製品概要
JGS1およびJGS2石英ウェハは、二酸化ケイ素（SiO₂）を主成分とする高純度石英基板です。これらの光学グレードの石英ウェハは、半導体製造、紫外線光学システム、レーザー機器、光ファイバー通信機器などに広く使用されています。.
JGS1石英ウェハは化学気相成長法で製造されます。この製造方法により、金属不純物レベルが極めて低く、水酸基含有量も極めて低いため、深紫外領域で優れた透過性能を発揮します。.
JGS2石英ウェハーは、通常、水素酸素火炎融合プロセスで製造されます。JGS1と比較すると、JGS2は水酸基含有量が高いですが、よりコスト効率の高い製造プロセスを維持しながら、紫外から近赤外のスペクトルにわたって安定した光学性能を提供します。.
水晶ウエハーは直径2インチから12インチまであり、厚さ、表面研磨の要求、光学仕様に応じてカスタマイズすることができる。.
JGS1とJGS2の石英ウェハーの比較
| プロパティ | JGS1 クォーツ | JGS2 クォーツ |
|---|---|---|
| 製造方法 | 化学蒸着 | 水素酸素火炎融合 |
| 光伝送範囲 | 185 nm～2500 nm | 220 nm～2500 nm |
| 透過率 | >185 nmで85%以上（厚さ10 mm） | >220 nmで80%以上（厚さ10 mm） |
| 金属不純物含有量 | 約0.1ppm | 約1ppm |
| 水酸基含有量 | 5ppm未満 | 30～50ppm |
| 内部欠陥 | 泡や筋はほとんどない | 小さな気泡または粒状構造の可能性 |
| 光学的均質性 | 非常に高い | グッド |
| 熱安定性 | グッド | より高い熱安定性 |
物理的および機械的特性
| プロパティ | 価値 |
|---|---|
| 密度 | 2.2 g/cm³ |
| モース硬度 | 6-7 |
| 圧縮強度 | 1100 MPa |
| 引張強度 | 50 MPa |
| 曲げ強度 | 65 MPa |
| ねじり強度 | 30 MPa |
| ヤング率 | 7.5 × 10⁴ MPa |
| ポアソン比 | 0.17 |
電気的特性
| プロパティ | 価値 |
|---|---|
| 誘電率 (10 GHz) | 3.74 |
| 損失係数（10 GHz） | 0.0002 |
| 絶縁耐力 | 3.7 × 10⁷ V/m |
| 20℃における抵抗率 | 1 × 10² ⁰ Ω-m |
| 1000℃における抵抗率 | 1 × 10⁸ Ω-m |
熱特性
| プロパティ | 価値 |
|---|---|
| ストレイン・ポイント | 1080°C |
| アニーリングポイント | 1180°C |
| 軟化点 | 1630°C |
| 熱伝導率（20） | 1.4 W/m-K |
| 比熱（20） | 670 J/kg-K |
| 熱膨張係数（30℃～600） | 5.5 × 10-⁷ /°C |
代表的なアプリケーション
| 応用分野 | 説明 |
|---|---|
| 半導体リソグラフィ | 光学部品およびウェハー処理装置 |
| 光ファイバー通信 | 光コネクタ、光ウィンドウ、アイソレータ部品 |
| UVレーザーシステム | エキシマレーザーの窓と光学レンズ |
| 工業用UV加工 | 紫外線殺菌装置と高圧水銀灯 |
| 光学機器 | レンズ、プリズム、ミラー、光学基板 |
よくあるご質問
1 JGS1とJGS2の違いは？
JGS1石英ウェーハは、金属不純物と水酸基含有量が極めて低いため、より高い深紫外透過率を提供します。JGS2石英ウェーハは、安定した紫外から近赤外の性能を提供し、一般的に標準的な光学用途ではよりコスト効率が高い。.
2 JGS1石英ウェーハの代表的な用途 ?
JGS1石英ウェーハは、深紫外露光装置、エキシマレーザー光学部品、高精度紫外光学装置などによく使用されています。.
3 JGS2石英ウェーハの代表的な用途 ?
JGS2石英ウェーハは、安定した紫外～近赤外透過率を必要とする光ファイバー通信機器、紫外線処理装置、一般光学部品に広く使用されています。.
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