這些高純度石英玻璃板採用先進的熔融與急速冷卻技術,由超純二氧化矽(SiO₂ ≥ 99.99%)精密製成。 由此製成的熔融石英具備卓越的光學透明度、熱穩定性及耐化學性。根據純度與光學性能,這些玻璃板分為三個等級:JGS1、JGS2 及 JGS3。.
光學等級
JGS1 – 遠紫外光用熔融石英
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羥基含量高(約 2000 ppm)
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卓越的紫外線透射率,在 185 奈米波長下超過 90%
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適用於 185–2500 nm 波長範圍
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應用領域:深紫外(DUV)光刻透鏡、太空望遠鏡鏡面、紫外(UV)雷射準直器
JGS2 – 紫外線級熔融石英
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透過氣體精煉,以結晶狀原料製成
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金屬雜質含量為數十 ppm,羥基含量為 100–200 ppm
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透射波長範圍 220–2500 奈米
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應用領域:消費性光學產品,例如相機鏡頭、投影機棱鏡、顯微鏡物鏡
JGS3 – 紅外光學熔融石英
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採用高純度石英砂或結晶材料,透過真空電熔法製成
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羥基含量極低,且氣泡可忽略不計
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紅外線透射率 >85%,適用於 260–3500 nm 波長範圍
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應用領域:紅外線熱成像視窗、二氧化碳雷射聚光鏡、飛彈紅外線尋標器穹頂
主要功能
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熱穩定性:軟化點 1683°C、退火點 1215°C、應變點 1120°C
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精密加工: 多階段梯度退火可降低內部應力;磁流變拋光可達到 Ra <0.5 nm
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塗層選項: 抗反射(AR)、高反射(HR)及抗腐蝕塗層
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耐化學性: 對水及大多數酸(氫氟酸除外)具有極高的耐受性
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機械性能: 莫氏硬度 5.5–6.5,楊氏模量 7.2×10¹⁰ Pa
應用
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高端光學系統: DUV 光刻透鏡、UV 準直器、太空望遠鏡鏡片
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半導體製造:光罩基板、晶圓處理載具、高溫擴散爐組件
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雷射技術: Nd:YAG 雷射鏡片、CO₂ 雷射透射元件
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航太: 太空船光學舷窗、高超音速飛彈的紅外線尋標器穹頂
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特殊照明: 高純度紫外線燈、汞燈燈體
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科學研究: 同步輻射光束線窗口、切倫科夫粒子探測器
標準規格
| 財產 | 價值 |
|---|---|
| 密度 | 2.20 克/立方公分 |
| 阿貝數 | 67.6 |
| 折射率(588 nm) | 1.4586 |
| 硬度 | 5.5–6.5 莫氏硬度 |
| 設計抗拉強度 | 4.8×10⁷ 帕 |
| 設計抗壓強度 | >1.1×10⁹ 帕 |
| 楊氏模數 | 7.2×10¹⁰ 帕 |
| 泊松比 | 0.17 |
| 熱膨脹係數 | 5.5×10⁻⁷ 公分/公分·℃ |
| 熱傳導 | 1.4 瓦/米·攝氏度 |
| 軟化點 | 1683℃ |
| 退火點 | 1215℃ |
| 應變點 | 1120℃ |
| 電阻率 | 7×10⁷ 歐姆·公分(350℃) |
| 化學穩定性 | 具有極佳的耐水性與耐酸性,唯氫氟酸(HF)除外 |
常見問題
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JGS1、JGS2 和 JGS3 之間有什麼區別?
JGS1 在 185 nm 波長下提供 >90% 的紫外線透射率,OH 含量為 2000 ppm; JGS2 在 100–200 ppm OH 濃度下提供 220–2500 nm 的透射率,而 JGS3 則在 OH 含量接近零的情況下,提供 >85% 的紅外線透射率。. -
哪種等級適合用於紫外線雷射應用?
由於 JGS1 在 185 nm 波長下的 >90% 透射率,以及 15 J/cm² 的高雷射損傷閾值,因此非常適合用於紫外線雷射。.










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