{"id":2563,"date":"2026-03-23T01:52:35","date_gmt":"2026-03-23T01:52:35","guid":{"rendered":"https:\/\/www.fuyao-quartz.com\/?post_type=product&p=2563"},"modified":"2026-03-23T01:52:37","modified_gmt":"2026-03-23T01:52:37","slug":"custom-high-borosilicate-glass-wafers-for-mems-semiconductor-optical-applications","status":"publish","type":"product","link":"https:\/\/www.fuyao-quartz.com\/fr\/product\/custom-high-borosilicate-glass-wafers-for-mems-semiconductor-optical-applications\/","title":{"rendered":"Plaques de verre borosilicat\u00e9 \u00e0 haute teneur en carbone pour applications MEMS, semi-conducteurs et optiques (2-12\u201d)"},"content":{"rendered":"

Plaquettes de verre \u00e0 haute teneur en borosilicate (3.3)<\/span><\/h2>\n

Les plaques de verre borosilicat\u00e9 de haute qualit\u00e9 sont des substrats de pr\u00e9cision largement utilis\u00e9s dans les applications de semi-conducteurs, de MEMS et d'optique. Connues pour leur faible coefficient de dilatation thermique (~3,3 \u00d7 10-\u2076\/K), leur excellente stabilit\u00e9 chimique et leur grande transparence, ces plaquettes constituent une alternative fiable et rentable aux mat\u00e9riaux tels que la silice fondue et le quartz dans les environnements \u00e0 moyenne temp\u00e9rature.<\/p>\n

Fabriqu\u00e9es selon le proc\u00e9d\u00e9 du verre flott\u00e9, les plaquettes de borosilicate pr\u00e9sentent une \u00e9paisseur uniforme, une plan\u00e9it\u00e9 sup\u00e9rieure et de faibles contraintes internes, ce qui les rend id\u00e9ales pour les processus de microfabrication et de collage de haute pr\u00e9cision.<\/p>\n

\"\"<\/p>\n

Composition des principaux mat\u00e9riaux<\/span><\/h2>\n

Le verre \u00e0 haute teneur en borosilicate est g\u00e9n\u00e9ralement compos\u00e9 de :<\/p>\n

    \n
  • Dioxyde de silicium (SiO\u2082) : ~75-80%<\/li>\n
  • Trioxyde de bore (B\u2082O\u2083) : ~12-15%<\/li>\n
  • Oxyde d'aluminium (Al\u2082O\u2083) : faible pourcentage<\/li>\n
  • Oxydes de m\u00e9taux faiblement alcalins (<5%)<\/li>\n<\/ul>\n

    Cette composition optimis\u00e9e offre une stabilit\u00e9 thermique et une r\u00e9sistance chimique accrues par rapport au verre sodocalcique conventionnel.<\/p>\n

    Principaux avantages<\/span><\/h2>\n

    Les plaquettes de verre borosilicat\u00e9 offrent plusieurs avantages en termes de performances :<\/p>\n

      \n
    • Faible dilatation thermique - id\u00e9al pour le collage du silicium et les structures MEMS<\/li>\n
    • Excellente r\u00e9sistance aux chocs thermiques - \u0394T jusqu'\u00e0 ~120-150\u00b0C (en fonction de l'\u00e9paisseur)<\/li>\n
    • Transparence optique \u00e9lev\u00e9e - convient aux applications optiques et photoniques<\/li>\n
    • Forte r\u00e9sistance chimique - r\u00e9sistant aux acides et \u00e0 la plupart des produits chimiques<\/li>\n
    • Grande plan\u00e9it\u00e9 et qualit\u00e9 de surface - permet la fabrication \u00e0 l'\u00e9chelle micro et nanom\u00e9trique<\/li>\n
    • Rentable - plus \u00e9conomique que le quartz ou la silice fondue pour de nombreuses applications<\/li>\n<\/ul>\n

      Processus de fabrication<\/span><\/h2>\n

      Les plaquettes de borosilicate sont produites selon la m\u00e9thode du verre flott\u00e9, o\u00f9 le verre en fusion s'\u00e9coule sur un bain d'\u00e9tain fondu pour former une feuille lisse et uniforme. Le mat\u00e9riau est ensuite :<\/p>\n

        \n
      1. Refroidissement progressif (recuit) pour \u00e9liminer les tensions internes<\/li>\n
      2. D\u00e9coupe aux dimensions sp\u00e9cifi\u00e9es de la plaquette<\/li>\n
      3. Meulage et polissage de pr\u00e9cision (simple face ou double face)<\/li>\n<\/ol>\n

        \"\"<\/p>\n

        Ce processus garantit une excellente qualit\u00e9 de surface, un contr\u00f4le \u00e9troit de l'\u00e9paisseur et une faible densit\u00e9 de d\u00e9fauts.<\/p>\n

        Sp\u00e9cifications<\/span><\/h2>\n
        \n
        \n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n
        Param\u00e8tres<\/th>\nGamme \/ Options<\/th>\n<\/tr>\n<\/thead>\n
        Diam\u00e8tre<\/td>\n2\u201d - 12\u201d<\/td>\n<\/tr>\n
        \u00c9paisseur<\/td>\n0,2 - 1,1 mm (sur mesure)<\/td>\n<\/tr>\n
        Surface<\/td>\nSSP \/ DSP<\/td>\n<\/tr>\n
        Rugosit\u00e9<\/td>\nRa < 1,5 nm<\/td>\n<\/tr>\n
        Plan\u00e9it\u00e9 (TTV)<\/td>\n< 10 \u00b5m (typique)<\/td>\n<\/tr>\n
        Forme<\/td>\nRond \/ Carr\u00e9 \/ Sur mesure<\/td>\n<\/tr>\n<\/tbody>\n<\/table>\n<\/div>\n<\/div>\n

        Applications typiques<\/span><\/h2>\n

        1. Semi-conducteurs et MEMS<\/span><\/h3>\n
          \n
        • Collage de plaquettes avec du silicium (collage anodique)<\/li>\n
        • Dispositifs MEMS et microcapteurs<\/li>\n
        • Substrats pour l'emballage des circuits int\u00e9gr\u00e9s<\/li>\n<\/ul>\n

          2. Microfluidique et biotechnologie<\/span><\/h3>\n
            \n
          • Dispositifs de laboratoire sur puce<\/li>\n
          • Canaux microfluidiques<\/li>\n
          • Plateformes d'analyse biom\u00e9dicale<\/li>\n<\/ul>\n

            3. Syst\u00e8mes optiques et photoniques<\/span><\/h3>\n
              \n
            • Fen\u00eatres et substrats optiques<\/li>\n
            • Composants de l'objectif et du prisme<\/li>\n
            • Plaques de support transparentes<\/li>\n<\/ul>\n

              4. \u00c9quipements industriels et scientifiques<\/span><\/h3>\n
                \n
              • Fen\u00eatres d'observation \u00e0 haute temp\u00e9rature<\/li>\n
              • \u00c9quipements de laboratoire et appareils d'analyse<\/li>\n<\/ul>\n

                Comparaison : Verre borosilicat\u00e9 et verre sodocalcique<\/span><\/h2>\n
                \n
                \n\n\n\n\n\n\n\n\n\n
                Propri\u00e9t\u00e9<\/th>\nVerre borosilicat\u00e9<\/th>\nVerre sodocalcique<\/th>\n<\/tr>\n<\/thead>\n
                Dilatation thermique<\/td>\nFaible (~3,3\u00d710-\u2076\/K)<\/td>\nHaut<\/td>\n<\/tr>\n
                R\u00e9sistance aux chocs thermiques<\/td>\nExcellent<\/td>\nPauvre<\/td>\n<\/tr>\n
                R\u00e9sistance chimique<\/td>\nHaut<\/td>\nMod\u00e9r\u00e9<\/td>\n<\/tr>\n
                Co\u00fbt<\/td>\nMoyen<\/td>\nFaible<\/td>\n<\/tr>\n
                Applications<\/td>\nMEMS, optique, laboratoire<\/td>\nBouteilles, fen\u00eatres<\/td>\n<\/tr>\n<\/tbody>\n<\/table>\n<\/div>\n<\/div>\n

                Pourquoi choisir nos plaquettes de verre borosilicat\u00e9 ?<\/span><\/h2>\n
                  \n
                • Approvisionnement stable aupr\u00e8s des principaux fabricants de verre<\/li>\n
                • Capacit\u00e9s d'usinage et de polissage de pr\u00e9cision<\/li>\n
                • Dimensions, \u00e9paisseurs et finitions de surface personnalis\u00e9es disponibles<\/li>\n
                • Contr\u00f4le de qualit\u00e9 strict et conditionnement en salle blanche (classe 100 \/ ISO 5)<\/li>\n
                • Livraison rapide pour les sp\u00e9cifications standard<\/li>\n<\/ul>\n

                  FAQ<\/span><\/h2>\n

                  \"\"Q1 : Qu'est-ce que le verre borosilicat\u00e9 3.3 ?
                  R : Il s'agit d'un verre borosilicat\u00e9 dont le coefficient de dilatation thermique est d'environ 3,3 \u00d7 10-\u2076\/K, connu pour son excellente stabilit\u00e9 thermique.<\/p>\n

                  Q2 : Les plaquettes de verre borosilicat\u00e9 peuvent-elles remplacer les plaquettes de quartz ?
                  R : Ils peuvent constituer une alternative \u00e9conomique pour les applications \u00e0 temp\u00e9rature moyenne, mais le quartz est toujours pr\u00e9f\u00e9r\u00e9 pour les environnements \u00e0 haute temp\u00e9rature extr\u00eame.<\/p>\n

                  Q3 : Quelle est la diff\u00e9rence entre les plaquettes de verre borosilicat\u00e9 et les plaquettes de quartz ?
                  R : Les plaquettes en verre borosilicat\u00e9 offrent une solution plus \u00e9conomique avec une bonne stabilit\u00e9 thermique et une bonne r\u00e9sistance chimique, ce qui les rend id\u00e9ales pour les MEMS et les applications g\u00e9n\u00e9rales de semi-conducteurs. Les plaquettes de quartz, quant \u00e0 elles, offrent une r\u00e9sistance sup\u00e9rieure aux temp\u00e9ratures \u00e9lev\u00e9es et une transmission des UV, et sont pr\u00e9f\u00e9r\u00e9es pour les environnements extr\u00eames et les syst\u00e8mes optiques avanc\u00e9s.<\/p>\n

                  Q4 : Peut-on utiliser des plaques de verre borosilicat\u00e9 pour le collage anodique avec du silicium ?
                  R : Oui, les plaquettes de verre borosilicat\u00e9 3.3 sont largement utilis\u00e9es pour le collage anodique avec le silicium en raison de leur coefficient de dilatation thermique tr\u00e8s proche. Cela garantit une forte r\u00e9sistance de la liaison et minimise les contraintes thermiques dans la fabrication de MEMS et de dispositifs microfluidiques.<\/p>\n

                  Q5 : Quelles sont les options de personnalisation disponibles pour les plaquettes de verre borosilicat\u00e9 ?
                  R : Nous proposons un large \u00e9ventail d'options de personnalisation, notamment le diam\u00e8tre des plaquettes (2\u201d-12\u201d), l'\u00e9paisseur, le polissage sur une ou deux faces (SSP\/DSP), la rugosit\u00e9 de surface, la plan\u00e9it\u00e9 (TTV) et des formes personnalis\u00e9es telles que des substrats carr\u00e9s ou rectangulaires. Des exigences particuli\u00e8res en mati\u00e8re de rev\u00eatement, de per\u00e7age ou de modelage peuvent \u00e9galement \u00eatre prises en charge sur demande.<\/p>","protected":false},"excerpt":{"rendered":"

                  Les plaques de verre borosilicat\u00e9 de haute qualit\u00e9 sont des substrats de pr\u00e9cision largement utilis\u00e9s dans les applications de semi-conducteurs, de MEMS et d'optique. Connues pour leur faible coefficient de dilatation thermique (~3,3 \u00d7 10-\u2076\/K), leur excellente stabilit\u00e9 chimique et leur grande transparence, ces plaquettes constituent une alternative fiable et rentable aux mat\u00e9riaux tels que la silice fondue et le quartz dans les environnements \u00e0 moyenne 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