{"id":3037,"date":"2026-06-08T08:41:10","date_gmt":"2026-06-08T08:41:10","guid":{"rendered":"https:\/\/www.fuyao-quartz.com\/?p=3037"},"modified":"2026-06-08T08:41:18","modified_gmt":"2026-06-08T08:41:18","slug":"semiconductor-grade-quartz-requirements-standards-and-material-selection-guide","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/www.fuyao-quartz.com\/fi\/semiconductor-grade-quartz-requirements-standards-and-material-selection-guide\/","title":{"rendered":"Puolijohteisiin soveltuva kvartsi: vaatimukset, standardit ja materiaalinvalintaopas"},"content":{"rendered":"<p class=\"wp-block-paragraph\">Kvartsi on yksi t\u00e4rkeimmist\u00e4 materiaaleista puolijohteiden valmistuksessa. Sit\u00e4 k\u00e4ytet\u00e4\u00e4n laajalti diffuusio-uuneissa, hapetusj\u00e4rjestelmiss\u00e4, CVD-laitteissa, piikiekkojen kuljetusalustoissa, prosessikammioissa, optisissa tarkastusj\u00e4rjestelmiss\u00e4 sek\u00e4 kemikaalien k\u00e4sittelyyn tarkoitetuissa komponenteissa.<\/p>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Kaikki kvartsimateriaalit eiv\u00e4t kuitenkaan sovellu puolijohdesovelluksiin. Prosessiymp\u00e4rist\u00f6st\u00e4 riippuen kvartsikomponenteilta saatetaan vaatia eritasoista puhtautta, l\u00e4mp\u00f6stabiilisuutta, hydroksyylipitoisuutta, optisia ominaisuuksia ja mittatarkkuutta.<\/p>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Sopivan kvartsimateriaalin valinta on ratkaisevan t\u00e4rke\u00e4\u00e4 kontaminaation minimoimiseksi, prosessin vakauden yll\u00e4pit\u00e4miseksi ja piikiekkojen tuotoksen maksimoimiseksi.<\/p>\n\n\n\n<figure class=\"wp-block-image size-large\"><img fetchpriority=\"high\" decoding=\"async\" width=\"1024\" height=\"683\" src=\"https:\/\/www.fuyao-quartz.com\/wp-content\/uploads\/2026\/06\/Semiconductor-Grade-Quartz-Requirements-Standards-and-Material-Selection-Guide-1024x683.png\" alt=\"\" class=\"wp-image-3038\" srcset=\"https:\/\/www.fuyao-quartz.com\/wp-content\/uploads\/2026\/06\/Semiconductor-Grade-Quartz-Requirements-Standards-and-Material-Selection-Guide-1024x683.png 1024w, https:\/\/www.fuyao-quartz.com\/wp-content\/uploads\/2026\/06\/Semiconductor-Grade-Quartz-Requirements-Standards-and-Material-Selection-Guide-300x200.png 300w, https:\/\/www.fuyao-quartz.com\/wp-content\/uploads\/2026\/06\/Semiconductor-Grade-Quartz-Requirements-Standards-and-Material-Selection-Guide-768x512.png 768w, https:\/\/www.fuyao-quartz.com\/wp-content\/uploads\/2026\/06\/Semiconductor-Grade-Quartz-Requirements-Standards-and-Material-Selection-Guide-18x12.png 18w, https:\/\/www.fuyao-quartz.com\/wp-content\/uploads\/2026\/06\/Semiconductor-Grade-Quartz-Requirements-Standards-and-Material-Selection-Guide-600x400.png 600w, https:\/\/www.fuyao-quartz.com\/wp-content\/uploads\/2026\/06\/Semiconductor-Grade-Quartz-Requirements-Standards-and-Material-Selection-Guide.png 1536w\" sizes=\"(max-width: 1024px) 100vw, 1024px\" \/><\/figure>\n\n\n\n<h1 class=\"wp-block-heading\">Miksi puolijohteiden valmistuksessa tarvitaan eritt\u00e4in puhdasta kvartsia<\/h1>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Puolijohteiden valmistukseen liittyy lukuisia prosesseja, jotka suoritetaan \u00e4\u00e4rimm\u00e4isiss\u00e4 olosuhteissa:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>Yli 1000 \u00b0C:n korkeat l\u00e4mp\u00f6tilat<\/li>\n\n\n\n<li>Sy\u00f6vytt\u00e4v\u00e4t prosessikaasut<\/li>\n\n\n\n<li>Reaktiiviset kemikaalit<\/li>\n\n\n\n<li>Eritt\u00e4in puhtaat tuotantoymp\u00e4rist\u00f6t<\/li>\n\n\n\n<li>Nanometrin mittakaavan laiterakenteet<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">N\u00e4iss\u00e4 olosuhteissa jopa laitteiden materiaaleista per\u00e4isin olevat v\u00e4h\u00e4iset ep\u00e4puhtaudet voivat vaikuttaa laitteen suorituskykyyn.<\/p>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">T\u00e4m\u00e4n vuoksi puolijohdevalmistajat k\u00e4ytt\u00e4v\u00e4t yleens\u00e4 <a href=\"https:\/\/www.fuyao-quartz.com\/fi\/products\/\">eritt\u00e4in puhdasta sulatettua kvartsia<\/a> tai synteettist\u00e4 sulatettua piidioksidia tavallisen teollisuuskvartsin sijaan.<\/p>\n\n\n\n<h1 class=\"wp-block-heading\">1. Eritt\u00e4in v\u00e4h\u00e4inen metallipitoisuus<\/h1>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Materiaalin puhtaus on yksi puolijohdekvartsin t\u00e4rkeimmist\u00e4 vaatimuksista.<\/p>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Metalliset ep\u00e4puhtaudet voivat diffundoitua piikiekkoihin korkean l\u00e4mp\u00f6tilan k\u00e4sittelyn aikana ja vaikuttaa niiden s\u00e4hk\u00f6isiin ominaisuuksiin.<\/p>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Erityist\u00e4 huomiota kiinnitet\u00e4\u00e4n seuraaviin seikkoihin:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>Alumiini (Al)<\/li>\n\n\n\n<li>Rauta (Fe)<\/li>\n\n\n\n<li>Kalsium (Ca)<\/li>\n\n\n\n<li>Magnesium (Mg)<\/li>\n\n\n\n<li>Titaani (Ti)<\/li>\n\n\n\n<li>Natrium (Na)<\/li>\n\n\n\n<li>Kalium (K)<\/li>\n\n\n\n<li>Litium (Li)<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Sen sijaan, ett\u00e4 noudatettaisiin yht\u00e4 ainoaa yleisp\u00e4tev\u00e4\u00e4 vaatimusta, ep\u00e4puhtausrajat m\u00e4\u00e4ritet\u00e4\u00e4n yleens\u00e4 puolijohdeprosessin ja laitevalmistajan toimesta.<\/p>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Kehittyneiss\u00e4 puolijohdesovelluksissa ep\u00e4puhtauspitoisuuksia s\u00e4\u00e4dell\u00e4\u00e4n usein ppm- tai sub-ppm-tasolla.<\/p>\n\n\n\n<h1 class=\"wp-block-heading\">2. Erinomainen suorituskyky korkeissa l\u00e4mp\u00f6tiloissa<\/h1>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Monet puolijohdeprosessit tapahtuvat 800 \u00b0C:n ja 1200 \u00b0C:n v\u00e4lill\u00e4.<\/p>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Kvartsi on laajalti k\u00e4yt\u00f6ss\u00e4, koska se tarjoaa:<\/p>\n\n\n\n<figure class=\"wp-block-table\"><table class=\"has-fixed-layout\"><thead><tr><th>Kiinteist\u00f6<\/th><th>Tyypillinen arvo<\/th><\/tr><\/thead><tbody><tr><td>Pehmenemispiste<\/td><td>Noin 1730 \u00b0C<\/td><\/tr><tr><td>Jatkuva k\u00e4ytt\u00f6l\u00e4mp\u00f6tila<\/td><td>Jopa 1200 \u00b0C<\/td><\/tr><tr><td>L\u00e4mp\u00f6laajenemiskerroin<\/td><td>Noin 0,5 \u00d7 10\u207b\u2076 \/\u00b0C<\/td><\/tr><\/tbody><\/table><\/figure>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Eritt\u00e4in alhainen l\u00e4mp\u00f6laajenemiskerroin auttaa minimoimaan l\u00e4mp\u00f6j\u00e4nnityksi\u00e4 nopeiden l\u00e4mmitys- ja j\u00e4\u00e4hdytysjaksojen aikana.<\/p>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Yleisi\u00e4 korkean l\u00e4mp\u00f6tilan kvartsikomponentteja ovat muun muassa:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>Kvartsiuunin putket<\/li>\n\n\n\n<li>Kvartsiveneet<\/li>\n\n\n\n<li>Piikiekkojen kantajat<\/li>\n\n\n\n<li>Prosessivuoraukset<\/li>\n\n\n\n<li>Jalustat<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<h1 class=\"wp-block-heading\">3. Hydroksyyliryhmien (OH) pitoisuus on t\u00e4rke\u00e4\u00e4<\/h1>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Yksi usein huomiotta j\u00e4\u00e4v\u00e4 tekij\u00e4 on hydroksyylipitoisuus.<\/p>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">OH-ryhmien pitoisuus voi vaikuttaa merkitt\u00e4v\u00e4sti l\u00e4mp\u00f6stabiiliuteen ja optisiin l\u00e4p\u00e4isyominaisuuksiin.<\/p>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">V\u00e4h\u00e4-OH-kvartsi<\/h3>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">K\u00e4ytet\u00e4\u00e4n yleens\u00e4:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>Diffuusio-uunit<\/li>\n\n\n\n<li>Hapetusuunit<\/li>\n\n\n\n<li>LPCVD-prosessit<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Edut:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>Parannettu l\u00e4mp\u00f6stabiilisuus<\/li>\n\n\n\n<li>V\u00e4hentynyt muodonmuutos korkeissa l\u00e4mp\u00f6tiloissa<\/li>\n\n\n\n<li>Parempi infrapunasignaalin l\u00e4p\u00e4isy<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">Korkea-OH-kvartsi<\/h3>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">K\u00e4ytet\u00e4\u00e4n yleens\u00e4:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>UV-optiikkaj\u00e4rjestelm\u00e4t<\/li>\n\n\n\n<li>Optiset ikkunat<\/li>\n\n\n\n<li>Lasersovellukset<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Edut:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>Parannettu UV-l\u00e4p\u00e4isykyky<\/li>\n\n\n\n<li>Erinomainen optinen suorituskyky<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Eri puolijohdesovellukset edellytt\u00e4v\u00e4t erilaisia OH-vaatimuksia.<\/p>\n\n\n\n<h1 class=\"wp-block-heading\">4. Kuplien ja sulkeumien hallinta<\/h1>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Sis\u00e4iset kuplat ja sulkeumat ovat puolijohdekvartsin laadun kannalta ratkaisevia indikaattoreita.<\/p>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Liian suuri kuplatiheys voi johtaa seuraaviin seurauksiin:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>Hiukkasten muodostuminen<\/li>\n\n\n\n<li>V\u00e4hentynyt mekaaninen lujuus<\/li>\n\n\n\n<li>Paikallinen l\u00e4mp\u00f6j\u00e4nnitys<\/li>\n\n\n\n<li>Komponentin ennenaikainen vikaantuminen<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Kriittisiss\u00e4 puolijohdesovelluksissa kvartsimateriaalit luokitellaan usein kuplatiheyden ja sulkeumien m\u00e4\u00e4r\u00e4n perusteella.<\/p>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Huippuluokan puolijohdelaitteissa vaaditaan yleens\u00e4 eritt\u00e4in alhaisia kuplien ja sulkeumien pitoisuuksia.<\/p>\n\n\n\n<h1 class=\"wp-block-heading\">5. Kemiallinen kest\u00e4vyys<\/h1>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Kvartsi kest\u00e4\u00e4 erinomaisesti useimpia puolijohteiden valmistuksessa k\u00e4ytettyj\u00e4 happoja ja prosessikemikaaleja.<\/p>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Se toimii hyvin seuraavanlaisissa ymp\u00e4rist\u00f6iss\u00e4:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>Rikkihappo<\/li>\n\n\n\n<li>Typpihappo<\/li>\n\n\n\n<li>Suolahappo<\/li>\n\n\n\n<li>Hapettavat kemikaalit<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Kvartsiin voivat kuitenkin vaikuttaa seuraavat tekij\u00e4t:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>Fluorivetyhappo (HF)<\/li>\n\n\n\n<li>Tietyt voimakkaasti em\u00e4ksiset liuokset korkeissa l\u00e4mp\u00f6tiloissa<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Siksi materiaalien yhteensopivuus on aina arvioitava suunnitellun prosessikemian perusteella.<\/p>\n\n\n\n<h1 class=\"wp-block-heading\">6. Mittaustarkkuus ja pinnanlaatu<\/h1>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Puolijohdelaitteiden valmistuksessa tarvitaan eritt\u00e4in tarkkoja kvartsikomponentteja.<\/p>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Tyypillisi\u00e4 vaatimuksia voivat olla esimerkiksi:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>Tasaisuus<\/li>\n\n\n\n<li>Rinnakkaisuus<\/li>\n\n\n\n<li>Keskittym\u00e4<\/li>\n\n\n\n<li>Pinnan viimeistely<\/li>\n\n\n\n<li>Reunan laatu<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Lis\u00e4ksi pinnoilla ei saa olla:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>Naarmut<\/li>\n\n\n\n<li>Sirut<\/li>\n\n\n\n<li>Halkeamat<\/li>\n\n\n\n<li>Vieraat sulkeumat<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Pintaviat voivat muodostua ep\u00e4puhtauksien l\u00e4hteiksi ja heikent\u00e4\u00e4 prosessin luotettavuutta.<\/p>\n\n\n\n<h1 class=\"wp-block-heading\">7. Puhtaus ja hiukkasten hallinta<\/h1>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Nykyaikaisessa puolijohteiden valmistuksessa kiinnitet\u00e4\u00e4n yh\u00e4 enemm\u00e4n huomiota ep\u00e4puhtauksien hallintaan.<\/p>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Kvartsikomponentit joutuvat usein:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>Tarkkuuskoneistus<\/li>\n\n\n\n<li>Happopuhdistus<\/li>\n\n\n\n<li>Ultra\u00e4\u00e4nipuhdistus<\/li>\n\n\n\n<li>Huuhtelu eritt\u00e4in puhtaalla vedell\u00e4<\/li>\n\n\n\n<li>Puhdastilapakkaukset<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Pelkk\u00e4 eritt\u00e4in puhdas materiaali ei riit\u00e4, ellei lopullista komponenttia k\u00e4sitell\u00e4 ja pakata puolijohteiden puhtausvaatimusten mukaisesti.<\/p>\n\n\n\n<h1 class=\"wp-block-heading\">Puolijohteiden valmistuksessa yleisesti k\u00e4ytetyt kvartsimateriaalit<\/h1>\n\n\n\n<figure class=\"wp-block-table\"><table class=\"has-fixed-layout\"><thead><tr><th>Materiaalityyppi<\/th><th>Tyypilliset sovellukset<\/th><\/tr><\/thead><tbody><tr><td>Sulatettu kvartsi<\/td><td>Yleiset puolijohdelaitteiden komponentit<\/td><\/tr><tr><td>Eritt\u00e4in puhdas sulatettu kvartsi<\/td><td>Diffuusio- ja hapetusj\u00e4rjestelm\u00e4t<\/td><\/tr><tr><td>Synteettinen sulatettu piidioksidi<\/td><td>Optiset ja fotolitografiset sovellukset<\/td><\/tr><tr><td>V\u00e4h\u00e4-OH-kvartsi<\/td><td>Korkean l\u00e4mp\u00f6tilan uunin osat<\/td><\/tr><tr><td>Korkea-OH-kvartsi<\/td><td>UV-l\u00e4p\u00e4isy\u00e4 parantavat komponentit<\/td><\/tr><\/tbody><\/table><\/figure>\n\n\n\n<hr class=\"wp-block-separator has-alpha-channel-opacity\"\/>\n\n\n\n<h1 class=\"wp-block-heading\">P\u00e4\u00e4telm\u00e4<\/h1>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Kaikki kvartsimateriaalit eiv\u00e4t sovellu puolijohteiden valmistukseen.<\/p>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Puolijohde-laatuista kvartsia valittaessa on otettava huomioon useita tekij\u00f6it\u00e4, kuten puhtaus, hydroksyylipitoisuus, l\u00e4mp\u00f6stabiilisuus, kuplatiheys, kemiallinen kest\u00e4vyys, mittatarkkuus ja puhtausvaatimukset.<\/p>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Koska jokainen puolijohdeprosessi asettaa materiaalille erilaisia vaatimuksia, sopivan kvartsilaadun valinta on usein yht\u00e4 t\u00e4rke\u00e4\u00e4 kuin oikean komponenttisuunnittelun valinta.<\/p>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">Puolijohdelaitteiden valmistajille ja piikiekkojen tuotantolaitoksille oikeanlainen kvartsimateriaali voi merkitt\u00e4v\u00e4sti parantaa prosessin vakautta, v\u00e4hent\u00e4\u00e4 saastumisriskej\u00e4 ja pident\u00e4\u00e4 komponenttien k\u00e4ytt\u00f6ik\u00e4\u00e4.<\/p>","protected":false},"excerpt":{"rendered":"<p>Quartz is one of the most important materials used throughout semiconductor manufacturing. It is widely employed in diffusion furnaces, oxidation systems, CVD equipment, wafer carriers, process chambers, optical inspection systems, and chemical handling components. However, not all quartz materials are suitable for semiconductor applications. Depending on the process environment, quartz components may require different levels [&hellip;]<\/p>\n","protected":false},"author":1,"featured_media":3038,"comment_status":"open","ping_status":"open","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":{"site-sidebar-layout":"default","site-content-layout":"","ast-site-content-layout":"default","site-content-style":"default","site-sidebar-style":"default","ast-global-header-display":"","ast-banner-title-visibility":"","ast-main-header-display":"","ast-hfb-above-header-display":"","ast-hfb-below-header-display":"","ast-hfb-mobile-header-display":"","site-post-title":"","ast-breadcrumbs-content":"","ast-featured-img":"","footer-sml-layout":"","ast-disable-related-posts":"","theme-transparent-header-meta":"","adv-header-id-meta":"","stick-header-meta":"","header-above-stick-meta":"","header-main-stick-meta":"","header-below-stick-meta":"","astra-migrate-meta-layouts":"set","ast-page-background-enabled":"default","ast-page-background-meta":{"desktop":{"background-color":"var(--ast-global-color-4)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"tablet":{"background-color":"","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"mobile":{"background-color":"","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""}},"ast-content-background-meta":{"desktop":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"tablet":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"mobile":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""}},"footnotes":""},"categories":[1],"tags":[544,563,1169,676,1315,1166,764,1313,964,1312,1314,1145,1316,1317,79,1094,1085,561,525],"class_list":["post-3037","post","type-post","status-publish","format-standard","has-post-thumbnail","hentry","category-industry-news","tag-fused-quartz","tag-fused-silica","tag-high-oh-quartz","tag-high-purity-quartz-2","tag-high-temperature-quartz-2","tag-low-oh-quartz","tag-quartz-boat","tag-quartz-chamber-parts","tag-quartz-furnace-tube","tag-quartz-material-for-semiconductors","tag-quartz-processing-parts","tag-quartz-wafer-carrier","tag-semiconductor-equipment-materials","tag-semiconductor-furnace-components","tag-semiconductor-grade-quartz","tag-semiconductor-manufacturing-materials","tag-semiconductor-quartz","tag-semiconductor-quartz-components","tag-synthetic-fused-silica"],"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/www.fuyao-quartz.com\/fi\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/3037","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/www.fuyao-quartz.com\/fi\/wp-json\/wp\/v2\/posts"}],"about":[{"href":"https:\/\/www.fuyao-quartz.com\/fi\/wp-json\/wp\/v2\/types\/post"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.fuyao-quartz.com\/fi\/wp-json\/wp\/v2\/users\/1"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.fuyao-quartz.com\/fi\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=3037"}],"version-history":[{"count":1,"href":"https:\/\/www.fuyao-quartz.com\/fi\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/3037\/revisions"}],"predecessor-version":[{"id":3039,"href":"https:\/\/www.fuyao-quartz.com\/fi\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/3037\/revisions\/3039"}],"wp:featuredmedia":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.fuyao-quartz.com\/fi\/wp-json\/wp\/v2\/media\/3038"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/www.fuyao-quartz.com\/fi\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=3037"}],"wp:term":[{"taxonomy":"category","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.fuyao-quartz.com\/fi\/wp-json\/wp\/v2\/categories?post=3037"},{"taxonomy":"post_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.fuyao-quartz.com\/fi\/wp-json\/wp\/v2\/tags?post=3037"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}