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JGS1 和 JGS2 石英晶圆是高純度熔融石英基板，主要成分為二氧化矽 (SiO₂)。這些光學級石英晶片廣泛應用於半導體製造、紫外光學系統、雷射設備和光纖通訊裝置。.
JGS1 石英晶圓採用化學氣相沉積製程生產。這種製造方法可提供極低的金屬雜質含量和極低的羥基含量，從而在深紫外線區域實現出色的透射性能。.
JGS2 石英圓通常使用氫氧焰熔合製程製造。與 JGS1 相比，JGS2 含有較高的羥基含量，但在紫外光到近紅外光的光譜範圍內提供了穩定的光學性能，同時保持了更具成本效益的製造工藝。.
石英晶片的直徑從 2 英吋到 12 英吋不等，並可根據厚度、表面拋光要求和光學規格進行客製化。.
JGS1 和 JGS2 石英晶片比較
| 財產 | JGS1 石英 | JGS2 石英 |
|---|---|---|
| 製造方法 | 化學氣相沉積 | 氫氧火焰聚變 |
| 光學傳輸範圍 | 185 奈米至 2500 奈米 | 220 奈米至 2500 奈米 |
| 透光率 | 在 185 奈米 (10 mm 厚度) 下 >85 | 在 220 奈米 (10 mm 厚度) 下 >80 |
| 金屬雜質含量 | 約 0.1 ppm | 約 1 ppm |
| 羥基含量 | 低於 5 ppm | 30 至 50 ppm |
| 內部缺陷 | 很少的氣泡和條紋 | 可能的小氣泡或顆粒狀結構 |
| 光學均勻性 | 非常高 | 良好 |
| 熱穩定性 | 良好 | 更高的熱穩定性 |
物理和機械特性
| 財產 | 價值 |
|---|---|
| 密度 | 2.2 g/cm³ |
| 莫氏硬度 | 6 至 7 |
| 抗壓強度 | 1100 MPa |
| 拉伸強度 | 50 MPa |
| 彎曲強度 | 65 MPa |
| 扭轉強度 | 30 MPa |
| 楊氏模數 | 7.5 × 10⁴ MPa |
| 泊松比 | 0.17 |
電氣特性
| 財產 | 價值 |
|---|---|
| 介電常數 (10 GHz) | 3.74 |
| 損耗因數 (10 GHz) | 0.0002 |
| 介電強度 | 3.7 × 10⁷ V/m |
| 20°C 時的電阻率 | 1 × 10²⁰ Ω-m |
| 1000°C 時的電阻率 | 1 × 10⁸ Ω-m |
熱特性
| 財產 | 價值 |
|---|---|
| 應變點 | 1080°C |
| 退火點 | 1180°C |
| 軟化點 | 1630°C |
| 熱傳導率 (20°C) | 1.4 W/m-K |
| 比熱 (20°C) | 670 J/kg-K |
| 熱膨脹係數 (30°C 至 600°C) | 5.5 × 10-⁷ /°C |
典型應用
| 應用領域 | 說明 |
|---|---|
| 半導體光刻技術 | 光學元件和晶圓加工設備 |
| 光纖通訊 | 光學連接器、光學窗口、隔離器元件 |
| 紫外線雷射系統 | 准分子雷射窗口與光學鏡片 |
| 工業級 UV 處理 | 紫外線殺菌設備和高壓汞燈 |
| 光學儀器 | 鏡片、稜鏡、鏡子和光學基板 |
常見問題
1 JGS1 與 JGS2 石英圓的差異 ?
由於金屬雜質和羥基含量極低，JGS1 石英圓可提供更高的深紫外線穿透率。JGS2 石英圓提供穩定的紫外線到近紅外線性能，對於標準光學應用而言，通常更具成本效益。.
2 JGS1 石英圓的典型應用 ?
JGS1 石英圓常用於深紫外線光刻系統、准分子雷射光學元件及高精密度紫外線光學設備。.
3 JGS2 石英晶片的典型應用 ?
JGS2 石英圓片廣泛應用於光纖通訊裝置、紫外線處理設備，以及需要穩定紫外線至近紅外線傳輸的一般光學元件。.
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