FUYAO QUARTZ, yarı iletken, MEMS, optik ve mikroakışkan uygulamalarında yaygın olarak kullanılan birinci sınıf bir borosilikat substrat olan yüksek saflıkta BF33 / BOROFLOAT 33 cam gofretler konusunda uzmanlaşmıştır. SCHOTT'un microfloat prosesi ile üretilen BF33 gofretler düşük termal genleşme (~3.3 ppm/°C), yüksek optik berraklık, termal şok direnci ve kimyasal inertlik özelliklerine sahiptir, bu da onları silikon ve diğer gelişmiş proseslerle hassas yapıştırma için ideal hale getirir.
BF33 wafer'lar fotolitografi, anodik yapıştırma, çip üzerinde laboratuvar cihazları, lazer optikler ve yüksek sıcaklık optik sistemlerinde yaygın olarak kullanılmakta ve zorlu endüstriyel ve bilimsel koşullar altında olağanüstü performans ve güvenilirlik sağlamaktadır.
Malzeme Bileşimi ve Özellikleri
| Mülkiyet | Şartname |
|---|---|
| SiO₂ İçeriği | >80% |
| B₂O₃ İçerik | Düşük termal genleşme için optimize edilmiştir |
| CTE (20-300°C) | ~3.3 × 10-⁶ /K |
| Gerilme Noktası | 520°C |
| Tavlama Noktası | 560°C |
| Yumuşama Noktası | 820°C |
| Termal Şok Direnci | Mükemmel |
| Optik İletim | >90% (UV-NIR) |
| Yüzey İşlemi | DSP/SSP, Ra <1 nm |
| Kimyasal Direnç | ISO Sınıf 1 su ve asit, Sınıf 2 alkali |
| Sertlik | ~480 HK |
Temel Avantajlar:
-
Silikon ile Termal Uyumluluk: Stres veya deformasyon olmadan anodik yapıştırma için idealdir.
-
Yüksek Optik Netlik: Lazerler, fotonikler ve sensörler için UV-NIR şeffaflığı.
-
Kimyasal Dayanıklılık: Temiz oda prosesleri için asitlere, bazlara ve solventlere karşı dayanıklıdır.
-
Mekanik Mukavemet: Yüksek aşınma direnci, yarı iletken taşıma ve MEMS cihazları için idealdir.
-
Hassas Yüzey: Doğru mikrofabrikasyon ve optik hizalama için düşük TTV'li cilalı gofretler.
Birincil Uygulamalar
-
Yarı iletken ve MEMS: Taşıyıcı gofretler, gofret inceltme, anodik bağlama, mikroakışkan cihazlar.
-
Optik ve Fotonik Sistemler: Lazer optikleri, aynalar, filtreler, yüksek sıcaklık optik pencereleri.
-
Analitik ve Biyomedikal Cihazlar: Biyoçipler, teşhis plakaları, titrasyon sistemleri.
-
Endüstriyel ve Yüksek Sıcaklık Ortamları: Fırın pencereleri, gözetleme camları, projektör kapakları.
-
Enerji ve Çevre Teknolojisi: PV substratlar, mikroakışkan sensörler.
-
Havacılık ve Savunma: Optik paneller, sensör pencereleri, uzay sınıfı optikler.
Yüzey ve İmalat Seçenekleri
-
Parlatma: Ra <1 nm ile çift tarafı parlatılmış (DSP) veya tek tarafı parlatılmış (SSP).
-
Kalınlık ve Çap: Uygulamaya göre özelleştirilebilir.
-
Kaplamalar: Yansıma önleyici (AR), yansıtıcı (HR), dalga boyuna özel kaplamalar.
-
Tolerans: Sıkı TTV (<10 µm), çizik/dig 60/40 veya istek üzerine daha yüksek.
Neden BF33 Gofretlerimizi Seçmelisiniz?
-
Optik ve yarı iletken cam üretiminde onlarca yıllık deneyim.
-
Termal, kimyasal ve optik özelliklerde tutarlılık için sıkı kalite kontrolü.
-
Endüstriyel, bilimsel ve Ar-Ge gereksinimlerini karşılamak için esnek özelleştirme.
-
Kapsamlı teknik destek ve küresel dağıtım ağı.
Sıkça Sorulan Sorular (SSS)
S1: BF33 cam nedir?
A1: BOROFLOAT 33 olarak da adlandırılan BF33, düşük termal genleşmeye (~3,3 ppm/°C), mükemmel kimyasal dayanıklılığa ve yüksek optik şeffaflığa sahip, yarı iletken, MEMS ve optik uygulamalar için ideal, yüksek kaliteli bir borosilikat cam gofrettir.
S2: BF33 sıradan camla karşılaştırıldığında nasıldır?
A2: BF33 daha yüksek silika içeriğine (>80%) ve bor okside sahiptir, bu da ona düşük termal genleşme, kimyasal direnç, üstün UV/NIR geçirgenliği ve mekanik mukavemet kazandırarak zorlu endüstriyel uygulamalarda soda-kireç camından daha iyi performans göstermesini sağlar.
S3: BF33 gofretleri parlatılabilir mi?
A3: Evet. FUYAO QUARTZ, wafer yapıştırma, fotolitografi ve yüksek hassasiyetli optik sistemler için gerekli olan nanometre altı yüzey pürüzlülüğüne (<1 nm Ra) ve düşük TTV'ye (<10 µm) sahip DSP ve SSP wafer'ları sağlar.
S4: BF33 gofretleri hangi sektörlerde kullanılır?
A4: Yarı iletken üretimi, MEMS cihazları, mikroakışkanlar, fotonik, lazer optik, analitik aletler, biyomedikal cihazlar, havacılık, enerji ve çevresel izleme.









Değerlendirmeler
Henüz değerlendirme yapılmadı.