FUYAO QUARTZ 專精於高純度 BF33 / BOROFLOAT 33 玻璃晶圓，這種優質的硼硅基板廣泛應用於半導體、微機電系統、光學和微流體應用。BF33 晶圓採用 SCHOTT 的 microfloat 製程生產，具有低熱膨脹 (~3.3 ppm/°C)、高光學清晰度、抗熱震性及化學惰性等特點，非常適合與矽及其他先進製程進行精密接合。.
BF33 晶圓被廣泛應用於光刻技術、陽極結合、晶片上實驗室裝置、雷射光學和高溫光學系統，在嚴苛的工業和科學條件下提供卓越的性能和可靠性。.
材料成分與特性
| 財產 | 規格 |
|---|---|
| SiO₂ 含量 | >80% |
| B₂O₃ 內容 | 針對低熱膨脹進行優化 |
| CTE (20-300°C) | ~3.3 × 10-⁶ /K |
| 應變點 | 520°C |
| 退火點 | 560°C |
| 軟化點 | 820°C |
| 抗熱衝擊 | 極佳 |
| 光傳輸 | >90% (UV-nir) |
| 表面處理 | DSP/SSP, Ra <1 nm |
| 耐化學性 | ISO 1 級水和酸、2 級鹼 |
| 硬度 | ~480 HK |
主要優勢：
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與矽的熱相容性：理想的陽極接合，不會產生應力或變形。.
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高光學清晰度：適用於雷射、光電子及感測器的 UV-NIR 透明度。.
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化學耐久性：耐酸、耐碱、耐溶剂，适用于洁净室工艺。.
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機械強度：高耐磨性，是半導體處理和 MEMS 裝置的理想選擇。.
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精密表面：具有低 TTV 的拋光晶圓，用於精確的微細加工和光學對位。.
主要應用
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半導體與微機電：載體晶圓、晶圓薄化、陽極接合、微流體裝置。.
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光學與光子系統：雷射光學、鏡子、濾光器、高溫光學窗。.
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分析與生物醫學儀器：生物晶片、診斷板、滴定系統。.
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工業與高溫環境：窯窗、視線玻璃、泛光燈罩。.
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能源與環境技術：PV 基板、微流體感測器。.
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航太與國防：光學面板、感測器窗口、太空級光學產品。.
表面與製造選項
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拋光：Ra <1 nm 的雙面拋光 (DSP) 或單面拋光 (SSP)。.
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厚度與直徑：可依應用需求客製化。.
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塗層：抗反射 (AR)、反射 (HR)、特定波長塗層。.
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公差：嚴格 TTV (<10 µm)，刮傷/挖傷 60/40 或更高，可依需求訂製。.
為何選擇我們的 BF33 晶圓？
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數十年光學與半導體玻璃製造經驗。.
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嚴格的品質控制，確保熱、化學及光學特性的一致性。.
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靈活的客製化服務，滿足工業、科學和研發需求。.
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全面的技術支援和全球交付網路。.
常見問題 (FAQ)
Q1: 什麼是 BF33 玻璃？
A1: BF33 也稱為 BOROFLOAT 33，是一種高品質的硼硅玻璃晶圓，具有低熱膨脹 (~3.3 ppm/°C)、優異的化學耐久性和高光學透明度，是半導體、MEMS 和光學應用的理想選擇。.
Q2: BF33 與一般玻璃比較如何？
A2: BF33 擁有更高的二氧化矽含量 (>80%) 和氧化硼，使其具有低熱膨脹、耐化學性、優異的紫外線/近紅外線穿透性和機械強度，在要求嚴苛的工業應用中勝過鈉鈣玻璃。.
Q3: BF33 晶圓可以拋光嗎？
A3: 是的。FUYAO QUARTZ 可提供具有亞奈米表面粗糙度 (<1 nm Ra) 和低 TTV (<10 µm)的 DSP 和 SSP 晶圓，對於晶圓接合、光刻技術和高精密度光學系統而言是不可或缺的。.
Q4: 哪些產業使用 BF33 晶圓？
A4: 半導體製造、微機電裝置、微流體、光子學、雷射光學、分析儀器、生物醫學裝置、航太、能源和環境監控。.
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