{"id":3037,"date":"2026-06-08T08:41:10","date_gmt":"2026-06-08T08:41:10","guid":{"rendered":"https:\/\/www.fuyao-quartz.com\/?p=3037"},"modified":"2026-06-08T08:41:18","modified_gmt":"2026-06-08T08:41:18","slug":"semiconductor-grade-quartz-requirements-standards-and-material-selection-guide","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/www.fuyao-quartz.com\/nl\/semiconductor-grade-quartz-requirements-standards-and-material-selection-guide\/","title":{"rendered":"Kwarts van halfgeleiderkwaliteit: vereisten, normen en handleiding voor materiaalkeuze"},"content":{"rendered":"<p class=\"wp-block-paragraph\">Kwarts is een van de belangrijkste materialen die bij de productie van halfgeleiders worden gebruikt. Het wordt op grote schaal toegepast in diffusieovens, oxidatiesystemen, CVD-apparatuur, waferdragers, proceskamers, optische inspectiesystemen en onderdelen voor de verwerking van chemicali\u00ebn.<\/p>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Niet alle kwartssoorten zijn echter geschikt voor halfgeleidertoepassingen. Afhankelijk van de procesomgeving kunnen kwartscomponenten verschillende eisen stellen op het gebied van zuiverheid, thermische stabiliteit, hydroxylgehalte, optische prestaties en maatnauwkeurigheid.<\/p>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">De keuze van het juiste kwarts materiaal is van cruciaal belang om verontreiniging tot een minimum te beperken, de processtabiliteit te waarborgen en de opbrengst van de wafers te maximaliseren.<\/p>\n\n\n\n<figure class=\"wp-block-image size-large\"><img fetchpriority=\"high\" decoding=\"async\" width=\"1024\" height=\"683\" src=\"https:\/\/www.fuyao-quartz.com\/wp-content\/uploads\/2026\/06\/Semiconductor-Grade-Quartz-Requirements-Standards-and-Material-Selection-Guide-1024x683.png\" alt=\"\" class=\"wp-image-3038\" srcset=\"https:\/\/www.fuyao-quartz.com\/wp-content\/uploads\/2026\/06\/Semiconductor-Grade-Quartz-Requirements-Standards-and-Material-Selection-Guide-1024x683.png 1024w, https:\/\/www.fuyao-quartz.com\/wp-content\/uploads\/2026\/06\/Semiconductor-Grade-Quartz-Requirements-Standards-and-Material-Selection-Guide-300x200.png 300w, https:\/\/www.fuyao-quartz.com\/wp-content\/uploads\/2026\/06\/Semiconductor-Grade-Quartz-Requirements-Standards-and-Material-Selection-Guide-768x512.png 768w, https:\/\/www.fuyao-quartz.com\/wp-content\/uploads\/2026\/06\/Semiconductor-Grade-Quartz-Requirements-Standards-and-Material-Selection-Guide-18x12.png 18w, https:\/\/www.fuyao-quartz.com\/wp-content\/uploads\/2026\/06\/Semiconductor-Grade-Quartz-Requirements-Standards-and-Material-Selection-Guide-600x400.png 600w, https:\/\/www.fuyao-quartz.com\/wp-content\/uploads\/2026\/06\/Semiconductor-Grade-Quartz-Requirements-Standards-and-Material-Selection-Guide.png 1536w\" sizes=\"(max-width: 1024px) 100vw, 1024px\" \/><\/figure>\n\n\n\n<h1 class=\"wp-block-heading\">Waarom de halfgeleiderproductie afhankelijk is van zeer zuiver kwarts<\/h1>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Bij de productie van halfgeleiders komen talrijke processen aan bod die onder extreme omstandigheden plaatsvinden:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>Hoge temperaturen van meer dan 1000 \u00b0C<\/li>\n\n\n\n<li>Corrosieve procesgassen<\/li>\n\n\n\n<li>Reactieve chemicali\u00ebn<\/li>\n\n\n\n<li>Ultrazuivere productieomgevingen<\/li>\n\n\n\n<li>Apparaatstructuren op nanometerschaal<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Onder deze omstandigheden kan zelfs een minimale verontreiniging afkomstig van de materialen van de apparatuur de prestaties van het apparaat be\u00efnvloeden.<\/p>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Daarom maken halfgeleiderfabrikanten doorgaans gebruik van <a href=\"https:\/\/www.fuyao-quartz.com\/nl\/products\/\">hoogzuiver gesmolten kwarts<\/a> of synthetisch gesmolten siliciumdioxide in plaats van standaard industrieel kwarts.<\/p>\n\n\n\n<h1 class=\"wp-block-heading\">1. Uiterst lage metaalverontreiniging<\/h1>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">De zuiverheid van het materiaal is een van de belangrijkste eisen voor halfgeleiderkwarts.<\/p>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Tijdens bewerkingen bij hoge temperaturen kunnen metaalverontreinigingen in de wafers diffunderen en de elektrische eigenschappen be\u00efnvloeden.<\/p>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Er wordt bijzondere aandacht besteed aan:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>Aluminium (Al)<\/li>\n\n\n\n<li>IJzer (Fe)<\/li>\n\n\n\n<li>Calcium (Ca)<\/li>\n\n\n\n<li>Magnesium (Mg)<\/li>\n\n\n\n<li>Titanium (Ti)<\/li>\n\n\n\n<li>Natrium (Na)<\/li>\n\n\n\n<li>Kalium (K)<\/li>\n\n\n\n<li>Lithium (Li)<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">In plaats van \u00e9\u00e9n universele specificatie te volgen, worden de grenswaarden voor onzuiverheden doorgaans vastgesteld door de fabrikant van het halfgeleiderproces en de apparatuur.<\/p>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Bij geavanceerde halfgeleidertoepassingen worden de onzuiverheidsconcentraties vaak op het ppm- of sub-ppm-niveau geregeld.<\/p>\n\n\n\n<h1 class=\"wp-block-heading\">2. Uitstekende prestaties bij hoge temperaturen<\/h1>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Veel halfgeleiderprocessen vinden plaats bij temperaturen tussen 800 \u00b0C en 1200 \u00b0C.<\/p>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Kwarts wordt op grote schaal gebruikt omdat het de volgende voordelen biedt:<\/p>\n\n\n\n<figure class=\"wp-block-table\"><table class=\"has-fixed-layout\"><thead><tr><th>Eigendom<\/th><th>Typische waarde<\/th><\/tr><\/thead><tbody><tr><td>Verzachtingspunt<\/td><td>Ongeveer 1730 \u00b0C<\/td><\/tr><tr><td>Temperatuur bij continu gebruik<\/td><td>Tot 1200 \u00b0C<\/td><\/tr><tr><td>Thermische uitzettingsco\u00ebffici\u00ebnt<\/td><td>Ongeveer 0,5 \u00d7 10\u207b\u2076 \/\u00b0C<\/td><\/tr><\/tbody><\/table><\/figure>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">De uiterst lage thermische uitzettingsco\u00ebffici\u00ebnt draagt bij aan het minimaliseren van thermische spanning tijdens snelle opwarm- en afkoelcycli.<\/p>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Veelgebruikte kwartscomponenten voor hoge temperaturen zijn onder meer:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>Kwartsovenbuizen<\/li>\n\n\n\n<li>Kwartsboten<\/li>\n\n\n\n<li>Waferhouders<\/li>\n\n\n\n<li>Procesvoeringen<\/li>\n\n\n\n<li>Sokkels<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<h1 class=\"wp-block-heading\">3. Het gehalte aan hydroxylgroepen (OH) is van belang<\/h1>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Een factor die vaak over het hoofd wordt gezien, is het hydroxylgehalte.<\/p>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">De concentratie van OH-groepen kan de thermische stabiliteit en de optische transmissie-eigenschappen aanzienlijk be\u00efnvloeden.<\/p>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">Kwarts met een laag OH-gehalte<\/h3>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Wordt doorgaans gebruikt voor:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>Diffusieovens<\/li>\n\n\n\n<li>Oxidatieovens<\/li>\n\n\n\n<li>LPCVD-processen<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Voordelen:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>Verbeterde thermische stabiliteit<\/li>\n\n\n\n<li>Verminderde vervorming bij hoge temperaturen<\/li>\n\n\n\n<li>Betere infrarooddoorlaatbaarheid<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">Kwarts met een hoog OH-gehalte<\/h3>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Wordt doorgaans gebruikt voor:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>Optische UV-systemen<\/li>\n\n\n\n<li>Optische vensters<\/li>\n\n\n\n<li>Lasertoepassingen<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Voordelen:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>Verbeterde UV-doorlaatbaarheid<\/li>\n\n\n\n<li>Uitstekende optische prestaties<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Verschillende halfgeleidertoepassingen vereisen verschillende OH-specificaties.<\/p>\n\n\n\n<h1 class=\"wp-block-heading\">4. Controle op luchtbellen en insluitingen<\/h1>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Interne luchtbellen en insluitsels zijn cruciale kwaliteitsindicatoren voor halfgeleiderkwarts.<\/p>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Een te hoge bubbelconcentratie kan leiden tot:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>De vorming van deeltjes<\/li>\n\n\n\n<li>Verminderde mechanische sterkte<\/li>\n\n\n\n<li>Lokale thermische spanning<\/li>\n\n\n\n<li>Voortijdige uitval van onderdelen<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Voor kritische halfgeleidertoepassingen worden kwartsmaterialen vaak ingedeeld op basis van de bubbel- en insluitseldichtheid.<\/p>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Voor hoogwaardige halfgeleiderapparatuur gelden doorgaans zeer lage eisen wat betreft het gehalte aan luchtbellen en insluitsels.<\/p>\n\n\n\n<h1 class=\"wp-block-heading\">5. Chemische weerstand<\/h1>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Kwarts is uiterst goed bestand tegen de meeste zuren en proceschemicali\u00ebn die bij de productie van halfgeleiders worden gebruikt.<\/p>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Het presteert goed in omgevingen waarin sprake is van:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>Zwavelzuur<\/li>\n\n\n\n<li>Salpeterzuur<\/li>\n\n\n\n<li>Zoutzuur<\/li>\n\n\n\n<li>Oxidatiemiddelen<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Kwarts kan echter worden aangetast door:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>Fluorwaterstofzuur (HF)<\/li>\n\n\n\n<li>Bepaalde sterk alkalische oplossingen bij verhoogde temperaturen<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Daarom moet de materiaalcompatibiliteit altijd worden beoordeeld op basis van de chemische samenstelling van het beoogde proces.<\/p>\n\n\n\n<h1 class=\"wp-block-heading\">6. Maatnauwkeurigheid en oppervlaktekwaliteit<\/h1>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Voor halfgeleiderapparatuur zijn uiterst nauwkeurige kwartsonderdelen nodig.<\/p>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Typische vereisten kunnen onder meer zijn:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>Vlakheid<\/li>\n\n\n\n<li>Parallellisme<\/li>\n\n\n\n<li>Concentriciteit<\/li>\n\n\n\n<li>Oppervlakteafwerking<\/li>\n\n\n\n<li>Randkwaliteit<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Bovendien moeten oppervlakken vrij zijn van:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>Krassen<\/li>\n\n\n\n<li>Chips<\/li>\n\n\n\n<li>Scheuren<\/li>\n\n\n\n<li>Vreemde insluitsels<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Oppervlaktefouten kunnen een bron van verontreiniging vormen en de procesbetrouwbaarheid verminderen.<\/p>\n\n\n\n<h1 class=\"wp-block-heading\">7. Hygi\u00ebne en de beheersing van deeltjes<\/h1>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Bij de moderne halfgeleiderproductie wordt steeds meer nadruk gelegd op het beheersen van verontreiniging.<\/p>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Kwartsonderdelen worden vaak onderworpen aan:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>Precisiebewerking<\/li>\n\n\n\n<li>Reiniging met zuur<\/li>\n\n\n\n<li>Ultrasoon reinigen<\/li>\n\n\n\n<li>Spoelen met zeer zuiver water<\/li>\n\n\n\n<li>Cleanroom verpakking<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Een materiaal met een hoge zuiverheidsgraad alleen is onvoldoende als het uiteindelijke onderdeel niet wordt verwerkt en verpakt volgens de reinheidseisen voor halfgeleiders.<\/p>\n\n\n\n<h1 class=\"wp-block-heading\">Veelgebruikte kwartssoorten bij de productie van halfgeleiders<\/h1>\n\n\n\n<figure class=\"wp-block-table\"><table class=\"has-fixed-layout\"><thead><tr><th>Materiaalsoort<\/th><th>Typische toepassingen<\/th><\/tr><\/thead><tbody><tr><td>Gesmolten kwarts<\/td><td>Algemene onderdelen voor halfgeleiderapparatuur<\/td><\/tr><tr><td>Gesmolten kwarts van hoge zuiverheid<\/td><td>Diffusie- en oxidatiesystemen<\/td><\/tr><tr><td>Synthetisch gesmolten siliciumdioxide<\/td><td>Toepassingen op het gebied van optica en fotolithografie<\/td><\/tr><tr><td>Kwarts met een laag OH-gehalte<\/td><td>Onderdelen voor ovens op hoge temperatuur<\/td><\/tr><tr><td>Kwarts met een hoog OH-gehalte<\/td><td>Componenten voor UV-doorlaatbaarheid<\/td><\/tr><\/tbody><\/table><\/figure>\n\n\n\n<hr class=\"wp-block-separator has-alpha-channel-opacity\"\/>\n\n\n\n<h1 class=\"wp-block-heading\">Conclusie<\/h1>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Niet alle kwartssoorten zijn geschikt voor de productie van halfgeleiders.<\/p>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Bij de keuze van kwarts van halfgeleiderkwaliteit moet rekening worden gehouden met verschillende factoren, waaronder zuiverheid, hydroxylgehalte, thermische stabiliteit, bellen dichtheid, chemische bestendigheid, maatnauwkeurigheid en reinheidseisen.<\/p>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Aangezien elk halfgeleiderproces andere eisen aan het materiaal stelt, is de keuze van de juiste kwartssoort vaak net zo belangrijk als de keuze van het juiste ontwerp van het onderdeel.<\/p>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Voor fabrikanten van halfgeleiderapparatuur en fabrieken waar wafers worden geproduceerd, kan het juiste kwarts materiaal de processtabiliteit aanzienlijk verbeteren, het risico op verontreiniging verminderen en de levensduur van onderdelen verlengen.<\/p>","protected":false},"excerpt":{"rendered":"<p>Quartz is one of the most important materials used throughout semiconductor manufacturing. It is widely employed in diffusion furnaces, oxidation systems, CVD equipment, wafer carriers, process chambers, optical inspection systems, and chemical handling components. However, not all quartz materials are suitable for semiconductor applications. Depending on the process environment, quartz components may require different levels [&hellip;]<\/p>\n","protected":false},"author":1,"featured_media":3038,"comment_status":"open","ping_status":"open","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":{"site-sidebar-layout":"default","site-content-layout":"","ast-site-content-layout":"default","site-content-style":"default","site-sidebar-style":"default","ast-global-header-display":"","ast-banner-title-visibility":"","ast-main-header-display":"","ast-hfb-above-header-display":"","ast-hfb-below-header-display":"","ast-hfb-mobile-header-display":"","site-post-title":"","ast-breadcrumbs-content":"","ast-featured-img":"","footer-sml-layout":"","ast-disable-related-posts":"","theme-transparent-header-meta":"","adv-header-id-meta":"","stick-header-meta":"","header-above-stick-meta":"","header-main-stick-meta":"","header-below-stick-meta":"","astra-migrate-meta-layouts":"set","ast-page-background-enabled":"default","ast-page-background-meta":{"desktop":{"background-color":"var(--ast-global-color-4)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"tablet":{"background-color":"","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"mobile":{"background-color":"","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""}},"ast-content-background-meta":{"desktop":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"tablet":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"mobile":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""}},"footnotes":""},"categories":[1],"tags":[544,563,1169,676,1315,1166,764,1313,964,1312,1314,1145,1316,1317,79,1094,1085,561,525],"class_list":["post-3037","post","type-post","status-publish","format-standard","has-post-thumbnail","hentry","category-industry-news","tag-fused-quartz","tag-fused-silica","tag-high-oh-quartz","tag-high-purity-quartz-2","tag-high-temperature-quartz-2","tag-low-oh-quartz","tag-quartz-boat","tag-quartz-chamber-parts","tag-quartz-furnace-tube","tag-quartz-material-for-semiconductors","tag-quartz-processing-parts","tag-quartz-wafer-carrier","tag-semiconductor-equipment-materials","tag-semiconductor-furnace-components","tag-semiconductor-grade-quartz","tag-semiconductor-manufacturing-materials","tag-semiconductor-quartz","tag-semiconductor-quartz-components","tag-synthetic-fused-silica"],"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/www.fuyao-quartz.com\/nl\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/3037","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/www.fuyao-quartz.com\/nl\/wp-json\/wp\/v2\/posts"}],"about":[{"href":"https:\/\/www.fuyao-quartz.com\/nl\/wp-json\/wp\/v2\/types\/post"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.fuyao-quartz.com\/nl\/wp-json\/wp\/v2\/users\/1"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.fuyao-quartz.com\/nl\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=3037"}],"version-history":[{"count":1,"href":"https:\/\/www.fuyao-quartz.com\/nl\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/3037\/revisions"}],"predecessor-version":[{"id":3039,"href":"https:\/\/www.fuyao-quartz.com\/nl\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/3037\/revisions\/3039"}],"wp:featuredmedia":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.fuyao-quartz.com\/nl\/wp-json\/wp\/v2\/media\/3038"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/www.fuyao-quartz.com\/nl\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=3037"}],"wp:term":[{"taxonomy":"category","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.fuyao-quartz.com\/nl\/wp-json\/wp\/v2\/categories?post=3037"},{"taxonomy":"post_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.fuyao-quartz.com\/nl\/wp-json\/wp\/v2\/tags?post=3037"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}