{"id":3058,"date":"2026-06-10T03:45:55","date_gmt":"2026-06-10T03:45:55","guid":{"rendered":"https:\/\/www.fuyao-quartz.com\/?p=3058"},"modified":"2026-06-10T03:46:08","modified_gmt":"2026-06-10T03:46:08","slug":"fracture-mechanism-of-fused-silica-glass-wafers-during-double-sided-polishing-process","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/www.fuyao-quartz.com\/pl\/fracture-mechanism-of-fused-silica-glass-wafers-during-double-sided-polishing-process\/","title":{"rendered":"Mechanizm p\u0119kania p\u0142ytek ze szk\u0142a krzemionkowego podczas procesu polerowania dwustronnego"},"content":{"rendered":"<h2 class=\"wp-block-heading\">1. Wprowadzenie<\/h2>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Polerowanie dwustronne (DSP) stanowi ostatni i najwa\u017cniejszy etap obr\u00f3bki mechanicznej p\u0142ytek ze szk\u0142a krzemionkowego. Jest to r\u00f3wnie\u017c najd\u0142u\u017cszy etap obr\u00f3bki, kt\u00f3ry ma decyduj\u0105cy wp\u0142yw na jako\u015b\u0107 gotowego produktu.<\/p>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">W trakcie tego procesu do typowych wad powierzchniowych zaliczaj\u0105 si\u0119 wg\u0142\u0119bienia, zadrapania, odpryski na kraw\u0119dziach, p\u0119kni\u0119cia oraz ca\u0142kowite p\u0119kni\u0119cie p\u0142ytki. Spo\u015br\u00f3d nich wg\u0142\u0119bienia i zadrapania cz\u0119sto mo\u017cna zminimalizowa\u0107, a nawet naprawi\u0107 poprzez optymalizacj\u0119 procesu i kontrol\u0119 warunk\u00f3w otoczenia. Natomiast odpryski na kraw\u0119dziach, p\u0119kni\u0119cia i ca\u0142kowite p\u0119kni\u0119cie p\u0142ytki s\u0105 wadami nieodwracalnymi, kt\u00f3re bezpo\u015brednio prowadz\u0105 do odrzucenia p\u0142ytki.<\/p>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">W przypadku ultracienkich p\u0142ytek z krzemionki topionej wady zwi\u0105zane z p\u0119kaniem pozostaj\u0105 g\u0142\u00f3wnym wyzwaniem w d\u0105\u017ceniu do uzyskania wysokiej wydajno\u015bci i stabilnej produkcji.<\/p>\n\n\n\n<figure class=\"wp-block-image aligncenter size-large\"><img fetchpriority=\"high\" decoding=\"async\" width=\"1024\" height=\"430\" src=\"https:\/\/www.fuyao-quartz.com\/wp-content\/uploads\/2026\/06\/Fracture-Mechanism-of-Fused-Silica-Glass-Wafers-During-Double-Sided-Polishing-Process-1024x430.png\" alt=\"\" class=\"wp-image-3059\" srcset=\"https:\/\/www.fuyao-quartz.com\/wp-content\/uploads\/2026\/06\/Fracture-Mechanism-of-Fused-Silica-Glass-Wafers-During-Double-Sided-Polishing-Process-1024x430.png 1024w, https:\/\/www.fuyao-quartz.com\/wp-content\/uploads\/2026\/06\/Fracture-Mechanism-of-Fused-Silica-Glass-Wafers-During-Double-Sided-Polishing-Process-300x126.png 300w, https:\/\/www.fuyao-quartz.com\/wp-content\/uploads\/2026\/06\/Fracture-Mechanism-of-Fused-Silica-Glass-Wafers-During-Double-Sided-Polishing-Process-768x323.png 768w, https:\/\/www.fuyao-quartz.com\/wp-content\/uploads\/2026\/06\/Fracture-Mechanism-of-Fused-Silica-Glass-Wafers-During-Double-Sided-Polishing-Process-1536x645.png 1536w, https:\/\/www.fuyao-quartz.com\/wp-content\/uploads\/2026\/06\/Fracture-Mechanism-of-Fused-Silica-Glass-Wafers-During-Double-Sided-Polishing-Process-18x8.png 18w, https:\/\/www.fuyao-quartz.com\/wp-content\/uploads\/2026\/06\/Fracture-Mechanism-of-Fused-Silica-Glass-Wafers-During-Double-Sided-Polishing-Process-600x252.png 600w, https:\/\/www.fuyao-quartz.com\/wp-content\/uploads\/2026\/06\/Fracture-Mechanism-of-Fused-Silica-Glass-Wafers-During-Double-Sided-Polishing-Process.png 1699w\" sizes=\"(max-width: 1024px) 100vw, 1024px\" \/><\/figure>\n\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\">2. Rodzaje ubytk\u00f3w po z\u0142amaniach<\/h2>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Uszkodzenia w postaci p\u0119kni\u0119\u0107 w <a href=\"https:\/\/www.fuyao-quartz.com\/pl\/product-category\/quartz-wafer\/\">p\u0142ytki szklane<\/a> zazwyczaj obejmuj\u0105 trzy kategorie:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li><strong>Odpryskiwanie kraw\u0119dzi (p\u0119kanie kraw\u0119dzi)<\/strong><br>Zazwyczaj definiuje si\u0119 to jako widoczne uszkodzenia kraw\u0119dzi lub brakuj\u0105ce fragmenty o d\u0142ugo\u015bci powy\u017cej 0,3 mm.<\/li>\n\n\n\n<li><strong>Rozprzestrzenianie si\u0119 p\u0119kni\u0119\u0107<\/strong><br>P\u0119kni\u0119cia cz\u0119sto powstaj\u0105 w miejscach wyszczerbionych kraw\u0119dzi i stopniowo rozprzestrzeniaj\u0105 si\u0119 w g\u0142\u0105b p\u0142ytki.<\/li>\n\n\n\n<li><strong>Ca\u0142kowite z\u0142amanie (p\u0119kni\u0119cie)<\/strong><br>Gdy podczas dalszej obr\u00f3bki lub przenoszenia p\u0119kni\u0119cia rozprzestrzeniaj\u0105 si\u0119 pod wp\u0142ywem napr\u0119\u017ce\u0144, dochodzi do katastrofalnej awarii p\u0142ytki.<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">W praktyce przemys\u0142owej, po wykryciu odprysk\u00f3w na kraw\u0119dziach p\u0142ytka jest zazwyczaj klasyfikowana jako produkt wadliwy i wycofywana z dalszej obr\u00f3bki, poniewa\u017c istnieje wysokie ryzyko jej uszkodzenia na kolejnych etapach produkcji.<\/p>\n\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\">3. Powstanie p\u0119kni\u0119cia podczas polerowania dwustronnego<\/h2>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Podczas procesu DSP p\u0142ytka poddawana jest z\u0142o\u017conemu przebiegowi ruchu, kt\u00f3rego przyczyn\u0105 s\u0105:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>Obr\u00f3t g\u00f3rnej p\u0142yty<\/li>\n\n\n\n<li>Obr\u00f3t dolnej p\u0142yty<\/li>\n\n\n\n<li>Obr\u00f3t ko\u0142a s\u0142onecznego<\/li>\n\n\n\n<li>Ruch no\u015bnika (ko\u0142a planetarnego)<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">W tych warunkach p\u0142ytka podlega ruchowi b\u0119d\u0105cemu po\u0142\u0105czeniem ruchu obrotowego i samobiegu, co sprawia, \u017ce precyzyjna analiza napr\u0119\u017ce\u0144 staje si\u0119 niezwykle z\u0142o\u017cona.<\/p>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Statystyki produkcyjne wskazuj\u0105 jednak na wyra\u017an\u0105 tendencj\u0119: p\u0119kni\u0119cia prawie zawsze powstaj\u0105 na kraw\u0119dzi p\u0142ytki. \u015awiadczy to o tym, \u017ce wytrzyma\u0142o\u015b\u0107 kraw\u0119dzi p\u0142ytki jest g\u0142\u00f3wnym czynnikiem decyduj\u0105cym o charakterze p\u0119kania.<\/p>\n\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\">4. Wytrzyma\u0142o\u015b\u0107 kraw\u0119dzi jako g\u0142\u00f3wny czynnik powoduj\u0105cy uszkodzenia<\/h2>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Odporno\u015b\u0107 na p\u0119kanie p\u0142ytki z krzemionki topionej zale\u017cy przede wszystkim od wytrzyma\u0142o\u015bci jej kraw\u0119dzi.<\/p>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">W celu poprawy stabilno\u015bci mechanicznej p\u0142ytki s\u0105 zazwyczaj poddawane <strong>fazowanie kraw\u0119dzi (skosowanie)<\/strong>, co pomaga zmniejszy\u0107 koncentracj\u0119 napr\u0119\u017ce\u0144 na kraw\u0119dziach. Odpowiednio zaprojektowana fazka znacznie poprawia odporno\u015b\u0107 na p\u0119kanie.<\/p>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Jednak nawet przy zastosowaniu zabezpieczenia kraw\u0119dzi niew\u0142a\u015bciwe parametry obr\u00f3bki lub nadmierne obci\u0105\u017cenie mechaniczne mog\u0105 nadal prowadzi\u0107 do powstania uszkodzenia w obszarze fazowania.<\/p>\n\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\">5. Analiza napr\u0119\u017ce\u0144 na kraw\u0119dzi p\u0142ytki p\u00f3\u0142przewodnikowej<\/h2>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Podczas procesu DSP kraw\u0119d\u017a p\u0142ytki poddawana jest dzia\u0142aniu kombinacji si\u0142:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li><strong>F\u2081: Si\u0142a nacisku w pionie<\/strong><br>Wynika to g\u0142\u00f3wnie z nacisku wywieranego przez g\u00f3rn\u0105 p\u0142yt\u0119 podczas polerowania.<\/li>\n\n\n\n<li><strong>F\u2082: Si\u0142a pozioma<\/strong><br>G\u0142\u00f3wnie spowodowane si\u0142ami od\u015brodkowymi powstaj\u0105cymi podczas obrotu oraz si\u0142\u0105 reakcji ze strony systemu no\u015bnego.<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Na kraw\u0119dzi sfazowanej si\u0142y te mo\u017cna roz\u0142o\u017cy\u0107 na:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>Si\u0142y normalne dzia\u0142aj\u0105ce prostopadle do powierzchni fazy<\/li>\n\n\n\n<li>Si\u0142y styczne r\u00f3wnoleg\u0142e do powierzchni fazy<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">\u0141\u0105czny stan napr\u0119\u017ce\u0144 mo\u017cna przedstawi\u0107 jako superpozycj\u0119:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>Napr\u0119\u017cenia normalne (sk\u0142adowe \u015bciskaj\u0105ce\/rozci\u0105gaj\u0105ce)<\/li>\n\n\n\n<li>Napr\u0119\u017cenie \u015bcinaj\u0105ce (sk\u0142adowe po\u015blizgowe)<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Gdy napr\u0119\u017cenia te przekraczaj\u0105 granic\u0119 wytrzyma\u0142o\u015bci mechanicznej krzemionki topionej, dochodzi do powstania p\u0119kni\u0119cia, kt\u00f3re zazwyczaj zaczyna si\u0119 na kraw\u0119dzi i rozprzestrzenia si\u0119 do wewn\u0105trz.<\/p>\n\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\">6. Mechanizm uszkodze\u0144 w ultracienkich p\u0142ytkach p\u00f3\u0142przewodnikowych<\/h2>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">W przypadku ultracienkich p\u0142ytek z krzemionki topionej (o grubo\u015bci zazwyczaj poni\u017cej 0,3 mm) ryzyko p\u0119kni\u0119cia znacznie wzrasta z powodu kilku czynnik\u00f3w:<\/p>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">6.1 Obni\u017cona wytrzyma\u0142o\u015b\u0107 konstrukcyjna<\/h3>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Wraz ze spadkiem grubo\u015bci og\u00f3lna sztywno\u015b\u0107 mechaniczna p\u0142ytki znacznie si\u0119 zmniejsza, co sprawia, \u017ce staje si\u0119 ona bardziej wra\u017cliwa na napr\u0119\u017cenia zewn\u0119trzne.<\/p>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">6.2 Zmniejszony obszar ochrony fazy<\/h3>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">W przypadku ultracienkich p\u0142ytek obj\u0119to\u015b\u0107 fazowania oraz powierzchnia styku s\u0105 znacznie mniejsze. W rezultacie os\u0142abia si\u0119 ochronne dzia\u0142anie fazowania kraw\u0119dzi.<\/p>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">6.3 Zwi\u0119kszona koncentracja napr\u0119\u017ce\u0144<\/h3>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">W tych samych warunkach polerowania:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>Powierzchnia styku zmniejsza si\u0119<\/li>\n\n\n\n<li>Wzrasta napr\u0119\u017cenie lokalne na jednostk\u0119 powierzchni<\/li>\n\n\n\n<li>Koncentracja napr\u0119\u017ce\u0144 na kraw\u0119dzi znacznie wzrasta<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Prowadzi to do gwa\u0142townego wzrostu zar\u00f3wno napr\u0119\u017ce\u0144 normalnych, jak i \u015bcinaj\u0105cych na kraw\u0119dzi.<\/p>\n\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\">7. Wnioski<\/h2>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Uszkodzenia w postaci p\u0119kni\u0119\u0107 w p\u0142ytkach ze szk\u0142a krzemionkowego podczas polerowania dwustronnego wynikaj\u0105 przede wszystkim z nadmiernych napr\u0119\u017ce\u0144 wyst\u0119puj\u0105cych na kraw\u0119dzi p\u0142ytki. Gdy \u0142\u0105czna warto\u015b\u0107 napr\u0119\u017ce\u0144 normalnych i \u015bcinaj\u0105cych przekroczy granic\u0119 wytrzyma\u0142o\u015bci mechanicznej materia\u0142u, dochodzi do odprysk\u00f3w na kraw\u0119dziach, rozprzestrzeniania si\u0119 p\u0119kni\u0119\u0107 i ostatecznego p\u0119kni\u0119cia.<\/p>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Wafle ultracienkie s\u0105 szczeg\u00f3lnie podatne na uszkodzenia ze wzgl\u0119du na zmniejszon\u0105 grubo\u015b\u0107, os\u0142abion\u0105 ochron\u0119 kraw\u0119dzi oraz zwi\u0119kszon\u0105 koncentracj\u0119 napr\u0119\u017ce\u0144.<\/p>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">W zwi\u0105zku z tym poprawa wydajno\u015bci produkcji p\u0142ytek wymaga szczeg\u00f3lnego skupienia si\u0119 na:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>Optymalizacja wytrzyma\u0142o\u015bci kraw\u0119dzi<\/li>\n\n\n\n<li>Udoskonalenie konstrukcji fazowania<\/li>\n\n\n\n<li>Regulacja ci\u015bnienia polerowania<\/li>\n\n\n\n<li>Optymalizacja pr\u0119dko\u015bci obrotowej<\/li>\n\n\n\n<li>Poprawa stabilno\u015bci procesu<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Dzi\u0119ki starannemu kontrolowaniu tych czynnik\u00f3w mo\u017cna znacznie zmniejszy\u0107 ryzyko p\u0119kania, co przek\u0142ada si\u0119 na wy\u017csz\u0105 wydajno\u015b\u0107 i wi\u0119ksz\u0105 niezawodno\u015b\u0107 procesu produkcji p\u0142ytek z krzemionki topionej.<\/p>","protected":false},"excerpt":{"rendered":"<p>1. Introduction Double-sided polishing (DSP) is the final and most critical step in the mechanical processing of fused silica glass wafers. It is also the longest processing stage and plays a decisive role in final product quality. During this process, common surface defects include pits, scratches, edge chipping, cracks, and complete wafer breakage. Among these, [&hellip;]<\/p>\n","protected":false},"author":1,"featured_media":3059,"comment_status":"open","ping_status":"open","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":{"site-sidebar-layout":"default","site-content-layout":"","ast-site-content-layout":"default","site-content-style":"default","site-sidebar-style":"default","ast-global-header-display":"","ast-banner-title-visibility":"","ast-main-header-display":"","ast-hfb-above-header-display":"","ast-hfb-below-header-display":"","ast-hfb-mobile-header-display":"","site-post-title":"","ast-breadcrumbs-content":"","ast-featured-img":"","footer-sml-layout":"","ast-disable-related-posts":"","theme-transparent-header-meta":"","adv-header-id-meta":"","stick-header-meta":"","header-above-stick-meta":"","header-main-stick-meta":"","header-below-stick-meta":"","astra-migrate-meta-layouts":"set","ast-page-background-enabled":"default","ast-page-background-meta":{"desktop":{"background-color":"var(--ast-global-color-4)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"tablet":{"background-color":"","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"mobile":{"background-color":"","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""}},"ast-content-background-meta":{"desktop":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"tablet":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"mobile":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""}},"footnotes":""},"categories":[1],"tags":[1373,1366,1367,1370,506,1352,1379,1375,1376,1377,1350,1351,1372,1369,1368,1365,1371,1364,1378,1374],"class_list":["post-3058","post","type-post","status-publish","format-standard","has-post-thumbnail","hentry","category-industry-news","tag-chamfering-process","tag-double-sided-polishing","tag-dsp-process","tag-edge-chipping","tag-fused-silica-wafer","tag-glass-wafer","tag-microcrack-propagation","tag-normal-stress","tag-optical-glass-wafer","tag-precision-polishing","tag-quartz-wafer","tag-semiconductor-substrate","tag-shear-stress","tag-ultra-thin-wafer-processing","tag-wafer-breakage","tag-wafer-cracking","tag-wafer-edge-strength","tag-wafer-fracture-mechanism","tag-wafer-manufacturing-defects","tag-wafer-polishing-stress"],"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/www.fuyao-quartz.com\/pl\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/3058","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/www.fuyao-quartz.com\/pl\/wp-json\/wp\/v2\/posts"}],"about":[{"href":"https:\/\/www.fuyao-quartz.com\/pl\/wp-json\/wp\/v2\/types\/post"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.fuyao-quartz.com\/pl\/wp-json\/wp\/v2\/users\/1"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.fuyao-quartz.com\/pl\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=3058"}],"version-history":[{"count":1,"href":"https:\/\/www.fuyao-quartz.com\/pl\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/3058\/revisions"}],"predecessor-version":[{"id":3060,"href":"https:\/\/www.fuyao-quartz.com\/pl\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/3058\/revisions\/3060"}],"wp:featuredmedia":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.fuyao-quartz.com\/pl\/wp-json\/wp\/v2\/media\/3059"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/www.fuyao-quartz.com\/pl\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=3058"}],"wp:term":[{"taxonomy":"category","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.fuyao-quartz.com\/pl\/wp-json\/wp\/v2\/categories?post=3058"},{"taxonomy":"post_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.fuyao-quartz.com\/pl\/wp-json\/wp\/v2\/tags?post=3058"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}