Пластины из высокопрочного боросиликатного стекла (3.3)
Пластины из высокоборосиликатного стекла - это прецизионные подложки, широко используемые в полупроводниковых, МЭМС и оптических приложениях. Известные своим низким коэффициентом теплового расширения (~3,3 × 10-⁶/K), отличной химической стабильностью и высокой прозрачностью, эти пластины являются надежной и экономически эффективной альтернативой таким материалам, как плавленый кварц и кварц, в среднетемпературных средах.
Изготовленные по технологии флоат-стекла, боросиликатные пластины имеют равномерную толщину, превосходную плоскостность и низкое внутреннее напряжение, что делает их идеальными для высокоточных процессов микрофабрикации и склеивания.
Состав основных материалов
Высокопрочное боросиликатное стекло обычно состоит из:
- Диоксид кремния (SiO₂): ~75-80%
- Триоксид бора (B₂O₃): ~12-15%
- Оксид алюминия (Al₂O₃): небольшой процент
- Оксиды щелочных металлов с низким содержанием щелочи (<5%)
Этот оптимизированный состав обеспечивает повышенную термическую стабильность и химическую стойкость по сравнению с обычным содово-известковым стеклом.
Ключевые преимущества
Пластины из боросиликатного стекла обладают рядом преимуществ:
- Низкое тепловое расширение - идеально подходит для склеивания кремния и МЭМС-структур
- Отличная устойчивость к термоударам - ΔT до ~120-150°C (в зависимости от толщины)
- Высокая оптическая прозрачность - подходит для оптических и фотонных приложений
- Сильная химическая стойкость - устойчивость к кислотам и большинству химических веществ
- Высокая плоскостность и качество поверхности - поддержка микро- и наномасштабного производства
- Экономичность - для многих областей применения более экономичен, чем кварц или плавленый кварц.
Производственный процесс
Боросиликатные пластины производятся методом флоат-стекла, при котором расплавленное стекло перетекает через ванну с расплавленным оловом, образуя гладкий однородный лист. Затем материал подвергается:
- Постепенное охлаждение (отжиг) для устранения внутренних напряжений
- Резка по заданным размерам пластин
- Прецизионная шлифовка и полировка (односторонняя или двухсторонняя)
Этот процесс обеспечивает превосходное качество поверхности, жесткий контроль толщины и низкую плотность дефектов.
Технические характеристики
| Параметр | Ассортимент / опции |
|---|---|
| Диаметр | 2” - 12” |
| Толщина | 0,2 - 1,1 мм (по заказу) |
| Поверхность | SSP / DSP |
| Шероховатость | Ra < 1,5 нм |
| Плоскость (TTV) | < 10 мкм (типично) |
| Форма | Круглые / квадратные / нестандартные |
Типовые применения
1. Полупроводники и МЭМС
- Приклеивание пластин к кремнию (анодное приклеивание)
- МЭМС-устройства и микродатчики
- Подложки для упаковки ИС
2. Микрофлюидика и биотехнологии
- Устройства "лаборатория на кристалле
- Микрофлюидические каналы
- Платформы для биомедицинского анализа
3. Оптические и фотонные системы
- Оптические окна и подложки
- Компоненты объектива и призмы
- Прозрачные пластины-носители
4. Промышленное и научное оборудование
- Высокотемпературные смотровые окна
- Лабораторное оборудование и аналитические приборы
Сравнение: Боросиликатное и содово-известковое стекло
| Недвижимость | Боросиликатное стекло | Стакан с содовой |
|---|---|---|
| Тепловое расширение | Низкий (~3,3×10-⁶/K) | Высокий |
| Устойчивость к тепловому удару | Превосходно | Бедный |
| Химическая стойкость | Высокий | Умеренный |
| Стоимость | Средний | Низкий |
| Приложения | МЭМС, оптика, лаборатория | Бутылки, окна |
Почему стоит выбрать наши пластины из боросиликатного стекла
- Стабильные поставки от ведущих производителей стекла
- Возможности прецизионной обработки и полировки
- Возможны нестандартные размеры, толщина и отделка поверхности
- Строгий контроль качества и упаковка в чистом помещении (класс 100 / ISO 5)
- Быстрая доставка для стандартных спецификаций
ЧАСТО ЗАДАВАЕМЫЕ ВОПРОСЫ
Вопрос 1: Что такое боросиликатное стекло 3.3?
О: Это боросиликатное стекло с коэффициентом теплового расширения около 3,3 × 10-⁶/K, известное своей превосходной термостойкостью.
Вопрос 2: Могут ли пластины из боросиликатного стекла заменить кварцевые пластины?
О: Они могут служить экономичной альтернативой в среднетемпературных приложениях, но кварц по-прежнему предпочтительнее для экстремальных высокотемпературных сред.
Вопрос 3: В чем разница между пластинами из боросиликатного стекла и кварцевыми пластинами?
О: Пластины из боросиликатного стекла - это более экономичное решение с хорошей термостабильностью и химической стойкостью, что делает их идеальными для МЭМС и общих полупроводниковых приложений. Кварцевые пластины, с другой стороны, обеспечивают превосходную устойчивость к высоким температурам и пропускание ультрафиолетовых лучей и предпочтительны для использования в экстремальных условиях и передовых оптических системах.
Вопрос 4: Можно ли использовать пластины из боросиликатного стекла для анодного соединения с кремнием?
О: Да, пластины из боросиликатного стекла 3.3 широко используются для анодного соединения с кремнием благодаря близкому коэффициенту теплового расширения. Это обеспечивает высокую прочность соединения и минимизацию теплового напряжения при изготовлении МЭМС и микрофлюидных устройств.
Q5: Какие варианты персонализации доступны для пластин из боросиликатного стекла?
О: Мы предлагаем широкий спектр вариантов настройки, включая диаметр пластин (2-12 дюймов), толщину, одностороннюю или двухстороннюю полировку (SSP/DSP), шероховатость поверхности, плоскостность (TTV) и нестандартные формы, такие как квадратные или прямоугольные подложки. По запросу могут быть выполнены специальные требования по нанесению покрытий, сверлению или нанесению рисунка.
Отзывы
Отзывов пока нет.