熔融石英視窗是由高純度熔融石英製成的精密光學元件。它們具有極高的光學透明度、出色的熱穩定性和強大的耐化學腐蝕性。這些光學窗口被廣泛用於半導體設備、雷射系統、真空室和科學儀器中作為保護屏障或傳輸介面。.
熔融石英窗具有從紫外線 (UV) 到紅外線 (IR) 波長的絕佳穿透性,即使在極端溫度和惡劣的化學環境下,也能保持穩定的光學性能。.
主要功能
寬光譜傳輸
190 奈米至 2500 奈米的高光學穿透率,適用於紫外線、可見光及紅外線光學系統。.
高熱穩定性
能夠承受 1000°C 以上的溫度而不變形,是高溫工業和雷射應用的理想選擇。.
精密表面品質
高精度拋光,表面粗糙度 <10 Å RMS,平面度高達 λ/10,將光學失真降至最低。.
優異的耐化學性
熔融石英對酸、鹼和大多數化學溶劑具有很高的耐受性,可確保在腐蝕性環境中長期使用。.
低熱膨脹
在溫度快速變化時仍能維持尺寸穩定,保持精確的光學對位。.
應用
光學儀器
光譜儀、成像系統、光學感測器和分析儀器。.
半導體製造
CVD、PVD 和電漿蝕刻系統使用的製程室視窗、視口、晶圓檢查蓋。.
雷射與光子系統
保護性雷射窗口、光束傳送光學及高功率雷射傳輸元件。.
科研設備
真空室視窗、實驗室光學設備和精密測量系統。.
規格 (可客製化)
| 參數 | 規格 |
|---|---|
| 材質 | 熔融石英(JGS1、JGS2、UV 級) |
| 形狀類型 | 圓形、橢圓形、多邊形、弧形、階梯形、缺口形 |
| 尺寸公差 | ±0.05 mm 或更佳 |
| 厚度範圍 | 0.5 mm - 10 mm |
| 表面粗糙度 | <10 Å RMS |
| 表面平整度 | λ/10 @ 632.8 nm |
| 平行性 | <30 弧秒 |
| 傳輸範圍 | 185 - 2500 奈米 |
| 塗層選項 | AR、HR、介電體、DLC |
熔融石英窗的優點
與普通玻璃或硼硅玻璃窗相比,熔融石英玻璃窗具有以下優點:
-
更高的紫外線透明度
-
更好的抗熱震性
-
更低的光學失真
-
更高的化學耐久性
這些優點使它們成為高精密儀器、半導體設備和雷射系統的首選光學解決方案。.
常見問題
Q1: JGS1、JGS2 和 JGS3 熔融石英之間有何差異?
JGS1 是合成 UV 級熔融石英,在 260 奈米以下具有優異的穿透性。.
JGS2 是光學級的熔融石英,在可見光光譜中有很強的穿透力。.
JGS3 是常用於紅外線和工業光學應用的紅外線等級材料。.
Q2: 熔融石英窗能否用於真空環境?
是的。由於熔融石英窗口的放氣率低且機械強度高,因此廣泛用於半導體和研究設備的真空室視窗。.
Q3: 是否提供光學鍍膜?
是的。抗反射 (AR)、高反射 (HR)、介電塗層和 DLC 塗層可根據特定波長要求進行應用。.
Q4: 可以製造客製化的形狀或孔洞嗎?
是的。可根據客戶圖紙或技術規格製作客製化形狀、邊緣斜角、槽和精密鑽孔。.











商品評價
目前沒有評價。