: Hlavním omezením je nižší tepelná stabilita ve srovnání s borosilikátovými nebo křemennými destičkami. Sodnovápenaté sklo má vyšší koeficient tepelné roztažnosti (~9 × 10-⁶ /K) a relativně nízký bod měknutí. Díky tomu je náchylnější k praskání nebo deformacím při rychlých změnách teploty nebo vysokoteplotních procesech. Pro aplikace zahrnující tepelné cykly, vysokoteplotní lepení nebo extrémní tepelné šoky se doporučují alternativní typy skla, jako jsou borosilikátové nebo křemenné destičky. Přesto zůstávají sodnovápenaté destičky vysoce spolehlivé pro procesy při pokojové teplotě nebo nízkých teplotách a představují cenově dostupný, opticky čistý substrát pro výrobu prototypů a výzkum.

Recenze

Zatím zde nejsou žádné recenze.

Buďte první, kdo ohodnotí „Soda-Lime Glass Wafers for Thin Film & MEMS Applications“

Vaše e-mailová adresa nebude zveřejněna. Vyžadované informace jsou označeny *

Nákupní košík
Přejít nahoru