ฟูยาโอ ควอตซ์ เชี่ยวชาญในการผลิตแผ่นเวเฟอร์แก้วบริสุทธิ์สูง BF33 / BOROFLOAT 33 ซึ่งเป็นวัสดุฐานบอโรซิลิเกตคุณภาพสูงที่ใช้กันอย่างแพร่หลายในเซมิคอนดักเตอร์, MEMS, ออปติคอล, และไมโครฟลูอิดิกผลิตผ่านกระบวนการไมโครโฟลัตของ SCHOTT, แผ่นเวเฟอร์ BF33 มีคุณสมบัติการขยายตัวทางความร้อนต่ำ (~3.3 ppm/°C), ความชัดเจนทางแสงสูง, ความต้านทานต่อการกระแทกทางความร้อน, และความเฉื่อยทางเคมี ทำให้เหมาะสำหรับการเชื่อมติดอย่างแม่นยำกับซิลิกอนและกระบวนการขั้นสูงอื่น ๆ.
เวเฟอร์ BF33 ได้รับการยอมรับอย่างแพร่หลายในกระบวนการโฟโตลิโธกราฟี การเชื่อมต่อแบบแอโนดิก อุปกรณ์แล็บออนชิป ออปติกเลเซอร์ และระบบออปติกที่ทำงานในอุณหภูมิสูง โดยมอบประสิทธิภาพและความน่าเชื่อถือที่ยอดเยี่ยมภายใต้สภาวะการใช้งานที่เข้มงวดทั้งในอุตสาหกรรมและวิทยาศาสตร์.
องค์ประกอบของวัสดุและสมบัติ
| ทรัพย์สิน | ข้อกำหนด |
|---|---|
| ปริมาณซิลิกอนไดออกไซด์ | >80% |
| ปริมาณ B₂O₃ | ปรับให้เหมาะสมสำหรับการขยายตัวทางความร้อนต่ำ |
| CTE (20–300°C) | ประมาณ 3.3 × 10⁻⁶ /K |
| จุดเครียด | 520°C |
| จุดอบอ่อน | 560°C |
| จุดอ่อนตัว | 820°C |
| ความต้านทานต่อความช็อกทางความร้อน | ยอดเยี่ยม |
| การส่งผ่านแสง | >90% (UV–NIR) |
| ผิวสำเร็จ | DSP/SSP, Ra <1 nm |
| ความต้านทานต่อสารเคมี | น้ำและกรด ISO Class 1, ด่าง ISO Class 2 |
| ความแข็ง | ประมาณ 480 เหรียญฮ่องกง |
ข้อได้เปรียบหลัก:
-
ความเข้ากันได้ทางความร้อนกับซิลิคอน: เหมาะสำหรับการยึดติดแบบแอโนดิกโดยไม่เกิดความเครียดหรือการเสียรูป.
-
ความใสทางแสงสูง: ความโปร่งใส UV–NIR สำหรับเลเซอร์, โฟโตนิกส์ และเซ็นเซอร์.
-
ความทนทานทางเคมี: ทนต่อกรด, ด่าง, และตัวทำละลาย สำหรับกระบวนการในห้องสะอาด.
-
ความแข็งแรงเชิงกล: ทนต่อการขัดถูสูง เหมาะอย่างยิ่งสำหรับการจัดการเซมิคอนดักเตอร์และอุปกรณ์ MEMS.
-
พื้นผิวความแม่นยำสูง: แผ่นเวเฟอร์ขัดเงาที่มีค่า TTV ต่ำสำหรับการผลิตไมโครที่มีความแม่นยำและการจัดแนวทางแสง.
การใช้งานหลัก
-
เซมิคอนดักเตอร์และ MEMS: แผ่นเวเฟอร์สำหรับพาหะ, การลดความหนาของเวเฟอร์, การยึดติดแบบแอโนดิก, อุปกรณ์ไมโครฟลูอิดิก.
-
ระบบออปติคอลและโฟโตนิก: เลเซอร์ออปติก, กระจก, ตัวกรอง, หน้าต่างออปติคอลทนความร้อนสูง.
-
เครื่องมือวิเคราะห์และชีวการแพทย์: ชิปชีวภาพ, แผ่นวินิจฉัย, ระบบไทเทรต.
-
สภาพแวดล้อมอุตสาหกรรมและอุณหภูมิสูง: หน้าต่างเตาเผา, กระจกมอง, ฝาครอบไฟสปอตไลท์.
-
เทคโนโลยีพลังงานและสิ่งแวดล้อม: วัสดุรองรับเซลล์แสงอาทิตย์, เซ็นเซอร์ไมโครฟลูอิดิก.
-
อวกาศและการป้องกัน: แผงออปติค, หน้าต่างเซ็นเซอร์, ออปติกเกรดอวกาศ.
ตัวเลือกพื้นผิวและการผลิต
-
การขัดเงา: ขัดเงาทั้งสองด้าน (DSP) หรือขัดเงาด้านเดียว (SSP) โดยมีค่า Ra <1 nm.
-
ความหนา & เส้นผ่านศูนย์กลาง: ปรับแต่งได้ตามการใช้งาน.
-
สารเคลือบ: สารเคลือบป้องกันการสะท้อน (AR), สารเคลือบสะท้อนแสง (HR), สารเคลือบสำหรับความยาวคลื่นเฉพาะ.
-
ความทนทาน: TTV ที่แน่น (<10 µm), รอยขีดข่วน/รอยขุด 60/40 หรือสูงกว่าตามคำขอ.
ทำไมต้องเลือกเวเฟอร์ BF33 ของเรา?
-
ประสบการณ์หลายทศวรรษในการผลิตแก้วสำหรับอุปกรณ์ออปติคัลและเซมิคอนดักเตอร์.
-
การควบคุมคุณภาพอย่างเข้มงวดเพื่อความสม่ำเสมอในคุณสมบัติทางความร้อน, ทางเคมี, และทางแสง.
-
ปรับแต่งได้อย่างยืดหยุ่นเพื่อตอบสนองความต้องการทางอุตสาหกรรม วิทยาศาสตร์ และการวิจัยและพัฒนา.
-
การสนับสนุนทางเทคนิคที่ครอบคลุมและเครือข่ายการจัดส่งทั่วโลก.
คำถามที่พบบ่อย (FAQ)
Q1: กระจก BF33 คืออะไร?
A1: BF33 หรือที่เรียกว่า BOROFLOAT 33 เป็นแผ่นกระจกบอโรซิลิเกตคุณภาพสูงที่มีการขยายตัวทางความร้อนต่ำ (~3.3 ppm/°C) มีความทนทานต่อสารเคมีที่ยอดเยี่ยม และมีความโปร่งใสทางแสงสูง เหมาะอย่างยิ่งสำหรับการใช้งานในเซมิคอนดักเตอร์, MEMS และออปติคอล.
คำถามที่ 2: BF33 เปรียบเทียบกับกระจกธรรมดาอย่างไร?
A2: BF33 มีปริมาณซิลิกาสูง (>80%) และบอโรซิลิเกต ทำให้มีการขยายตัวทางความร้อนต่ำ ทนต่อสารเคมีได้ดีเยี่ยม การส่งผ่านแสง UV/NIR ที่เหนือกว่า และความแข็งแรงทางกลสูงกว่ากระจกโซดา-lime ทำให้เหมาะสำหรับการใช้งานในอุตสาหกรรมที่ต้องการความทนทานสูง.
คำถามที่ 3: สามารถขัดแผ่นเวเฟอร์ BF33 ได้หรือไม่?
A3: ใช่ FUYAO QUARTZ ให้บริการเวเฟอร์ DSP และ SSP ที่มีผิวเรียบละเอียดระดับซับนาโนเมตร (<1 nm Ra) และค่า TTV ต่ำ (<10 µm) ซึ่งจำเป็นสำหรับการยึดติดเวเฟอร์, การถ่ายภาพด้วยแสง, และระบบออปติคที่มีความแม่นยำสูง.
Q4: อุตสาหกรรมใดบ้างที่ใช้เวเฟอร์ BF33?
A4: การผลิตเซมิคอนดักเตอร์, อุปกรณ์ MEMS, ไมโครฟลูอิดิกส์, โฟโตนิกส์, ออปติกส์เลเซอร์, เครื่องมือวิเคราะห์, อุปกรณ์ชีวการแพทย์, อวกาศ, พลังงาน, และการตรวจสอบสิ่งแวดล้อม.
รีวิว
ยังไม่มีบทวิจารณ์