BF33 / BOROFLOAT 33 Glass Wafer - Plaque de Borosilicate haute performance

FUYAO QUARTZ est spécialisé dans les plaquettes de verre BF33 / BOROFLOAT 33 de haute pureté, un substrat borosilicaté de première qualité largement utilisé dans les applications semi-conductrices, MEMS, optiques et microfluidiques. Fabriquées par le procédé microfloat de SCHOTT, les plaquettes BF33 se caractérisent par une faible dilatation thermique (~3,3 ppm/°C), une grande clarté optique, une résistance aux chocs thermiques et une inertie chimique, ce qui les rend idéales pour le collage de précision avec le silicium et d'autres procédés avancés.

FUYAO QUARTZ est spécialisé dans les plaquettes de verre BF33 / BOROFLOAT 33 de haute pureté, un substrat borosilicaté de première qualité largement utilisé dans les applications semi-conductrices, MEMS, optiques et microfluidiques. Fabriquées par le procédé microfloat de SCHOTT, les plaquettes BF33 se caractérisent par une faible dilatation thermique (~3,3 ppm/°C), une grande clarté optique, une résistance aux chocs thermiques et une inertie chimique, ce qui les rend idéales pour le collage de précision avec le silicium et d'autres procédés avancés.

Les plaquettes BF33 sont largement utilisées dans la photolithographie, le collage anodique, les laboratoires sur puce, l'optique laser et les systèmes optiques à haute température, offrant des performances et une fiabilité exceptionnelles dans des conditions industrielles et scientifiques exigeantes.

Composition et propriétés des matériaux

Propriété Spécifications
Teneur en SiO₂ >80%
B₂O₃ Contenu Optimisé pour une faible dilatation thermique
CTE (20-300°C) ~3.3 × 10-⁶ /K
Point de contrainte 520°C
Point de recuit 560°C
Point d'adoucissement 820°C
Résistance aux chocs thermiques Excellent
Transmission optique >90% (UV-NIR)
Finition de la surface DSP/SSP, Ra <1 nm
Résistance chimique ISO Classe 1 eau et acide, Classe 2 alcali
Dureté ~480 HK

Principaux avantages :

  • Compatibilité thermique avec le silicium : Idéal pour le collage anodique sans contrainte ni déformation.

  • Grande clarté optique : Transparence UV-NIR pour les lasers, la photonique et les capteurs.

  • Durabilité chimique : Résistant aux acides, aux bases et aux solvants pour les processus en salle blanche.

  • Résistance mécanique : résistance élevée à l'abrasion, idéale pour la manipulation des semi-conducteurs et des dispositifs MEMS.

  • Surface de précision : Plaques polies avec un faible TTV pour une microfabrication et un alignement optique précis.

Applications primaires

  1. Semi-conducteurs et MEMS : Plaques porteuses, amincissement des plaques, collage anodique, dispositifs microfluidiques.

  2. Systèmes optiques et photoniques : Optique laser, miroirs, filtres, fenêtres optiques à haute température.

  3. Instruments analytiques et biomédicaux : Biopuces, plaques de diagnostic, systèmes de titrage.

  4. Environnements industriels et à haute température : Fenêtres de four, hublots, couvercles de projecteurs.

  5. Technologie de l'énergie et de l'environnement : Substrats photovoltaïques, capteurs microfluidiques.

  6. Aérospatiale et défense : Panneaux optiques, fenêtres de capteurs, optiques spatiales.

Options de surface et de fabrication

  • Polissage : polissage double face (DSP) ou polissage simple face (SSP) avec Ra <1 nm.

  • Épaisseur et diamètre : Personnalisables en fonction de l'application.

  • Revêtements : Revêtements antireflets (AR), réfléchissants (HR), spécifiques à la longueur d'onde.

  • Tolérance : TTV serré (<10 µm), scratch/dig 60/40 ou plus sur demande.

Pourquoi choisir nos plaquettes BF33 ?

  • Des décennies d'expérience dans la fabrication de verre optique et de semi-conducteurs.

  • Contrôle strict de la qualité pour garantir la cohérence des propriétés thermiques, chimiques et optiques.

  • Personnalisation flexible pour répondre aux exigences industrielles, scientifiques et de R&D.

  • Support technique complet et réseau de distribution mondial.

Foire aux questions (FAQ)

Q1 : Qu'est-ce que le verre BF33 ?
A1 : Le BF33, également appelé BOROFLOAT 33, est une plaquette de verre borosilicaté de haute qualité présentant une faible dilatation thermique (~3,3 ppm/°C), une excellente durabilité chimique et une grande transparence optique, idéale pour les semi-conducteurs, les MEMS et les applications optiques.

Q2 : Quelle est la différence entre le BF33 et le verre ordinaire ?
A2 : Le BF33 a une teneur plus élevée en silice (>80%) et en oxyde de bore, ce qui lui confère une faible dilatation thermique, une résistance chimique, une transmission UV/NIR supérieure et une résistance mécanique, surpassant le verre sodocalcique dans les applications industrielles exigeantes.

Q3 : Les plaquettes BF33 peuvent-elles être polies ?
A3 : Oui. FUYAO QUARTZ fournit des plaquettes DSP et SSP avec une rugosité de surface inférieure au nanomètre (<1 nm Ra) et un faible TTV (<10 µm), essentiels pour le collage des plaquettes, la photolithographie et les systèmes optiques de haute précision.

Q4 : Quelles sont les industries qui utilisent les plaquettes BF33 ?
A4 : Fabrication de semi-conducteurs, dispositifs MEMS, microfluidique, photonique, optique laser, instruments analytiques, dispositifs biomédicaux, aérospatiale, énergie et surveillance de l'environnement.

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