{"id":2657,"date":"2026-04-03T06:27:42","date_gmt":"2026-04-03T06:27:42","guid":{"rendered":"https:\/\/www.fuyao-quartz.com\/?p=2657"},"modified":"2026-04-03T06:28:29","modified_gmt":"2026-04-03T06:28:29","slug":"the-role-of-quartz-components-in-semiconductor-equipment-materials-applications-and-2026-trends","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/www.fuyao-quartz.com\/ru\/the-role-of-quartz-components-in-semiconductor-equipment-materials-applications-and-2026-trends\/","title":{"rendered":"\u0420\u043e\u043b\u044c \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0435\u0432\u044b\u0445 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u0432 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u043e\u043c \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0438: \u041c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u044b, \u043e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438 \u0442\u0435\u043d\u0434\u0435\u043d\u0446\u0438\u0438 \u043d\u0430 2026 \u0433\u043e\u0434"},"content":{"rendered":"<p class=\"wp-block-paragraph\">\u0412 \u0441\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e\u043c \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u043e\u043c \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432\u0435\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0438\u0433\u0440\u0430\u0435\u0442 \u0442\u0430\u043a\u0443\u044e \u0436\u0435 \u0432\u0430\u0436\u043d\u0443\u044e \u0440\u043e\u043b\u044c, \u043a\u0430\u043a \u0438 \u0441\u0430\u043c\u043e \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435. \u0421\u0440\u0435\u0434\u0438 \u0432\u0441\u0435\u0445 \u0444\u0443\u043d\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0447\u0438\u0441\u0442\u044b\u0439 \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446 (SiO\u2082) \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u043d\u0435\u0437\u0430\u043c\u0435\u043d\u0438\u043c\u043e\u0439 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043e\u0439 \u043f\u0440\u0430\u043a\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u043d\u0430 \u0432\u0441\u0435\u0445 \u044d\u0442\u0430\u043f\u0430\u0445 \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0445\u0435\u043c - \u043e\u0442 \u0432\u044b\u0440\u0430\u0449\u0438\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043c\u043e\u043d\u043e\u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f \u0434\u043e \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438 \u0441\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d. \u0411\u043b\u0430\u0433\u043e\u0434\u0430\u0440\u044f \u0441\u0432\u043e\u0435\u0439 \u0438\u0441\u043a\u043b\u044e\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u0447\u0438\u0441\u0442\u043e\u0442\u0435, \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u0442\u0435\u0440\u043c\u043e\u0441\u0442\u043e\u0439\u043a\u043e\u0441\u0442\u0438, \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0438\u043d\u0435\u0440\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0438 \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0437\u0440\u0430\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0435\u0432\u044b\u0435 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u044b \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u044b \u0434\u043b\u044f \u043f\u043e\u0434\u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u043d\u0438\u044f \u0441\u0432\u0435\u0440\u0445\u0447\u0438\u0441\u0442\u043e\u0439 \u0438 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u0438\u0440\u0443\u0435\u043c\u043e\u0439 \u0441\u0440\u0435\u0434\u044b, \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u0435\u043c\u043e\u0439 \u043d\u0430 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0437\u0430\u0432\u043e\u0434\u0430\u0445.<\/p>\n\n\n\n<figure class=\"wp-block-image aligncenter size-large\"><img fetchpriority=\"high\" decoding=\"async\" width=\"1024\" height=\"683\" src=\"https:\/\/www.fuyao-quartz.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/Custom-Quart-Componets-1024x683.webp\" alt=\"\" class=\"wp-image-2658\" srcset=\"https:\/\/www.fuyao-quartz.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/Custom-Quart-Componets-1024x683.webp 1024w, https:\/\/www.fuyao-quartz.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/Custom-Quart-Componets-300x200.webp 300w, https:\/\/www.fuyao-quartz.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/Custom-Quart-Componets-768x512.webp 768w, https:\/\/www.fuyao-quartz.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/Custom-Quart-Componets-1536x1024.webp 1536w, https:\/\/www.fuyao-quartz.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/Custom-Quart-Componets-18x12.webp 18w, https:\/\/www.fuyao-quartz.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/Custom-Quart-Componets-600x400.webp 600w, https:\/\/www.fuyao-quartz.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/Custom-Quart-Componets.webp 2048w\" sizes=\"(max-width: 1024px) 100vw, 1024px\" \/><\/figure>\n\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\">1. \u041e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u044b\u0435 \u0441\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0430 \u0438 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u0441\u043e\u0432\u043c\u0435\u0441\u0442\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c<\/h2>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">\u0428\u0438\u0440\u043e\u043a\u043e\u0435 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0430 \u0432 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u043e\u043c \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0438 \u043e\u0431\u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u043e \u0435\u0433\u043e \u0443\u043d\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0444\u0438\u0437\u0438\u043a\u043e-\u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c\u0438 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0430\u043c\u0438:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li><strong>\u0421\u0432\u0435\u0440\u0445\u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0430\u044f \u0447\u0438\u0441\u0442\u043e\u0442\u0430 (4N8 \u0438 \u0432\u044b\u0448\u0435)<\/strong>: \u041c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0441\u0438 \u043c\u043e\u0436\u043d\u043e \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u0434\u043e \u0443\u0440\u043e\u0432\u043d\u044f ppm \u0438\u043b\u0438 \u0434\u0430\u0436\u0435 ppb<\/li>\n\n\n\n<li><strong>\u041e\u0442\u043b\u0438\u0447\u043d\u0430\u044f \u0442\u0435\u0440\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c<\/strong>: \u0422\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0430 \u043f\u043b\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0432\u044b\u0448\u0435 1700\u00b0C, \u043f\u0440\u0438 \u0434\u043b\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u044d\u043a\u0441\u043f\u043b\u0443\u0430\u0442\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0432\u044b\u0448\u0435 1100-1200\u00b0C<\/li>\n\n\n\n<li><strong>\u041d\u0438\u0437\u043a\u0438\u0439 \u043a\u043e\u044d\u0444\u0444\u0438\u0446\u0438\u0435\u043d\u0442 \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u0440\u0430\u0441\u0448\u0438\u0440\u0435\u043d\u0438\u044f<\/strong>: \u041c\u0438\u043d\u0438\u043c\u0438\u0437\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442 \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u0432\u043e\u0435 \u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0438 \u0434\u0435\u0444\u043e\u0440\u043c\u0430\u0446\u0438\u044e<\/li>\n\n\n\n<li><strong>\u0412\u044b\u0434\u0430\u044e\u0449\u0430\u044f\u0441\u044f \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u0441\u0442\u043e\u0439\u043a\u043e\u0441\u0442\u044c<\/strong>: \u0423\u0441\u0442\u043e\u0439\u0447\u0438\u0432 \u043a \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0438\u043d\u0441\u0442\u0432\u0443 \u043a\u0438\u0441\u043b\u043e\u0442 \u0438 \u0433\u0430\u0437\u043e\u0432, \u043a\u0440\u043e\u043c\u0435 \u0444\u0442\u043e\u0440\u0438\u0441\u0442\u043e\u0432\u043e\u0434\u043e\u0440\u043e\u0434\u043d\u043e\u0439 \u043a\u0438\u0441\u043b\u043e\u0442\u044b (HF)<\/li>\n\n\n\n<li><strong>\u0412\u044b\u0441\u043e\u043a\u0430\u044f \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u043f\u0440\u043e\u0437\u0440\u0430\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c<\/strong>: \u10d2\u10d0\u10dc\u10e1\u10d0\u10d9\u10e3\u10d7\u10e0\u10d4\u10d1\u10d8\u10d7 \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u0435\u043d \u0432 \u0443\u043b\u044c\u0442\u0440\u0430\u0444\u0438\u043e\u043b\u0435\u0442\u043e\u0432\u044b\u0445 (\u0423\u0424) \u0432\u043e\u043b\u043d\u0430\u0445<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">\u042d\u0442\u0438 \u0441\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u044e\u0442 \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0443 \u0432\u044b\u0441\u0442\u0443\u043f\u0430\u0442\u044c \u043d\u0435 \u0442\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u0432 \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435 \u043a\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430, \u043d\u043e \u0438 \u043a\u0430\u043a \u043d\u0435\u043e\u0442\u044a\u0435\u043c\u043b\u0435\u043c\u0430\u044f \u0447\u0430\u0441\u0442\u044c \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0441\u0440\u0435\u0434\u044b.<\/p>\n\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\">2. \u0412\u044b\u0440\u0430\u0449\u0438\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u0432 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f: \u041e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043e\u043f\u043e\u043b\u0430\u0433\u0430\u044e\u0449\u0430\u044f \u0440\u043e\u043b\u044c \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0435\u0432\u044b\u0445 \u0442\u0438\u0433\u043b\u0435\u0439<\/h2>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">\u0412 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0435 \u0427\u043e\u0445\u0440\u0430\u043b\u044c\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e (CZ) \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0435\u0432\u044b\u0435 \u0442\u0438\u0433\u043b\u0438 \u044f\u0432\u043b\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f \u043d\u0435\u0437\u0430\u043c\u0435\u043d\u0438\u043c\u044b\u043c\u0438 \u0440\u0430\u0441\u0445\u043e\u0434\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430\u043c\u0438, \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u043c\u044b\u043c\u0438 \u0434\u043b\u044f \u0440\u0430\u0441\u043f\u043b\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u043e\u043b\u0438\u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f \u0438 \u0432\u044b\u0440\u0430\u0449\u0438\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0441\u043b\u0438\u0442\u043a\u043e\u0432 \u043c\u043e\u043d\u043e\u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f.<\/p>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">\u041a\u043b\u044e\u0447\u0435\u0432\u044b\u0435 \u0442\u0435\u0445\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0442\u0440\u0435\u0431\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f:<\/h3>\n\n\n\n<figure class=\"wp-block-table\"><table class=\"has-fixed-layout\"><thead><tr><th>\u041f\u0430\u0440\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440<\/th><th>\u0422\u0438\u043f\u043e\u0432\u0430\u044f \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0444\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u044f<\/th><\/tr><\/thead><tbody><tr><td>\u0427\u0438\u0441\u0442\u043e\u0442\u0430<\/td><td>\u2265 99.998% (4N8)<\/td><\/tr><tr><td>\u0420\u0430\u0431\u043e\u0447\u0430\u044f \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0430<\/td><td>1400-1600\u00b0C<\/td><\/tr><tr><td>\u041a\u0438\u0441\u043b\u043e\u0440\u043e\u0434\u043d\u044b\u0439 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044c<\/td><td>\u041a\u0440\u0438\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u0432\u0430\u0436\u043d\u043e \u0434\u043b\u044f \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438 \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043e\u0432<\/td><\/tr><tr><td>\u0423\u0441\u0442\u043e\u0439\u0447\u0438\u0432\u043e\u0441\u0442\u044c \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u043e\u0432<\/td><td>\u041f\u0440\u0435\u0434\u043e\u0442\u0432\u0440\u0430\u0449\u0430\u0435\u0442 \u0434\u0435\u0444\u043e\u0440\u043c\u0430\u0446\u0438\u044e \u0432\u043e \u0432\u0440\u0435\u043c\u044f \u0440\u043e\u0441\u0442\u0430<\/td><\/tr><\/tbody><\/table><\/figure>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">\u041a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0435\u0432\u044b\u0435 \u0442\u0438\u0433\u043b\u0438 \u0432\u043b\u0438\u044f\u044e\u0442 \u043d\u0430 \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043a\u0438\u0441\u043b\u043e\u0440\u043e\u0434\u0430 \u0432 \u0440\u0430\u0441\u043f\u043b\u0430\u0432 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f, \u0447\u0442\u043e \u043d\u0435\u043f\u043e\u0441\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e \u0441\u043a\u0430\u0437\u044b\u0432\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u043d\u0430 \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u0430\u0445 \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u0432 \u0438 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0441\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430\u0445. \u041f\u043e\u044d\u0442\u043e\u043c\u0443 \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e \u0441\u044b\u0440\u044c\u044f \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u044b (\u043d\u0430\u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440, \u0434\u0443\u0433\u043e\u0432\u0430\u044f \u043f\u043b\u0430\u0432\u043a\u0430, \u0440\u043e\u0442\u0430\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u0430\u044f \u0444\u043e\u0440\u043c\u043e\u0432\u043a\u0430) \u0441\u0442\u0440\u043e\u0433\u043e \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u0438\u0440\u0443\u044e\u0442\u0441\u044f.<\/p>\n\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\">3. \u0412\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u043d\u0430\u044f \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430: \u041a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0435\u0432\u044b\u0435 \u0442\u0440\u0443\u0431\u043a\u0438 \u0438 \u043b\u043e\u0434\u043e\u0447\u043a\u0438<\/h2>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">\u041a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0435\u0432\u044b\u0435 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u044b \u0448\u0438\u0440\u043e\u043a\u043e \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u044e\u0442\u0441\u044f \u0432 <strong>\u0434\u0438\u0444\u0444\u0443\u0437\u0438\u044f, \u043e\u043a\u0438\u0441\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0438 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0438\u0437 \u043f\u0430\u0440\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0444\u0430\u0437\u044b (CVD)<\/strong> \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u044b.<\/p>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">3.1 \u041a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0435\u0432\u044b\u0435 \u0442\u0440\u0443\u0431\u043a\u0438<\/h3>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">\u041a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0435\u0432\u044b\u0435 \u0442\u0440\u0443\u0431\u043a\u0438 \u0441\u043b\u0443\u0436\u0430\u0442 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0440\u0435\u0430\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043a\u0430\u043c\u0435\u0440\u0430\u043c\u0438:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>\u041d\u0435\u043f\u0440\u0435\u0440\u044b\u0432\u043d\u0430\u044f \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430 \u043f\u0440\u0438 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0435 \u0432\u044b\u0448\u0435 1100\u00b0C<\/li>\n\n\n\n<li>\u041a\u0440\u0430\u0439\u043d\u0435 \u043d\u0438\u0437\u043a\u0438\u0439 \u0443\u0440\u043e\u0432\u0435\u043d\u044c \u0437\u0430\u0433\u0440\u044f\u0437\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0430\u043c\u0438 (\u22641 ppm)<\/li>\n\n\n\n<li>\u0412\u044b\u0441\u043e\u043a\u0430\u044f \u0443\u0441\u0442\u043e\u0439\u0447\u0438\u0432\u043e\u0441\u0442\u044c \u043a \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u0432\u043e\u043c\u0443 \u0443\u0434\u0430\u0440\u0443 \u0438 \u0434\u0435\u0444\u043e\u0440\u043c\u0430\u0446\u0438\u0438<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">3.2 \u041a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0435\u0432\u044b\u0435 \u043b\u043e\u0434\u043a\u0438<\/h3>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">\u041a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0435\u0432\u044b\u0435 \u043b\u043e\u0434\u043a\u0438 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u044e\u0442\u0441\u044f \u0434\u043b\u044f \u043f\u0435\u0440\u0435\u0432\u043e\u0437\u043a\u0438 \u043d\u0435\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u0438\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d \u043f\u0440\u0438 \u043f\u0430\u043a\u0435\u0442\u043d\u043e\u0439 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0435:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>\u0421\u043e\u0432\u043c\u0435\u0441\u0442\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c \u0441 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0430\u043c\u0438 \u043e\u0442 4 \u0434\u043e 12 \u0434\u044e\u0439\u043c\u043e\u0432<\/li>\n\n\n\n<li>\u0414\u043e\u0441\u0442\u0443\u043f\u043d\u044b \u0432\u0435\u0440\u0442\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0438 \u0433\u043e\u0440\u0438\u0437\u043e\u043d\u0442\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u043a\u043e\u043d\u0444\u0438\u0433\u0443\u0440\u0430\u0446\u0438\u0438<\/li>\n\n\n\n<li>\u0422\u0440\u0435\u0431\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0430\u044f \u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u043f\u0440\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0438 \u0443\u043b\u044c\u0442\u0440\u0430\u043d\u0438\u0437\u043a\u043e\u0435 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0447\u0430\u0441\u0442\u0438\u0446<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">\u0412\u043c\u0435\u0441\u0442\u0435 \u044d\u0442\u0438 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u044b \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u044f\u044e\u0442 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0443 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c \u0442\u0435\u0440\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438 \u043d\u0430 \u0437\u0430\u0432\u043e\u0434\u0430\u0445 \u043f\u043e \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0443 \u0432\u0430\u0444\u0435\u043b\u044c, \u043e\u043a\u0430\u0437\u044b\u0432\u0430\u044f \u043d\u0435\u043f\u043e\u0441\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0432\u043b\u0438\u044f\u043d\u0438\u0435 \u043d\u0430 \u0432\u044b\u0445\u043e\u0434 \u043f\u0440\u043e\u0434\u0443\u043a\u0446\u0438\u0438 \u0438 \u0440\u0430\u0432\u043d\u043e\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430.<\/p>\n\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\">4. \u0422\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0438 \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435: \u0421\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u043d\u044b\u0435 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u044b \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0430<\/h2>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">\u0412 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438 \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u0442\u043e\u043d\u043a\u0438\u0445 \u043f\u043b\u0435\u043d\u043e\u043a (\u0442\u0430\u043a\u0438\u0445 \u043a\u0430\u043a <strong>PVD, CVD \u0438 ALD<\/strong>), \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0435\u0432\u044b\u0435 \u0434\u0435\u0442\u0430\u043b\u0438 \u0432\u044b\u0441\u0442\u0443\u043f\u0430\u044e\u0442 \u0432 \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435 \u0432\u0430\u0436\u043d\u0435\u0439\u0448\u0438\u0445 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u043d\u044b\u0445 \u0438 \u0437\u0430\u0449\u0438\u0442\u043d\u044b\u0445 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432.<\/p>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">\u0422\u0438\u043f\u0438\u0447\u043d\u044b\u0435 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u044b \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0430:<\/h3>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li><strong>\u041a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0435\u0432\u044b\u0435 \u043a\u043e\u043b\u044c\u0446\u0430 \u0438 \u043a\u043e\u043b\u044c\u0446\u0430 \u0444\u043e\u043a\u0443\u0441\u0438\u0440\u043e\u0432\u043a\u0438<\/strong>: \u041f\u043e\u0434\u0434\u0435\u0440\u0436\u0438\u0432\u0430\u044e\u0442 \u043e\u0434\u043d\u043e\u0440\u043e\u0434\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u044b \u0438 \u0437\u0430\u0449\u0438\u0449\u0430\u044e\u0442 \u0441\u0442\u0435\u043d\u043a\u0438 \u043a\u0430\u043c\u0435\u0440\u044b<\/li>\n\n\n\n<li><strong>\u041a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0435\u0432\u044b\u0435 \u0444\u043b\u0430\u043d\u0446\u044b<\/strong>: \u041e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0432\u0430\u043a\u0443\u0443\u043c\u043d\u043e\u0439 \u0433\u0435\u0440\u043c\u0435\u0442\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0438 \u0446\u0435\u043b\u043e\u0441\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b<\/li>\n\n\n\n<li><strong>\u041a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0435\u0432\u044b\u0435 \u0444\u043e\u0440\u0441\u0443\u043d\u043a\u0438<\/strong>: \u0422\u043e\u0447\u043d\u0430\u044f \u043f\u043e\u0434\u0430\u0447\u0430 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0433\u0430\u0437\u043e\u0432 \u0438\u043b\u0438 \u0436\u0438\u0434\u043a\u043e\u0441\u0442\u0435\u0439<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">\u042d\u0442\u0438 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u044b \u0434\u043e\u043b\u0436\u043d\u044b \u0432\u044b\u0434\u0435\u0440\u0436\u0438\u0432\u0430\u0442\u044c \u0432\u043e\u0437\u0434\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0438\u0435 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u044b, \u0440\u0435\u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u044b\u0445 \u0433\u0430\u0437\u043e\u0432 \u0438 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0435\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0431\u043e\u043c\u0431\u0430\u0440\u0434\u0438\u0440\u043e\u0432\u043a\u0438, \u0441\u043e\u0445\u0440\u0430\u043d\u044f\u044f \u043f\u0440\u0438 \u044d\u0442\u043e\u043c \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u043e\u0432 \u0438 \u0447\u0438\u0441\u0442\u043e\u0442\u0443.<\/p>\n\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\">5. \u041f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u044b \u043e\u0447\u0438\u0441\u0442\u043a\u0438: \u041a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0435\u0432\u044b\u0435 \u0440\u0435\u0437\u0435\u0440\u0432\u0443\u0430\u0440\u044b \u0438 \u043d\u043e\u0441\u0438\u0442\u0435\u043b\u0438<\/h2>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">\u0412\u043b\u0430\u0436\u043d\u0430\u044f \u043e\u0447\u0438\u0441\u0442\u043a\u0430 - \u0432\u0430\u0436\u043d\u044b\u0439 \u044d\u0442\u0430\u043f \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432, \u043d\u0430 \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u043e\u043c \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u044e\u0442\u0441\u044f \u0442\u0430\u043a\u0438\u0435 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0432\u0435\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430, \u043a\u0430\u043a HF, H\u2082SO\u2084 \u0438 NH\u2084OH.<\/p>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">\u041f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0430 \u0432 \u043e\u0447\u0438\u0441\u0442\u043a\u0435:<\/h3>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li><strong>\u0415\u043c\u043a\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0434\u043b\u044f \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0435\u0432\u043e\u0439 \u043e\u0447\u0438\u0441\u0442\u043a\u0438<\/strong>: \u0645\u0642\u0627\u0648\u0645\u0629 \u0441\u0438\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u043a\u0438\u0441\u043b\u043e\u0442\u044b \u0438 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u0435 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u044b<\/li>\n\n\n\n<li><strong>\u041a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0435\u0432\u044b\u0435 \u043a\u043e\u0440\u0437\u0438\u043d\u044b (\u043d\u043e\u0441\u0438\u0442\u0435\u043b\u0438)<\/strong>: \u0423\u0434\u0435\u0440\u0436\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b \u0432\u043e \u0432\u0440\u0435\u043c\u044f \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043e\u0447\u0438\u0441\u0442\u043a\u0438<\/li>\n\n\n\n<li><strong>\u041a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0435\u0432\u044b\u0435 \u0431\u0443\u0442\u044b\u043b\u043a\u0438 \u0434\u043b\u044f \u0441\u0431\u043e\u0440\u0430 \u0436\u0438\u0434\u043a\u043e\u0441\u0442\u0438<\/strong>: \u0421\u0431\u043e\u0440 \u0438 \u0445\u0440\u0430\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043e\u0441\u0442\u0430\u0442\u043a\u043e\u0432 \u0445\u0438\u043c\u0438\u043a\u0430\u0442\u043e\u0432 \u0431\u0435\u0437 \u0437\u0430\u0433\u0440\u044f\u0437\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">\u041a\u0432\u0430\u0440\u0446 \u0433\u0430\u0440\u0430\u043d\u0442\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442 \u043e\u0442\u0441\u0443\u0442\u0441\u0442\u0432\u0438\u0435 \u0434\u043e\u043f\u043e\u043b\u043d\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0441\u0435\u0439 \u0432\u043e \u0432\u0440\u0435\u043c\u044f \u043e\u0447\u0438\u0441\u0442\u043a\u0438, \u0447\u0442\u043e \u043e\u0447\u0435\u043d\u044c \u0432\u0430\u0436\u043d\u043e \u0434\u043b\u044f \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0443\u0437\u043b\u043e\u0432, \u0433\u0434\u0435 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044c \u0437\u0430\u0433\u0440\u044f\u0437\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u043e\u0447\u0435\u043d\u044c \u0441\u0442\u0440\u043e\u0433.<\/p>\n\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\">6. \u041f\u0435\u0440\u0435\u0434\u043e\u0432\u044b\u0435 \u043f\u0440\u0438\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f: \u041a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0435\u0432\u044b\u0435 \u043a\u043e\u043b\u043e\u043a\u043e\u043b\u044c\u0447\u0438\u043a\u0438 \u0438 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u044f<\/h2>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">6.1 \u041a\u0443\u0432\u0448\u0438\u043d\u044b \u0441 \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0435\u0432\u044b\u043c\u0438 \u043a\u043e\u043b\u043e\u043a\u043e\u043b\u044c\u0447\u0438\u043a\u0430\u043c\u0438<\/h3>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">\u041a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0435\u0432\u044b\u0435 \u0431\u0430\u043d\u043a\u0438 \u0448\u0438\u0440\u043e\u043a\u043e \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u044e\u0442\u0441\u044f \u0432:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li><strong>\u0420\u0435\u0430\u043a\u0442\u043e\u0440\u044b \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043f\u043e\u043b\u0438\u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f<\/strong><\/li>\n\n\n\n<li><strong>\u0421\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b \u044d\u043f\u0438\u0442\u0430\u043a\u0441\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0440\u043e\u0441\u0442\u0430<\/strong><\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">\u041e\u043d\u0438 \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u044e\u0442 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u0438\u0440\u0443\u0435\u043c\u0443\u044e \u0440\u0435\u0430\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u0443\u044e \u0441\u0440\u0435\u0434\u0443 \u0438 \u0440\u0430\u0432\u043d\u043e\u043c\u0435\u0440\u043d\u0443\u044e \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u0430\u0447\u0443 \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f, \u0447\u0442\u043e \u0432\u0430\u0436\u043d\u043e \u0434\u043b\u044f \u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430 \u0438 \u043e\u0434\u043d\u043e\u0440\u043e\u0434\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043f\u043b\u0435\u043d\u043a\u0438.<\/p>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">6.2 \u0424\u043e\u0442\u043e\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u044f \u0438 \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u044b<\/h3>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">\u041a\u0432\u0430\u0440\u0446 \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432 \u043e\u043f\u0442\u0438\u043a\u0435 \u0431\u043b\u0430\u0433\u043e\u0434\u0430\u0440\u044f \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u0443\u043b\u044c\u0442\u0440\u0430\u0444\u0438\u043e\u043b\u0435\u0442\u043e\u0432\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0437\u0440\u0430\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li><strong>\u041a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0435\u0432\u044b\u0435 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043c\u0430\u0441\u043a\u0438<\/strong>: \u0421\u043b\u0443\u0436\u0430\u0442 \u0432 \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435 \u201c\u043c\u0430\u0441\u0442\u0435\u0440-\u0448\u0430\u0431\u043b\u043e\u043d\u043e\u0432\u201d \u0434\u043b\u044f \u043f\u0435\u0440\u0435\u043d\u043e\u0441\u0430 \u0434\u0435\u0442\u0430\u043b\u0435\u0439<\/li>\n\n\n\n<li><strong>\u041a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0435\u0432\u044b\u0435 \u043e\u043a\u043d\u0430<\/strong>: \u041e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0435 \u0423\u0424-\u043e\u0431\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0432 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430\u0445 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">\u042d\u0442\u0438 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u044b \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u044b \u0434\u043b\u044f \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0440\u0438\u0441\u0443\u043d\u043a\u0430 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0433\u043e \u0440\u0430\u0437\u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f \u0432 \u0441\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0443\u0437\u043b\u0430\u0445.<\/p>\n\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\">7. \u041c\u043e\u043d\u0438\u0442\u043e\u0440\u0438\u043d\u0433 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432: \u041a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0435\u0432\u044b\u0435 \u0434\u0430\u0442\u0447\u0438\u043a\u0438<\/h2>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">\u0412 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430\u0445 \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u0442\u043e\u043d\u043a\u0438\u0445 \u043f\u043b\u0435\u043d\u043e\u043a \u0434\u043b\u044f \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044f \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u044b \u043f\u043b\u0435\u043d\u043a\u0438 \u0432 \u0440\u0435\u0436\u0438\u043c\u0435 \u0440\u0435\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u0438 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u044e\u0442\u0441\u044f \u0434\u0430\u0442\u0447\u0438\u043a\u0438 \u043d\u0430 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0435 \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0435\u0432\u044b\u0445 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0432\u0435\u0441\u043e\u0432 (QCM). \u042d\u0442\u0438 \u0434\u0430\u0442\u0447\u0438\u043a\u0438 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0430\u043d\u044b \u043d\u0430 \u0438\u0437\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0438 \u0447\u0430\u0441\u0442\u043e\u0442\u044b \u043a\u043e\u043b\u0435\u0431\u0430\u043d\u0438\u0439 \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0435\u0432\u043e\u0433\u043e \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0430 \u0434\u043b\u044f \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0433\u043e \u0438\u0437\u043c\u0435\u0440\u0435\u043d\u0438\u044f \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u043c\u0430\u0441\u0441\u044b, \u0447\u0442\u043e \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u0440\u0430\u0432\u043d\u043e\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0438 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044c \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430.<\/p>\n\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\">8. \u0422\u0435\u043d\u0434\u0435\u043d\u0446\u0438\u0438 2026 \u0433\u043e\u0434\u0430: \u041f\u043e\u0432\u044b\u0448\u0435\u043d\u043d\u0430\u044f \u0447\u0438\u0441\u0442\u043e\u0442\u0430, \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0438\u0435 \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u044b \u0438 \u043b\u043e\u043a\u0430\u043b\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u044f<\/h2>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">\u041f\u043e \u043c\u0435\u0440\u0435 \u0440\u0430\u0437\u0432\u0438\u0442\u0438\u044f \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0439 \u043a \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0435\u0432\u044b\u043c \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u0430\u043c \u043f\u0440\u0435\u0434\u044a\u044f\u0432\u043b\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f \u0432\u0441\u0435 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0436\u0435\u0441\u0442\u043a\u0438\u0435 \u0442\u0440\u0435\u0431\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f:<\/p>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">8.1 \u0421\u0442\u0430\u043d\u0434\u0430\u0440\u0442\u044b \u0432\u044b\u0441\u0448\u0435\u0439 \u0447\u0438\u0441\u0442\u043e\u0442\u044b<\/h3>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">\u041f\u0435\u0440\u0435\u0434\u043e\u0432\u044b\u0435 \u0443\u0437\u043b\u044b \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u044e\u0442 \u0443\u0440\u043e\u0432\u043d\u044f \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0441\u0435\u0439 \u043d\u0438\u0436\u0435 ppb, \u0447\u0442\u043e \u043f\u043e\u0434\u0442\u0430\u043b\u043a\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u043a \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0435 \u0441\u0438\u043d\u0442\u0435\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0430 \u0432\u043c\u0435\u0441\u0442\u043e \u043d\u0430\u0442\u0443\u0440\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e.<\/p>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">8.2 \u0411\u043e\u043b\u044c\u0448\u0438\u0435 \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u044b<\/h3>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">\u0421 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0445\u043e\u0434\u043e\u043c \u043d\u0430 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u043a\u0440\u0443\u043f\u043d\u044b\u0435 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b (300 \u043c\u043c \u0438 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435) \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0435\u0432\u044b\u0435 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u044b \u0434\u043e\u043b\u0436\u043d\u044b \u043c\u0430\u0441\u0448\u0442\u0430\u0431\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c\u0441\u044f \u0441\u043e\u043e\u0442\u0432\u0435\u0442\u0441\u0442\u0432\u0443\u044e\u0449\u0438\u043c \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u043c, \u0441\u043e\u0445\u0440\u0430\u043d\u044f\u044f \u043f\u0440\u0438 \u044d\u0442\u043e\u043c \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u043d\u0443\u044e \u0446\u0435\u043b\u043e\u0441\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c.<\/p>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">8.3 \u041f\u043e\u0432\u044b\u0448\u0435\u043d\u043d\u0430\u044f \u0434\u043e\u043b\u0433\u043e\u0432\u0435\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c<\/h3>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">\u0423\u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0441\u0440\u043e\u043a\u0430 \u0441\u043b\u0443\u0436\u0431\u044b \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0438 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0436\u0435\u0441\u0442\u043a\u0438\u0435 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u044f \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u044e\u0442 \u043f\u043e\u0432\u044b\u0448\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0443\u0441\u0442\u043e\u0439\u0447\u0438\u0432\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043a \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 \u044d\u0440\u043e\u0437\u0438\u0438 \u0438 \u0442\u0435\u0440\u043c\u043e\u0446\u0438\u043a\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044e.<\/p>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">8.4 \u041b\u043e\u043a\u0430\u043b\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u044f \u0438 \u0431\u0435\u0437\u043e\u043f\u0430\u0441\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0446\u0435\u043f\u043e\u0447\u043a\u0438 \u043f\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043e\u043a<\/h3>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">\u0412 \u0441\u0432\u044f\u0437\u0438 \u0441 \u0434\u0438\u043d\u0430\u043c\u0438\u043a\u043e\u0439 \u0433\u043b\u043e\u0431\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0446\u0435\u043f\u043e\u0447\u0435\u043a \u043f\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043e\u043a \u043e\u0442\u0435\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u043e \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u043a\u043b\u0430\u0441\u0441\u043d\u044b\u0445 \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0435\u0432\u044b\u0445 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u0438\u0442\u0441\u044f \u0441\u0442\u0440\u0430\u0442\u0435\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c \u043f\u0440\u0438\u043e\u0440\u0438\u0442\u0435\u0442\u043e\u043c, \u043e\u0441\u043e\u0431\u0435\u043d\u043d\u043e \u043d\u0430 \u0440\u0430\u0437\u0432\u0438\u0432\u0430\u044e\u0449\u0438\u0445\u0441\u044f \u0440\u044b\u043d\u043a\u0430\u0445 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432.<\/p>\n\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\">\u0417\u0430\u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435<\/h2>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\"><a href=\"https:\/\/www.fuyao-quartz.com\/ru\/products\/\">\u041a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0435\u0432\u044b\u0435 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u044b<\/a> \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446 - \u044d\u0442\u043e \u043d\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u043e \u0432\u0441\u043f\u043e\u043c\u043e\u0433\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b \u0432 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432, \u0430 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043e\u043f\u043e\u043b\u0430\u0433\u0430\u044e\u0449\u0438\u0439 \u0444\u0430\u043a\u0442\u043e\u0440, \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u044e\u0449\u0438\u0439 \u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c, \u0447\u0438\u0441\u0442\u043e\u0442\u0443 \u0438 \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430. \u041d\u0430 \u0432\u0441\u0435\u0445 \u044d\u0442\u0430\u043f\u0430\u0445 - \u043e\u0442 \u0432\u044b\u0440\u0430\u0449\u0438\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u0432 \u0438 \u0442\u0435\u0440\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438 \u0434\u043e \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f, \u043e\u0447\u0438\u0441\u0442\u043a\u0438 \u0438 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 - \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446 \u0438\u0433\u0440\u0430\u0435\u0442 \u0432\u0430\u0436\u043d\u0435\u0439\u0448\u0443\u044e \u0440\u043e\u043b\u044c.<\/p>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">\u041f\u043e \u043c\u0435\u0440\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0434\u0432\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043a \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0441\u043b\u043e\u0436\u043d\u044b\u043c \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c \u0443\u0437\u043b\u0430\u043c \u0432 2026 \u0433\u043e\u0434\u0443 \u0438 \u0434\u0430\u043b\u0435\u0435 \u0442\u0440\u0435\u0431\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043a \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0435\u0432\u044b\u043c \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430\u043c - \u0447\u0438\u0441\u0442\u043e\u0442\u0435, \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0438 \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 - \u0431\u0443\u0434\u0443\u0442 \u043f\u0440\u043e\u0434\u043e\u043b\u0436\u0430\u0442\u044c \u0440\u0430\u0441\u0442\u0438. \u042d\u0442\u043e \u043d\u0435 \u0442\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u0435\u0442 \u0442\u0435\u0445\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043c\u044b, \u043d\u043e \u0438 \u043e\u0442\u043a\u0440\u044b\u0432\u0430\u0435\u0442 \u0432\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0434\u043b\u044f \u0438\u043d\u043d\u043e\u0432\u0430\u0446\u0438\u0439 \u0438 \u043b\u043e\u043a\u0430\u043b\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0432 \u0433\u043b\u043e\u0431\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u0446\u0435\u043f\u043e\u0447\u043a\u0435 \u043f\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043e\u043a \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432.<\/p>","protected":false},"excerpt":{"rendered":"<p>In modern semiconductor manufacturing, material science plays a role as critical as the equipment itself. Among all functional materials, high-purity quartz (SiO\u2082) stands out as an indispensable backbone across nearly every stage of chip fabrication\u2014from single-crystal silicon growth to advanced wafer processing. Thanks to its exceptional purity, high thermal resistance, chemical inertness, and optical transparency, [&hellip;]<\/p>\n","protected":false},"author":1,"featured_media":2658,"comment_status":"open","ping_status":"open","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":{"site-sidebar-layout":"default","site-content-layout":"","ast-site-content-layout":"default","site-content-style":"default","site-sidebar-style":"default","ast-global-header-display":"","ast-banner-title-visibility":"","ast-main-header-display":"","ast-hfb-above-header-display":"","ast-hfb-below-header-display":"","ast-hfb-mobile-header-display":"","site-post-title":"","ast-breadcrumbs-content":"","ast-featured-img":"","footer-sml-layout":"","ast-disable-related-posts":"","theme-transparent-header-meta":"","adv-header-id-meta":"","stick-header-meta":"","header-above-stick-meta":"","header-main-stick-meta":"","header-below-stick-meta":"","astra-migrate-meta-layouts":"set","ast-page-background-enabled":"default","ast-page-background-meta":{"desktop":{"background-color":"var(--ast-global-color-4)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"tablet":{"background-color":"","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"mobile":{"background-color":"","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""}},"ast-content-background-meta":{"desktop":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"tablet":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"mobile":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""}},"footnotes":""},"categories":[1],"tags":[781,783,774,772,775,767,780,782,55,773,777,768,764,763,64,765,776,766,770,65,131,62,778,51,771,779,769],"class_list":["post-2657","post","type-post","status-publish","format-standard","has-post-thumbnail","hentry","category-industry-news","tag-2026-trends","tag-advanced-semiconductor-materials","tag-ald","tag-cvd","tag-etching-process","tag-focus-ring","tag-high-purity-materials","tag-localization","tag-photolithography","tag-pvd","tag-qcm-sensor","tag-quartz-bell-jar","tag-quartz-boat","tag-quartz-components","tag-quartz-crucible","tag-quartz-injector","tag-quartz-photomask","tag-quartz-ring","tag-quartz-tank","tag-quartz-tube","tag-semiconductor-equipment","tag-semiconductor-manufacturing","tag-silicon-crystal-growth","tag-thin-film-deposition","tag-wafer-cleaning","tag-wafer-fab","tag-wet-cleaning"],"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/www.fuyao-quartz.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/2657","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/www.fuyao-quartz.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/posts"}],"about":[{"href":"https:\/\/www.fuyao-quartz.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/types\/post"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.fuyao-quartz.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/users\/1"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.fuyao-quartz.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=2657"}],"version-history":[{"count":1,"href":"https:\/\/www.fuyao-quartz.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/2657\/revisions"}],"predecessor-version":[{"id":2659,"href":"https:\/\/www.fuyao-quartz.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/2657\/revisions\/2659"}],"wp:featuredmedia":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.fuyao-quartz.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/media\/2658"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/www.fuyao-quartz.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=2657"}],"wp:term":[{"taxonomy":"category","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.fuyao-quartz.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/categories?post=2657"},{"taxonomy":"post_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.fuyao-quartz.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/tags?post=2657"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}