제품 개요
JGS1 및 JGS2 석영 웨이퍼는 주로 이산화규소(SiO₂)로 구성된 고순도 용융 실리카 기판입니다. 이러한 광학 등급 석영 웨이퍼는 반도체 제조, 자외선 광학 시스템, 레이저 장비 및 광섬유 통신 장치에 널리 사용됩니다.
JGS1 쿼츠 웨이퍼는 화학 기상 증착 공정을 사용하여 생산됩니다. 이 제조 방식은 금속 불순물 수준이 매우 낮고 하이드 록실 함량이 매우 낮아 심자외선 영역에서 뛰어난 투과 성능을 제공합니다.
JGS2 쿼츠 웨이퍼는 일반적으로 수소 산소 화염 융합 공정을 사용하여 제조됩니다. JGS1에 비해 JGS2는 하이드록실 함량이 높지만 자외선부터 근적외선 스펙트럼에 걸쳐 안정적인 광학 성능을 제공하면서 보다 비용 효율적인 제조 공정을 유지합니다.
쿼츠 웨이퍼는 2인치에서 12인치 직경으로 제공되며 두께, 표면 연마 요구 사항 및 광학 사양에 따라 맞춤 제작할 수 있습니다.
JGS1과 JGS2 쿼츠 웨이퍼 비교
| 속성 | JGS1 쿼츠 | JGS2 쿼츠 |
|---|---|---|
| 제조 방법 | 화학 기상 증착 | 수소 산소 불꽃 융합 |
| 광 전송 범위 | 185nm ~ 2500nm | 220nm ~ 2500nm |
| 투과율 | >185nm(10mm 두께)에서 85% 이상 | >220nm(10mm 두께)에서 80% 이상 |
| 금속 불순물 함량 | 약 0.1ppm | 약 1ppm |
| 하이드록실 콘텐츠 | 5ppm 미만 | 30~50ppm |
| 내부 결함 | 거품과 줄무늬가 거의 없음 | 작은 거품 또는 세분화된 구조 가능성 |
| 광학 균질성 | 매우 높음 | Good |
| 열 안정성 | Good | 더 높은 열 안정성 |
물리적 및 기계적 특성
| 속성 | 가치 |
|---|---|
| 밀도 | 2.2g/cm³ |
| 모스 경도 | 6~7 |
| 압축 강도 | 1100 MPa |
| 인장 강도 | 50 MPa |
| 굽힘 강도 | 65 MPa |
| 비틀림 강도 | 30 MPa |
| 영의 계수 | 7.5 × 10⁴ MPa |
| 푸아송 비율 | 0.17 |
전기적 특성
| 속성 | 가치 |
|---|---|
| 유전 상수(10GHz) | 3.74 |
| 손실 계수(10GHz) | 0.0002 |
| 유전체 강도 | 3.7 × 10⁷ V/m |
| 20°C에서의 저항률 | 1 × 10²⁰ Ω-m |
| 1000°C에서의 저항률 | 1 × 10⁸ Ω-m |
열 속성
| 속성 | 가치 |
|---|---|
| 스트레인 포인트 | 1080°C |
| 어닐링 포인트 | 1180°C |
| 연화 포인트 | 1630°C |
| 열 전도성(20°C) | 1.4 W/m-K |
| 비열(20°C) | 670 J/kg-K |
| 열팽창 계수(30°C~600°C) | 5.5 × 10-⁷ /°C |
일반적인 애플리케이션
| 응용 분야 | 설명 |
|---|---|
| 반도체 리소그래피 | 광학 부품 및 웨이퍼 처리 장비 |
| 광섬유 통신 | 광 커넥터, 광 윈도우, 아이솔레이터 구성 요소 |
| UV 레이저 시스템 | 엑시머 레이저 창 및 광학 렌즈 |
| 산업용 UV 처리 | UV 살균 장비 및 고압 수은 램프 |
| 광학 기기 | 렌즈, 프리즘, 거울 및 광학 기판 |
자주 묻는 질문
1 JGS1과 JGS2 쿼츠 웨이퍼의 차이점은?
JGS1 쿼츠 웨이퍼는 금속 불순물과 수산기 함량이 매우 낮기 때문에 더 높은 심자외선 투과율을 제공합니다. JGS2 쿼츠 웨이퍼는 안정적인 자외선~근적외선 성능을 제공하며 일반적으로 표준 광학 애플리케이션에 더 비용 효율적입니다.
2 JGS1 쿼츠 웨이퍼의 일반적인 응용 분야는?
JGS1 석영 웨이퍼는 심자외선 리소그래피 시스템, 엑시머 레이저 광학 부품 및 고정밀 자외선 광학 장비에 일반적으로 사용됩니다.
3 JGS2 쿼츠 웨이퍼의 일반적인 응용 분야는?
JGS2 석영 웨이퍼는 광섬유 통신 장치, 자외선 처리 장비 및 안정적인 자외선~근적외선 투과가 필요한 일반 광학 부품에 널리 사용됩니다.
상품평
아직 상품평이 없습니다.