FUYAO QUARTZ специализируется на производстве высокочистых стеклянных пластин BF33 / BOROFLOAT 33 - боросиликатной подложки премиум-класса, широко используемой в полупроводниковых, МЭМС, оптических и микрофлюидических приложениях. Изготовленные по микрофлоат-процессу SCHOTT, пластины BF33 отличаются низким тепловым расширением (~3,3 ppm/°C), высокой оптической прозрачностью, стойкостью к тепловым ударам и химической инертностью, что делает их идеальными для прецизионного склеивания с кремнием и других передовых процессов.
Подложки BF33 широко используются в фотолитографии, анодном склеивании, устройствах "лаборатория-на-чипе", лазерной оптике и высокотемпературных оптических системах, обеспечивая исключительную производительность и надежность в сложных промышленных и научных условиях.
Состав и свойства материала
| Недвижимость | Технические характеристики |
|---|---|
| Содержание SiO₂ | >80% |
| B₂O₃ Содержание | Оптимизирован для низкого теплового расширения |
| CTE (20-300°C) | ~3.3 × 10-⁶ /K |
| Точка деформации | 520°C |
| Точка отжига | 560°C |
| Точка размягчения | 820°C |
| Устойчивость к тепловому удару | Превосходно |
| Оптическая передача | >90% (UV-NIR) |
| Отделка поверхности | DSP/SSP, Ra <1 нм |
| Химическая стойкость | ISO Класс 1 вода и кислота, Класс 2 щелочь |
| Твердость | ~480 HK |
Ключевые преимущества:
-
Термическая совместимость с кремнием: Идеально подходит для анодного соединения без напряжения и деформации.
-
Высокая оптическая прозрачность: Прозрачность в ультрафиолетовом и инфракрасном диапазоне для лазеров, фотоники и датчиков.
-
Химическая стойкость: Устойчивость к кислотам, щелочам и растворителям для чистых помещений.
-
Механическая прочность: высокая стойкость к истиранию, идеально подходит для обработки полупроводников и МЭМС-устройств.
-
Прецизионная поверхность: Полированные пластины с низким TTV для точной микрофабрикации и оптической юстировки.
Основные приложения
-
Полупроводники и МЭМС: Несущие пластины, утонение пластин, анодное соединение, микрофлюидические устройства.
-
Оптические и фотонные системы: Лазерная оптика, зеркала, фильтры, высокотемпературные оптические окна.
-
Аналитические и биомедицинские приборы: Биочипы, диагностические планшеты, системы титрования.
-
Промышленные и высокотемпературные среды: Окна печей, смотровые стекла, крышки прожекторов.
-
Энергетические и экологические технологии: Фотоэлектрические подложки, микрофлюидные датчики.
-
Аэрокосмическая и оборонная промышленность: Оптические панели, окна для датчиков, оптика космического класса.
Варианты поверхности и изготовления
-
Полировка: двухсторонняя полировка (DSP) или односторонняя полировка (SSP) с Ra <1 нм.
-
Толщина и диаметр: Настраивается в зависимости от применения.
-
Покрытия: Антибликовые (AR), отражающие (HR), специфические для длины волны покрытия.
-
Допуски: Высокий TTV (<10 мкм), по запросу царапины/рисунок 60/40 или выше.
Почему стоит выбрать наши пластины BF33?
-
Десятилетний опыт в производстве оптического и полупроводникового стекла.
-
Строгий контроль качества обеспечивает постоянство тепловых, химических и оптических свойств.
-
Гибкая настройка в соответствии с требованиями промышленности, науки и НИОКР.
-
Всесторонняя техническая поддержка и глобальная сеть поставок.
Часто задаваемые вопросы (FAQ)
Вопрос 1: Что такое стекло BF33?
A1: BF33, также называемый BOROFLOAT 33, представляет собой высококачественную пластину из боросиликатного стекла с низким тепловым расширением (~3,3 ppm/°C), отличной химической стойкостью и высокой оптической прозрачностью, идеально подходящую для полупроводниковых, МЭМС и оптических приложений.
Вопрос 2: Чем BF33 отличается от обычного стекла?
A2: BF33 имеет более высокое содержание кремнезема (>80%) и оксида бора, что обеспечивает ему низкое тепловое расширение, химическую стойкость, превосходное УФ/ИК-пропускание и механическую прочность, превосходящие содово-известковое стекло в сложных промышленных условиях.
Вопрос 3: Можно ли полировать пластины BF33?
A3: Да. FUYAO QUARTZ предлагает пластины DSP и SSP с субнанометровой шероховатостью поверхности (<1 нм Ra) и низким TTV (<10 мкм), что необходимо для склеивания пластин, фотолитографии и высокоточных оптических систем.
Вопрос 4: В каких отраслях промышленности используются пластины BF33?
A4: Производство полупроводников, МЭМС-устройства, микрофлюидика, фотоника, лазерная оптика, аналитические приборы, биомедицинские устройства, аэрокосмическая промышленность, энергетика и мониторинг окружающей среды.
Отзывы
Отзывов пока нет.